“簡而言之，我們的工作就是給精密器件拍‘CT’?！睂τ谌绾胃攀鲎约哼@么多年的科研與創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷，濟南中科核技術(shù)研究院項目經(jīng)理、銳影檢測科技（濟南）有限公司總經(jīng)理劉寶東這樣說道。

作為一名專業(yè)從事X射線計算機斷層成像（CT）理論與應用研究的學者，劉寶東在美國深造期間，被當?shù)丶夹g(shù)設(shè)備的領(lǐng)先程度所觸動，從此堅定了回國創(chuàng)業(yè)打破國外壟斷的決心?；貒?，他帶領(lǐng)團隊先后完成了多項X射線無損檢測技術(shù)設(shè)備研發(fā)，2021年，因第三屆創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽，劉寶東的項目與濟南結(jié)緣，落地銳影檢測科技（濟南）有限公司，技術(shù)成果轉(zhuǎn)化駛?cè)搿翱燔嚨馈薄?/p>

對于公司未來發(fā)展，劉寶東表示，“我們公司的愿景就是打破國外壟斷，填補國內(nèi)多領(lǐng)域空白，希望發(fā)展成能夠代表國內(nèi)最高水平的X射線精密無損檢測行業(yè)的標桿企業(yè)。”

深鉆細研給半導體芯片拍“CT”

所謂“無損檢測”，即借助現(xiàn)代技術(shù)和設(shè)備，在不損害或影響試件使用性能的前提下，觀測試件內(nèi)部組織狀態(tài)及缺陷類型、性質(zhì)、形狀等等，相當于人類的眼睛的延伸。

劉寶東是這個領(lǐng)域的佼佼者，他一直致力于X射線精密無損檢測設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)和整機工程化開發(fā)工作，最擅長的就是給精密器件做“CT”，并為解決中國半導體芯片封測難題和工業(yè)4.0提質(zhì)增效做出積極貢獻。

科研的成果自然離不開理論的學習，2001年，剛步入大學的劉寶東所學的是信息計算科學專業(yè)；到2008年讀博時，他選擇從理科轉(zhuǎn)向工科，學習儀器科學與技術(shù)專業(yè)，從此與無損檢測技術(shù)、設(shè)備的關(guān)系愈發(fā)緊密。

2011年，劉寶東赴美留學深造。作為一名留美博士后和科技型中小企業(yè)負責人，在美國的有關(guān)無損檢測的見聞讓他感受到了強烈的危機感、緊迫感，同時也堅定了他必須回國創(chuàng)業(yè)的信心和決心。2013年，歸來的劉寶東留在了中國科學院高能物理研究所核技術(shù)應用研究中心，開展各類CT設(shè)備的研發(fā)工作。

“X射線無損檢測設(shè)備在國際上比較通用，但目前國內(nèi)所用的X射線無損檢測設(shè)備大部分為國外進口，設(shè)備維修和安全難以保障?！睂Υ?，有著多年經(jīng)驗和技術(shù)積累的劉寶東，積極尋求X射線無損檢測成果轉(zhuǎn)eq43hj2ll4xWDAR7/tEgPKvtnCIr17oP+4x3qPOMGmQ=化輸出落地的路徑。

“高分辨X射線三維檢測技術(shù)能以微米級的成像精度直觀、定量地測量芯片內(nèi)部的三維結(jié)構(gòu)和缺陷，可彌補光學檢測技術(shù)無法檢測三維封裝的不足，是當前半導體、集成電路、工業(yè)精密部件、電子、汽車以及地質(zhì)、考古等領(lǐng)域應用最為廣泛的前沿技術(shù)，但長期以來，無論是技術(shù)還是設(shè)備，都受到國外的壟斷?！眲殩|介紹道。

為了打破國外壟斷，劉寶東帶領(lǐng)研發(fā)團隊在國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項的支持下研發(fā)了用于集成電路先進封裝檢測的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的X射線三維成像系列儀器，技術(shù)指標達到國際先進水平，實現(xiàn)了同類儀器的國產(chǎn)化突破。

落地濟南走向成果產(chǎn)業(yè)化

帶著具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“集成電路三維X射線檢測儀”項目，2020年，劉寶東參加了第三屆創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽，并獲得二等獎，他本人也因此入選濟南市“海右計劃”產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才。

2021年，依托獲獎項目，中國科學院高能物理研究所與濟南市合作共建的濟南中科核技術(shù)研究院在濟南起步區(qū)成立了首家產(chǎn)業(yè)化公司——銳影檢測科技（濟南）有限公司，專注于X射線無損檢測領(lǐng)域的需求。

“在公司成立過程中，我們在資金、政策、服務等方面得到了濟南給予的大力支持，公司因此得以迅速起步?！眲殩|說，作為濟南中科核技術(shù)研究院成功孵化的第一家科技型公司，銳影檢測科技（濟南）有限公司已具備從低能到高能、從顯微到大型整機的完整工業(yè)CT設(shè)備系列定制化生產(chǎn)能力和技術(shù)服務能力。

以今年4月份面世的國際首臺IGBT缺陷X射線智能檢測儀為例，該設(shè)備主要的工作對象是一種名為“絕緣柵雙極型晶體管”的特殊集成電路器件。該器件是能源變換與傳輸?shù)暮诵钠骷?，俗稱電力電子裝置的“心臟”，在軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天、電動汽車與新能源裝備等領(lǐng)域應用極廣，但IGBT作為一種大功率模塊，芯片工作時會產(chǎn)生大量的熱量，需要及時散發(fā)掉。焊料層的氣孔會嚴重影響散熱的效率，可能導致重大安全事故，因此需要對氣孔率嚴格控制。

