2004年，一位60歲的儒雅的科學(xué)家從美國硅谷飛抵上海浦東。

在出租車上，他打趣地讓司機(jī)猜猜他多大年紀(jì)。出租車司機(jī)打量他后笑道：“您看起來只有38歲！”他聞言爽朗地大笑：“太好了，以后我就是38歲的人！”

這位科學(xué)家，正是被譽(yù)為“中國芯片刻蝕機(jī)之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重置到“中國芯”的起跑線上。

2025年1月15日，在“企業(yè)家之夜”的活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)，81歲的尹志堯手捧鮮花，作為當(dāng)天晚上年齡最大的獲獎(jiǎng)?wù)?，接受大家的致敬?/p>

已至耄耋之年的他，還神采奕奕地指揮著北京四中合唱團(tuán)的學(xué)生們，唱響了《中微之歌》。

伴隨著學(xué)生們充滿激情的歌聲，關(guān)于尹志堯的傳奇故事也悄然展開。

從北大學(xué)子到硅谷精英

對(duì)許多人來說，“刻蝕機(jī)”是一個(gè)陌生的詞語。但在高科技領(lǐng)域，它是半導(dǎo)體制造中不可或缺的核心設(shè)備之一，更是我國制造“中國芯”的基石。

正是在尹志堯及其團(tuán)隊(duì)的努力下，中國才得以自主生產(chǎn)刻蝕機(jī)，并迫使美國取消了對(duì)我國出口刻蝕機(jī)的禁令。如今，尹志堯和他的團(tuán)隊(duì)研發(fā)的刻蝕機(jī)，其精度領(lǐng)先于國外一些主要的刻蝕機(jī)。

正因如此，很多人說，“尹志堯”這個(gè)名字注定會(huì)被載入史冊(cè)。

1944年，祖籍安徽的尹志堯，出生于北京一個(gè)知識(shí)分子家庭。由于祖父和父親都曾在國外留學(xué)，尹志堯在文化氛圍濃厚的環(huán)境中長(zhǎng)大，接受了良好的教育。高中畢業(yè)后，尹志堯考入中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，后在蘭州煉油廠和中國科學(xué)院工作。

1978年，尹志堯考入北京大學(xué)化學(xué)系讀碩士研究生。當(dāng)時(shí)北京大學(xué)有國內(nèi)最先進(jìn)的計(jì)算機(jī)，可內(nèi)存只有128KB。而彼時(shí)的尹志堯并不知道，未來有一天，他主持研發(fā)的設(shè)備，在芯片加工上的工藝水平，相當(dāng)于在一顆米粒上雕刻出10億個(gè)漢字。

1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學(xué)。4年后，他以優(yōu)異的成績(jī)拿到美國加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校的物理化學(xué)博士學(xué)位。畢業(yè)后的尹志堯，進(jìn)入美國硅谷半導(dǎo)體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。工作兩年后，他跳槽到華人林杰屏創(chuàng)建的泛林集團(tuán)。

在泛林集團(tuán)工作的5年中，尹志堯從研發(fā)部資深工程師做到了資深經(jīng)理，還開發(fā)出了“彩虹號(hào)”等離子刻蝕機(jī)。有了尹志堯這員干將，泛林集團(tuán)得以快速發(fā)展。在硅谷，各大半導(dǎo)體公司爭(zhēng)相拉攏，欲將尹志堯招入麾下。

1991年，尹志堯接受了美國應(yīng)用材料公司的邀請(qǐng)，擔(dān)任公司總部的首席技術(shù)官。在他的牽頭下，應(yīng)用材料公司相繼研發(fā)出多款新型刻蝕機(jī)。

在半導(dǎo)體行業(yè)深耕20年，尹志堯一共擁有280多項(xiàng)專利，這個(gè)行業(yè)有一半企業(yè)都用過他參與研發(fā)的設(shè)備。基于他的成就和對(duì)應(yīng)用材料公司的貢獻(xiàn)，尹志堯被任命為公司副總裁。

