近期，全球光刻機(jī)巨頭阿斯麥在一季報(bào)業(yè)績(jī)溝通會(huì)上表示，2025年中國(guó)市場(chǎng)對(duì)ASML芯片制造工具的需求強(qiáng)于預(yù)期。2025年一季度，以路維光電、晶瑞電材和江化微為代表的電子材料廠商業(yè)績(jī)?cè)鏊偬岣?，印證下游面板廠商及晶圓廠的需求旺盛。

電子材料是半導(dǎo)體制造流程中的重要參與者，其景氣程度與下游的產(chǎn)能擴(kuò)張及產(chǎn)品升級(jí)高度相關(guān)。2024年四季度以來(lái)，A股光刻材料類(lèi)公司捷報(bào)頻出，股價(jià)震蕩上行，成為牛市的助推劑之一，反映出國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游向自主可控的方向同步發(fā)展。

光刻材料是半導(dǎo)體制造中光刻工序不可或缺的耗材，經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)化水平有所提高，但高端產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代需求仍然強(qiáng)烈。高端濕電子化學(xué)品的國(guó)產(chǎn)化程度不高，中國(guó)的光刻產(chǎn)業(yè)不僅需要量的增加，更需要質(zhì)的升級(jí)。

不論是掩膜版還是光刻膠，如果自建工廠，面板廠商或晶圓廠會(huì)面臨大量設(shè)備、人工、資金等投入，且生產(chǎn)環(huán)節(jié)復(fù)雜，靈活性不高，相比之下，獨(dú)立運(yùn)營(yíng)的掩模版及電子化學(xué)品廠商能夠發(fā)揮技術(shù)專(zhuān)業(yè)化、規(guī)模化的優(yōu)勢(shì)，取得一定的規(guī)模經(jīng)濟(jì)效益。

目前，多家光刻材料類(lèi)公司研發(fā)進(jìn)展顯著，擴(kuò)產(chǎn)半導(dǎo)體先進(jìn)制程的配套材料。4月30日，茂萊光學(xué)發(fā)布可轉(zhuǎn)債募集說(shuō)明書(shū)，擬募集不超過(guò)5.81億元用于超精密光學(xué)生產(chǎn)加工項(xiàng)目，旨在擴(kuò)大半導(dǎo)體領(lǐng)域的銷(xiāo)售規(guī)模。

掩膜版需求旺盛

光掩膜版為圖形轉(zhuǎn)移的藍(lán)本，是銜接芯片設(shè)計(jì)公司與晶圓制造廠之間的橋梁，目前國(guó)產(chǎn)掩膜版的制程主要集中于350nm-180nm。2025年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體掩膜版市場(chǎng)規(guī)模約為187億元，其中晶圓制造用掩膜版約為100億元，封裝用掩膜版約為26億元，其他器件用掩膜版約為61億元。

先進(jìn)封裝的各主要工藝環(huán)節(jié)以及封裝基版等的制造都高度依賴(lài)光刻技術(shù)和掩膜版，封裝技術(shù)的革新催生先進(jìn)封裝掩膜版需求高增，而顯示技術(shù)的迭代，如8K、折疊屏、透明OLED等，亦提高了掩膜版的價(jià)值量。

伴隨LCD向OLED切換、低溫多晶硅技術(shù)向低溫多晶氧化物切換，面板行業(yè)對(duì)掩膜版的需求層數(shù)、單片精度都不斷提升。下游面板行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)本土化趨勢(shì)帶動(dòng)本土面板掩膜版的需求增長(zhǎng)。

2024年路維光電實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入8.76億元，同比增長(zhǎng)30.21%，主要得益于下游行業(yè)需求旺盛、該公司的產(chǎn)能穩(wěn)步提升。

從收入結(jié)構(gòu)看，2024年平板顯示掩膜版保持該公司的主要收入來(lái)源，其中OLED用掩膜版的增速明顯，帶動(dòng)平板顯示掩膜版的整體增長(zhǎng)；先進(jìn)封裝掩膜版的表現(xiàn)突出，產(chǎn)品可滿足國(guó)內(nèi)各種先進(jìn)封裝要求，該公司已成為許多下游封測(cè)廠的頭部供應(yīng)商。