“目前，常用的檢測手段是超聲檢測，但非常容易受散熱柱的干擾，導致檢測偏差。同時，超聲檢測要將模塊浸入到水中，需要隔離水的工裝，還需要人工操作，檢測過程復雜，難以實現(xiàn)在線檢測，效率較低。此外，普通的二維X光成像會將IGBT模塊兩個焊料層混在一起，無法區(qū)分，并且有些大功率模塊帶有散熱柱，會嚴重影響氣孔檢測的準確率?！睘榇?，劉寶東主持研發(fā)了國際首臺IGBT缺陷X射線智能檢測儀，可對復雜結(jié)構(gòu)IGBT模塊焊接層進行焊接缺陷檢測。

“就像我們查體時做CT，能夠全面透視人體，幫助準確診斷。無損精密檢測設(shè)備是給工業(yè)設(shè)備做CT，準確查找產(chǎn)品缺陷，保證產(chǎn)品質(zhì)量?！眲殩|介紹，在研發(fā)過程中，產(chǎn)品解決了大視野快速成像、自動上下料、缺陷自動識別等關(guān)鍵問題。技術(shù)指標達到國際領(lǐng)先水平，檢測效果優(yōu)于超聲及二維X光檢測，尤其為帶散熱柱的IGBT模塊芯片下焊接層的氣孔檢測提供了唯一有效的無損檢測手段。目前，儀器已在國內(nèi)IGBT生產(chǎn)的龍頭企業(yè)應用。

致力打造無損檢測領(lǐng)域品牌標桿

在中國科學院高能物理研究所核技術(shù)應用中心多年的科研經(jīng)歷以及銳影檢測創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗讓劉寶東明白，要想填補國內(nèi)空白、實現(xiàn)國際領(lǐng)先，必須痛下決心，瞄準產(chǎn)業(yè)前沿最迫切的需求，把技術(shù)優(yōu)勢轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)發(fā)展優(yōu)勢。

2023年4月，有“中國電子生產(chǎn)制造行業(yè)風向標”之稱的2023年慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展在上海新國際博覽中心開幕，銳影檢測科技（濟南）有限公司應邀參展，多款X射線精密無損檢測設(shè)備和在線自動檢測解決方案亮相本次慕展，全維度展示和分享了在工業(yè)檢測領(lǐng)域的新理念新產(chǎn)品，賦能功率半導體、集成電路、電子設(shè)備產(chǎn)品等客戶全價值鏈提升。

展會現(xiàn)場，銳影檢測科技吸引了各界領(lǐng)導及專業(yè)人士的駐足咨詢，并獲得高度認可，進行了深入的商務洽談，共謀合作。

如今，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革突飛猛進，學科交叉融合不斷發(fā)展，科學研究范式發(fā)生深刻變革，科學技術(shù)和經(jīng)濟社會發(fā)展加速滲透融合。對于如何加快科技自立自強步伐，解決“卡脖子”問題，劉寶東認為，要去解決一些其他企業(yè)解決不了的問題，研究哪一行就要把哪一行做到國際先進水平。同時，科研工作不能“束之高閣”，最終要落到“有用”上去。

“從科研到市場，銳影檢測科技（濟南）有限公司要借助中國科學院高能物理研究所建設(shè)和運行大科學裝置積累的技術(shù)和人才優(yōu)勢，同時依托于濟南中科核技術(shù)研究院科技成果轉(zhuǎn)化平臺，為推動中國半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展發(fā)揮積極作用。”劉寶東表示，未來公司將以科技驅(qū)動創(chuàng)新，瞄準需求、服務社會，搶占核技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)制高點，為濟南起步區(qū)創(chuàng)建檢驗檢測高技術(shù)服務業(yè)集聚區(qū)提供更多新動能，打造國內(nèi)最高水平的X射線精密無損檢測行業(yè)標桿。

As a professional dedicated to the research of X-ray Computed Tomography （CT） theory and applications， Liu Baodong， during his advanced studies in the United States， was profoundly impressed by the superior level of technological advancement and equipment available there. This experience solidified his resolve to return home and embark on an entrepreneurial journey aimed at breaking the foreign monopoly in this field.

To break the foreign monopoly， Liu Baodong led the research and development team， supported by the National Special Project for the Development of Key Scientific Instruments and Equipment， to develop a series of X-ray three-dimensional imaging instruments with independent intellectual property rights for advanced packaging inspection of integrated circuits. The technical specifications of these instruments have reached international advanced levels， achieving a significant breakthrough in the localization of such equipment.

With the ‘Integrated Circuit Three-Dimensional X-ray Detector’ project， which holds independent intellectual property rights， Liu Baodong participated in the Third Innovation and Entrepreneurship Contest in 2020， where he won the Second Prize. He was also selected as an industry-leading talent under Jinan City’s ‘Haiyou Plan’.

Today， a new round of scientific and technological revolution and industrial transformation is progressing rapidly. The interdisciplinary fusion of fields continues to evolve， and the paradigms of scientific research are undergoing profound changes. Science and technology are increasingly integrating with economic and social development. Regarding how to accelerate the pace of scientific and technological independence and self-improvement， and address the “bottleneck” issues， Liu Baodong believes that it is essential to tackle problems that other companies cannot solve and to ensure that every field of research reaches international advanced standards. Moreover， scientific research must not remain theoretical but should ultimately prove practical and applicable. Liu Baodong stated that in the future， the company will drive innovation through science and technology， targeting societal needs， and aim to secure the pinnacle of the nuclear technology application industry. This will provide more new momentum for the establishment of a high-tech service cluster for testing and inspection in Jinan’s emerging district， striving to set the benchmark for the highest level of precision non-destructive X-ray testing within the domestic industry.