于靈敏　朱長(zhǎng)純　范新會(huì)　祁立軍　吳琳瑯　嚴(yán)　文

摘要：使用溶膠一凝膠法制備了SnO₂納米顆粒，通過(guò)X射線衍射和掃描電子顯微鏡手段對(duì)材料的晶體結(jié)構(gòu)和表面進(jìn)行分析，結(jié)果表明所得材料為純SnO₂納米顆粒，以所制備的SnO₂納米顆粒為氣敏材料制備電阻式氣敏元件，在CH₄體積分?jǐn)?shù)為2.5×10^-4時(shí)，測(cè)試SnO₂納米顆粒對(duì)CH₄氣體的氣敏特性，包括工作溫度一氣體靈敏度和響應(yīng)一恢復(fù)特性，結(jié)果表明SnO₂顆粒在工作溫度為350℃時(shí)對(duì)CH₄的最大靈敏度為11，響應(yīng)一恢復(fù)時(shí)間分別為5 s和8 s，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該SnO₂納米顆粒氣敏傳感器對(duì)CH₁具有快速響應(yīng)和高靈敏度的特性，在工礦安全運(yùn)行和環(huán)境保護(hù)方面具有重要的應(yīng)用價(jià)值。

關(guān)鍵詞：SnO₂納米顆粒；溶膠凝膠法；氣敏特性

中圖分類(lèi)號(hào)：TH704文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號(hào)：0253－987X(2009)06－0118－05