路維光電對(duì)國(guó)內(nèi)某領(lǐng)先芯片公司及其配套供應(yīng)商、京東方、寰采星、藍(lán)思科技、成都奕成等客戶的供貨量提升較快。2024年高精度半導(dǎo)體掩膜版與大尺寸平板顯示掩膜版擴(kuò)產(chǎn)等項(xiàng)目投產(chǎn)后，產(chǎn)能迅速爬坡釋放，營(yíng)業(yè)收入和利潤(rùn)攀升。2024年實(shí)現(xiàn)扣非歸母凈利潤(rùn)1.74億元，同比增長(zhǎng)39.56%。

該公司正在實(shí)施的半導(dǎo)體及高精度平板顯示掩膜版擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目涵蓋250nm-130nm半導(dǎo)體掩膜版和G8.6及以下高精度平板顯示掩膜版產(chǎn)品，預(yù)計(jì)在2025年完成新增產(chǎn)線建設(shè)并逐步釋放產(chǎn)能。

清溢光電平板顯示行業(yè)掩膜版的典型客戶包括京東方、維信諾、惠科、天馬、華星光電等；半導(dǎo)體芯片行業(yè)掩膜版的典型客戶包括芯聯(lián)集成、三安光電、艾克爾、士蘭微、泰科天潤(rùn)、積塔半導(dǎo)體、華微電子、賽微電子和長(zhǎng)電科技等。

2024年清溢光電半導(dǎo)體芯片掩膜版的營(yíng)業(yè)收入為1.93億元，較上年同期增長(zhǎng)33.98%。該公司已實(shí)現(xiàn)180nm工藝節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體芯片掩膜版的量產(chǎn)，以及150nm工藝節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體芯片掩膜版的小規(guī)模量產(chǎn)，正在推進(jìn)130nm-65nm的特定工藝的掩膜版開(kāi)發(fā)和28nm半導(dǎo)體芯片所需的掩膜版工藝開(kāi)發(fā)規(guī)劃。

清溢光電平板顯示掩膜版2024年的營(yíng)業(yè)收入為8.59億元，較上年同期增長(zhǎng)17.59%。合肥工廠聚焦于擴(kuò)大中高端平板顯示掩膜版的產(chǎn)能，配套建設(shè)中高端平板顯示掩膜版產(chǎn)線，并加大研發(fā)投入，加快高端掩膜版產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)替代。

佛山生產(chǎn)基地項(xiàng)目包括高精度掩膜版生產(chǎn)基地建設(shè)項(xiàng)目和高端半導(dǎo)體掩膜版生產(chǎn)基地建設(shè)項(xiàng)目，其中，前者將分三期進(jìn)行建設(shè)，合計(jì)擬投資20億元，后者合計(jì)擬投資15億元。項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，將顯著提高清溢光電平板顯示掩膜版和半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)能。

菲利華推出國(guó)內(nèi)首創(chuàng)的10.5代薄膜晶體管LCD光掩膜基版，光掩?；婢芗庸ろ?xiàng)目建成投產(chǎn)，填補(bǔ)該領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)空白。

該公司的半導(dǎo)體制程用氣熔石英玻璃材料通過(guò)了日本東京電子株式會(huì)社、泛林研發(fā)、應(yīng)用材料公司三大國(guó)際半導(dǎo)體原廠設(shè)備商以及日立高新技術(shù)公司的認(rèn)證，石英玻璃制品通過(guò)了中微公司與北方華創(chuàng)的認(rèn)證。

天風(fēng)證券認(rèn)為，全球半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域主要被日本JSR、TOK、住友化學(xué)、信越化學(xué)、富士材料及美國(guó)陶氏化學(xué)等頭部廠商壟斷，他們掌握超過(guò)90%的半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)。中國(guó)企業(yè)量產(chǎn)產(chǎn)品以技術(shù)要求相對(duì)較低的i 線/g 線光刻膠為主，但目前 i 線/g 線光刻膠國(guó)產(chǎn)比例也仍有較大提升空間。在更高端的KrF、ArF光刻膠領(lǐng)域，目前國(guó)產(chǎn)比例非常低，更高端的EUV光刻膠仍處于研發(fā)階段。

