MOEMS傾斜下電極光開(kāi)關(guān)的空氣壓膜阻尼效應(yīng)
2005-04-29 00:00:00孫東明董瑋郭文濱劉彩霞王國(guó)東徐寶琨陳維友
吉林大學(xué)學(xué)報(bào)(理學(xué)版) 2005年3期
摘要：從基于微機(jī)械光電系統(tǒng)(MOEMS)的傾斜下電極扭臂式光開(kāi)關(guān)出發(fā)，求解雷諾方程，得到空氣壓膜阻尼系數(shù)和阻尼力矩的分析公式．通過(guò)求解動(dòng)力學(xué)方程，給出空氣壓膜阻尼效應(yīng)對(duì)于光開(kāi)關(guān)響應(yīng)時(shí)間的影響．
關(guān)鍵詞：空氣壓膜阻尼效應(yīng)；微機(jī)械光電系統(tǒng)；雷諾方程；傾斜下電極；響應(yīng)時(shí)間
中圖分類(lèi)號(hào)：TN256；TN205
文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A
文章編號(hào)：1671-5489(2005)03-0343-05