此時(shí)，尹志堯已經(jīng)過上了財(cái)富自由的生活。在硅谷打拼的華人雖然為數(shù)不少，但有如此成就者實(shí)屬鳳毛麟角，尹志堯堪稱“硅谷傳奇”。

2004年，60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉(xiāng)辛苦打拼半生，如今優(yōu)渥清閑的退休生活馬上可以實(shí)現(xiàn)，是到該享受人生的時(shí)候了。

然而，命運(yùn)卻在這時(shí)，給了尹志堯新的選擇。

60歲的熱血

這一年，在一次國際半導(dǎo)體設(shè)備展覽會(huì)上，尹志堯邂逅了在上海擔(dān)任領(lǐng)導(dǎo)職務(wù)的江上舟。正是這次見面，改變了尹志堯的人生軌跡。

江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業(yè)于清華大學(xué)無線電專業(yè)的他，很早就意識(shí)到發(fā)展集成電路的重要性。

當(dāng)時(shí)，我國的芯片來源主要靠進(jìn)口，而以美國為首的西方國家，動(dòng)不動(dòng)就把芯片納入管制范疇。江上舟深知，要打破這個(gè)局面，變被動(dòng)為主動(dòng)，最好的辦法就是實(shí)現(xiàn)芯片的自主生產(chǎn)。

當(dāng)時(shí)中芯國際已經(jīng)落戶上海，如果刻蝕機(jī)也能實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，那“中國芯”的制造必將如虎添翼。于是，江上舟向刻蝕機(jī)專家尹志堯發(fā)出了邀請(qǐng)，他誠懇地說：“回來吧，我們一起干，我已經(jīng)身患癌癥，哪怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機(jī)，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了?！?/p>

聽到老同學(xué)的肺腑之言，尹志堯的血液沸騰了。他想到自己的父輩，他們不管面對(duì)多少誘惑，都堅(jiān)定地選擇回國，積極投身于國家建設(shè)之中。而自己這20年來，一直在美國工作，沒有用自己的學(xué)識(shí)來回報(bào)祖國。

在美國生活多年的尹志堯心里很清楚，即便美國再發(fā)達(dá)，也無法給他帶來歸屬感。只有中國才是他的根，這一點(diǎn)永遠(yuǎn)不會(huì)變。

現(xiàn)在，是時(shí)候回去為祖國效力了。盡管沒有任何創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，可60歲的尹志堯毅然帶領(lǐng)15人的團(tuán)隊(duì)飛抵上海，在浦東創(chuàng)辦了中微半導(dǎo)體設(shè)備公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）。

那時(shí)，我國的集成電路產(chǎn)業(yè)剛剛起步，資金、人才、設(shè)備方面都存在較大缺口，加上刻蝕機(jī)的研制與生產(chǎn)極其復(fù)雜，這些因素使得尹志堯的創(chuàng)業(yè)之路無比坎坷艱辛。

可無論多大的困難，都阻礙不了他為祖國研制刻蝕機(jī)的激情和決心。政府投入的資金消耗殆盡后，他開始四處融資。沒有做微觀設(shè)備所需的專業(yè)技術(shù)人才，他就從各大院校招聘相關(guān)專業(yè)的學(xué)生來培養(yǎng)。

2007年，中微公司第一臺(tái)CCP（電容耦合等離子體）刻蝕機(jī)交付成功，這可是中國自己制造的大國重器??！這也標(biāo)志著“中國芯”的研發(fā)進(jìn)程取得了巨大突破。

對(duì)于刻蝕機(jī)，尹志堯有過一個(gè)比喻。他說芯片制造，好比在人的頭發(fā)絲的幾千分之一，甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一座五六十層的大樓。這是需要多部門、多設(shè)備協(xié)同作戰(zhàn)的。其中最關(guān)鍵的幾種設(shè)備里，薄膜機(jī)負(fù)責(zé)鋪好材料，光刻機(jī)在上面畫好花紋，然后刻蝕機(jī)再把多余的地方剪掉，像剪窗花一樣。