精密光學(xué)組件攻堅(jiān)克難

半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)突破及國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程是產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在涂膠顯影環(huán)節(jié)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在精度、分辨率、工藝穩(wěn)定性和可靠性等方面與國(guó)際先進(jìn)水平相比仍存在一定差距；在光刻環(huán)節(jié)，紫外光刻機(jī)已經(jīng)完成國(guó)產(chǎn)化，極紫外光刻機(jī)尚處于早期技術(shù)探索階段。

在后道封測(cè)領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)等設(shè)備方面的配套能力較前道設(shè)備更為完善，國(guó)內(nèi)龍頭廠商在高端新品研發(fā)和市場(chǎng)拓展等方面進(jìn)程較快。

蔡司、尼康和佳能作為全球少數(shù)能夠提供超精密光學(xué)元器件的供應(yīng)商，占據(jù)了半導(dǎo)體超精密光學(xué)市場(chǎng)幾乎全部份額，但海外廠商的光刻機(jī)供給量無(wú)法滿足中國(guó)自身的需求增量。國(guó)內(nèi)還存在著龐大的光刻機(jī)存量市場(chǎng)，核心零部件的替換、更新對(duì)于存量光刻材料的產(chǎn)能需求較為穩(wěn)定。

永新光學(xué)超精密光學(xué)元組件產(chǎn)品已應(yīng)用于無(wú)掩膜光刻設(shè)備，半導(dǎo)體光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備等，核心光學(xué)模組及鏡頭已應(yīng)用于光刻檢測(cè)系統(tǒng)，光刻鏡頭產(chǎn)品已應(yīng)用于PCB光刻設(shè)備。此外，該公司的核心光學(xué)元組件產(chǎn)品可應(yīng)用于激光微加工、光學(xué)傳感等領(lǐng)域，光學(xué)顯微鏡已用于光通訊、半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備及集成電路的檢測(cè)等領(lǐng)域。

茂萊光學(xué)已完成超精密光學(xué)器件及物鏡鏡頭的樣件研發(fā)，在研項(xiàng)目包括光刻前道缺陷光學(xué)量測(cè)技術(shù)、光刻機(jī)照明系統(tǒng)高精度光學(xué)器件加工與檢測(cè)技術(shù)研究。

前者已完成紫外檢測(cè)系統(tǒng)樣機(jī)的工藝改善和驗(yàn)證工作，正在進(jìn)行部分功能升級(jí)和小批量試制準(zhǔn)備，后者已完成光刻機(jī)照明系統(tǒng)高精度光學(xué)器件加工與檢測(cè)工藝設(shè)計(jì)工作，以及部分資源和能力建設(shè)，正在進(jìn)行工藝可行性驗(yàn)證。

茂萊光學(xué)擬向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)債，募集資金總額不超過(guò)5.81億元，用于超精密光學(xué)生產(chǎn)加工、研發(fā)中心建設(shè)等項(xiàng)目，助力該公司實(shí)現(xiàn)包括超精密光學(xué)器件和物鏡鏡頭的量產(chǎn)。

光刻膠品類(lèi)拓寬

半導(dǎo)體和平板顯示的濕法工藝制程中，需要大量通用性的超凈高純?cè)噭┖凸δ苄缘墓饪棠z配套試劑。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和平板面板行業(yè)的增長(zhǎng)以及濕電子化學(xué)品技術(shù)的提高，配套的濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇。

晶圓光刻膠是半導(dǎo)體光刻工藝中的關(guān)鍵材料，目前國(guó)內(nèi)在先進(jìn)的KrF、ArF、EUV光刻膠領(lǐng)域尚未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，而KrF、ArF光刻膠因其覆蓋了從0.25μm到7nm的主要半導(dǎo)體先進(jìn)制造工藝，是現(xiàn)階段迫切需要實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化技術(shù)突破的半導(dǎo)體關(guān)鍵材料。

預(yù)計(jì)到2025年，中國(guó)集成電路晶圓制造用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到37.64億元。

2024年晶瑞電材光刻膠產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入1.98億元，同比增長(zhǎng)27.61%。正性光刻膠產(chǎn)品銷(xiāo)量合計(jì)增長(zhǎng)超過(guò)23%，銷(xiāo)售額增長(zhǎng)超過(guò)29%，i線及KrF光刻膠產(chǎn)品持續(xù)放量，ArF光刻膠厚積薄發(fā)實(shí)現(xiàn)小批量出貨，同時(shí)多款KrF及ArF光刻膠產(chǎn)品正在客戶驗(yàn)證；紫外寬譜系列光刻膠產(chǎn)品銷(xiāo)量及銷(xiāo)售額增長(zhǎng)均超過(guò)27%，且對(duì)多個(gè)國(guó)家或地區(qū)的新客戶實(shí)現(xiàn)了首次出口。

鼎龍股份在光刻膠領(lǐng)域投入大量研發(fā)資源，目前已布局20余款高端晶圓光刻膠，已有12款送樣客戶端驗(yàn)證，其中7款進(jìn)入加樣階段。2024年，該公司浸沒(méi)式ArF及KrF晶圓光刻膠產(chǎn)品首獲國(guó)內(nèi)主流晶圓廠客戶訂單。

鼎龍股份開(kāi)發(fā)出KrF、ArF光刻膠專(zhuān)用樹(shù)脂及其高純度單體、光致產(chǎn)酸劑等關(guān)鍵材料，實(shí)現(xiàn)從關(guān)鍵材料到光刻膠產(chǎn)品自主可控的全流程國(guó)產(chǎn)化，符合下游客戶產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全自主可控的需求。在產(chǎn)能建設(shè)方面，推進(jìn)潛江二期年產(chǎn)300噸KrF、ArF高端晶圓光刻膠量產(chǎn)線建設(shè)。

江化微G3等級(jí)二氧化硅蝕刻液、鈦蝕刻液成功進(jìn)入國(guó)內(nèi)6寸晶圓、8寸先進(jìn)封裝凸塊芯片生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，部分產(chǎn)品已在華力微、合肥長(zhǎng)鑫、積塔半導(dǎo)體、上海新昇等客戶形成銷(xiāo)售，在華虹半導(dǎo)體及臺(tái)灣高端半導(dǎo)體客戶驗(yàn)證通過(guò)。

2024年該公司銷(xiāo)售光刻膠配套試劑3.81億元，同比增長(zhǎng)15.90%，2025年一季度該類(lèi)銷(xiāo)售額為9198萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)17.32%。鎮(zhèn)江江化微年產(chǎn)22.8萬(wàn)噸超凈高純?cè)噭?、光刻膠配套試劑等各類(lèi)高端電子化學(xué)品材料項(xiàng)目一期項(xiàng)目產(chǎn)能已正式形成，二期項(xiàng)目預(yù)計(jì)10萬(wàn)噸產(chǎn)能。

彤程新材的產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋集成電路芯片、LED、分立器件、先進(jìn)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)等，其生產(chǎn)的G線光刻膠產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)占據(jù)較大市場(chǎng)份額，i線光刻膠產(chǎn)品已接近國(guó)際先進(jìn)水平。2024年彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.03億元，同比增長(zhǎng)50.43%。該年新增新產(chǎn)品27支，新產(chǎn)品銷(xiāo)售收入占比達(dá)43%，其中前8項(xiàng)新產(chǎn)品貢獻(xiàn)了80%的銷(xiāo)售額。ArF光刻膠已通過(guò)客戶驗(yàn)證并開(kāi)始陸續(xù)上量產(chǎn)生營(yíng)收，EBR等高端光刻膠產(chǎn)品在該年度取得銷(xiāo)售收入，新產(chǎn)品數(shù)量仍在持續(xù)增加。