隨著科技的發(fā)展，芯片的體積越來越小，精度越來越高，加工步驟越來越多，刻蝕機(jī)的作用也就越來越大。

從被動(dòng)防御到主動(dòng)破局

逆境突圍數(shù)年后，尹志堯帶著他的團(tuán)隊(duì)攻克了一個(gè)個(gè)難關(guān)，將刻蝕機(jī)的精度從14納米推進(jìn)到7納米，再提升到5納米，締造了一個(gè)個(gè)中國傳奇。

然而，這份亮眼的成績(jī)單，卻讓尹志堯的幾個(gè)前東家感受到了壓力。

最先跳出來的是應(yīng)用材料公司。2007年10月，他們向法院提出訴訟，狀告尹志堯和中微公司侵犯商業(yè)秘密。理由是，中微公司的核心技術(shù)人員都曾在硅谷的相關(guān)公司工作。

作為芯片制造裝備研發(fā)領(lǐng)域的專家，尹志堯深知專利技術(shù)的壁壘，又怎會(huì)犯這種原則性的錯(cuò)誤？從研發(fā)的第一天起，他就要求團(tuán)隊(duì)成員不光要避開行業(yè)內(nèi)的幾百個(gè)技術(shù)專利，還要避開原公司的所有設(shè)計(jì)方案。這樣做，既能避免糾紛，也可以保護(hù)中微公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

這場(chǎng)官司打了兩年半，美國律師在徹查了中微公司內(nèi)部的600多萬份文件后，證實(shí)中微公司的刻蝕機(jī)技術(shù)全部是自己研發(fā)的。鐵證如山，應(yīng)用材料公司只得鎩羽而歸。

而在中微公司與應(yīng)用材料公司的官司還未了結(jié)前，泛林集團(tuán)也向法院起訴中微公司侵權(quán)。當(dāng)起訴被駁回后，中微公司以侵犯商業(yè)機(jī)密為由，向泛林集團(tuán)提起了訴訟。

泛林集團(tuán)萬萬沒想到，這支回旋鏢最終還是扎到了自己身上。法院判決泛林集團(tuán)侵權(quán)責(zé)任成立，勒令泛林集團(tuán)銷毀與中微公司刻蝕機(jī)技術(shù)相關(guān)的所有文件和照片，此事才算塵埃落定。

都說對(duì)手是最好的老師，多年來，美國在芯片技術(shù)方面的“卡脖子”舉措，反而極大地推動(dòng)了我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主研制的進(jìn)程。

作為世界一流的科學(xué)家，尹志堯有著非同一般的眼光與格局。比如，中微公司采取的是員工全員持股制。

在中微公司市值到達(dá)1000億元那天，全公司750人中，有50人的身家超過1億元；375人的身家在1000萬元到1億元之間；就連入職才兩三年的新員工，也有100萬元到1000萬元的身家。出乎意料的是，作為中微公司創(chuàng)始人的尹志堯，卻只持有公司0.7%的股份。

從硅谷精英到中國民族工業(yè)的重要建設(shè)者，尹志堯用20多年的時(shí)間詮釋了什么是赤子之心。

從花甲之年歸國創(chuàng)業(yè)，到帶領(lǐng)中微公司打破國際壟斷，尹志堯的故事不僅是中國芯片崛起的縮影，更是一曲永不言敗的科技戰(zhàn)歌。

“芯片戰(zhàn)爭(zhēng)”未有終局，但尹志堯的信念始終如一?！澳呐挛覀兤鸩酵砹艘恍?，只要咬牙堅(jiān)持下去，就一定能做到世界前沿。”尹志堯說。

中國科技的崛起之勢(shì)無法阻擋。正如尹志堯永駐“38歲青春”，“中國芯”將永遠(yuǎn)年輕，永遠(yuǎn)令人熱血沸騰！

摘編自微信公眾號(hào)“最華人”