該公司年產(chǎn)1.1萬(wàn)噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬(wàn)噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目已部分建設(shè)完成，其中包括年產(chǎn)300/400噸ArF及KrF光刻膠量產(chǎn)產(chǎn)線。此外，部分光刻膠產(chǎn)品已成功使用自研樹(shù)脂并實(shí)現(xiàn)商用，光刻膠樹(shù)脂業(yè)務(wù)持續(xù)助力光刻膠的研發(fā)。

在AMOLED光刻膠方面，彤程新材旗下北旭電子研發(fā)的產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于G4.5-G6代線，兼容剛性及柔性O(shè)LED面板制程工藝。該公司開(kāi)發(fā)的高性能高分辨率光刻膠以及AMOLED Touch用低溫光刻膠均已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷(xiāo)售。

北旭電子顯示面板光刻膠業(yè)務(wù)2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.30億元，同比增長(zhǎng)26.8%，面板光刻膠產(chǎn)品銷(xiāo)量同比增長(zhǎng)30.6%，國(guó)內(nèi)市占率約為27.1%，子公司北旭電子在國(guó)內(nèi)某大客戶的占有率約55%以上，隨著AMOLED新型顯示等相關(guān)產(chǎn)品的擴(kuò)銷(xiāo)，份額有望進(jìn)一步提升。

爭(zhēng)取規(guī)模效應(yīng)

國(guó)產(chǎn)前道制造光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)90nm工藝芯片的量產(chǎn)，高端光刻機(jī)方面仍處于研發(fā)階段，尚未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。

阿斯麥曾在2024年10月警告稱(chēng)，中國(guó)市場(chǎng)的銷(xiāo)售額將降至其凈系統(tǒng)銷(xiāo)售額的20%，而2025年一季度，阿斯麥來(lái)自中國(guó)大陸的凈系統(tǒng)銷(xiāo)售額與上一季度相比保持穩(wěn)定，為27%，表明中國(guó)光刻產(chǎn)業(yè)具備較大的上升空間。

相關(guān)光刻材料公司的產(chǎn)品經(jīng)歷了從研發(fā)攻堅(jiān)、客戶驗(yàn)證到批量生產(chǎn)的過(guò)程，積極實(shí)施新產(chǎn)品的產(chǎn)能投放，總體來(lái)看，試產(chǎn)階段產(chǎn)線的利用率較低，折舊及攤銷(xiāo)額較大，短期會(huì)拖累業(yè)績(jī)，但經(jīng)過(guò)該階段之后，隨著產(chǎn)能利用率的提高，規(guī)模效益逐漸顯現(xiàn)。

2025年一季度，路維光電實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入同比增長(zhǎng)47.09%，主要是一季度產(chǎn)能提升，高端的 AMOLED、先進(jìn)封裝等高端產(chǎn)品進(jìn)一步放量，加之下游需求旺盛，帶動(dòng)營(yíng)業(yè)收入穩(wěn)步增長(zhǎng)?？鄯菤w母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)19.90%。

晶瑞電材2024年半導(dǎo)體G5級(jí)高純雙氧水、高純硫酸等新建主體資產(chǎn)規(guī)模建成，新增產(chǎn)線全面投產(chǎn)并且大批量出貨，在建工程轉(zhuǎn)入固定資產(chǎn)，同時(shí)耗資較大的ArF、KrF高端光刻膠實(shí)驗(yàn)室投入使用，最終導(dǎo)致固定資產(chǎn)折舊金額同比大幅增加7614萬(wàn)元。

2025年一季度晶瑞電材收入及扣非歸母凈利潤(rùn)分別同比增長(zhǎng)12.17%和16.89倍。

一季度毛利率提高了1.66個(gè)百分點(diǎn)，毛利率的上升除因降本增效措施之外，還因?yàn)樵摴纠^續(xù)擴(kuò)大優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品的銷(xiāo)量，高純硫酸、高純雙氧水四個(gè)生產(chǎn)基地20多萬(wàn)噸的本土最大產(chǎn)能的規(guī)模效應(yīng)開(kāi)始顯現(xiàn)，出貨量持續(xù)上升。