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        基于山梨醇鈍化的綠光多晶薄膜鈣鈦礦發(fā)光二極管

        2023-11-07 02:33:48董建華池淑瑞金旭東苗艷勤
        發(fā)光學(xué)報(bào) 2023年10期

        盧 璐,董建華,池淑瑞,金旭東,趙 敏,2*,王 華,苗艷勤,3*

        (1. 太原理工大學(xué) 新材料界面科學(xué)與工程教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,山西 太原 030024;2. 興縣經(jīng)開區(qū)鋁鎂新材料研發(fā)有限公司,山西 興縣 033600;3. 山西浙大新材料與化工研究院,山西 太原 030000)

        1 引 言

        金屬鹵化物鈣鈦礦具有諸多優(yōu)異的光電性能,如可見光范圍內(nèi)可調(diào)的發(fā)光峰位、較窄半峰寬帶來的高色純度、離子晶體自身具有較高載流子遷移率等。以CsPbX3(X= Cl, Br, I)為代表的金屬鹵化鉛鈣鈦礦在光電技術(shù)領(lǐng)域展現(xiàn)出極大的應(yīng)用前景,成為近年來的重要研究領(lǐng)域[1]。

        2014 年,英國劍橋大學(xué)Friend 課題組以甲胺鉛碘(MAPbI3)和甲胺鉛溴(MAPbBr3)作為發(fā)光層,首次報(bào)道了能在室溫下工作的近紅外和綠光鈣鈦礦發(fā)光二極管(Perovskite light-emitting diodes,PeLEDs),器件外量子效率(External quantum efficiency,EQE)分別為0.76% 和0.1%。盡管器件效率很低,但該工作證明了室溫下濕法制備PeLEDs 的可行性,推動(dòng)PeLEDs 進(jìn)入大眾視野[2]。隨著研究的深入,近年來,鈣鈦礦發(fā)光器件的效率及性能得到迅速提升,如目前綠光PeLEDs的EQE 達(dá) 到28.9%[3],紅 光PeLEDs 也 已 超 過25%[4]。由于離子遷移易導(dǎo)致相分離,藍(lán)光PeLEDs的發(fā)展相對(duì)滯后,但其EQE 也達(dá)到了17.9%[5]。白光PeLEDs 也已得到研究并取得較大進(jìn)展,如最大EQE 也 達(dá) 到 了12.2%[6]。

        PeLEDs 的快速發(fā)展與有機(jī)發(fā)光二極管(Organic light-emitting diodes,OLEDs)深度研究和技術(shù)成熟密不可分[7-10]。與OLEDs 器件結(jié)構(gòu)類似,PeLEDs 也采用三明治器件結(jié)構(gòu)。以p-i-n 結(jié)構(gòu)為例,在外加電場(chǎng)作用下,空穴和電子分別從器件兩端的陽極ITO、陰極Al 注入,并經(jīng)載流子注入、傳輸層把電荷傳輸至發(fā)光層中,空穴和電子復(fù)合產(chǎn)生激子,隨后激子發(fā)生輻射躍遷產(chǎn)生光子[2]。鈣鈦礦材料的合成與成膜及鈣鈦礦層與有機(jī)功能層之間的界面接觸特性均對(duì)鈣鈦礦層的表面形貌、缺陷和器件性能及穩(wěn)定性有很大影響[11]。

        為提升器件性能,科研人員從鈣鈦礦薄膜的改善和器件結(jié)構(gòu)的優(yōu)化兩方面入手,開展了大量研究工作。調(diào)控鈣鈦礦組分、改變鈣鈦礦成膜條件或引入添加劑等可改善鈣鈦礦薄膜質(zhì)量及鈍化表面和界面缺陷;優(yōu)化功能層材料的選擇和厚度,改善器件結(jié)構(gòu),可平衡載流子傳輸,進(jìn)而提升器件性能[12]。研究表明,在前驅(qū)體溶液中引入添加劑,是一種簡單有效的鈣鈦礦缺陷鈍化策略。目前,用來鈍化鈣鈦礦缺陷的添加劑主要包括路易斯酸∕堿[13-15]及新型添加劑[16-18]等。常見的路易斯堿有包含亞硫酰基(S=O)、氰基(—CN)、羰基(C=O)、氨基(—NH2)、亞胺基(—NH)、羥基(—OH)和巰基(—SH)等基團(tuán)的化合物,路易斯堿可提供電子對(duì),與鈣鈦礦晶格中未配位的Pb2+產(chǎn)生相互作用,在鈣鈦礦薄膜中形成優(yōu)異的導(dǎo)電通道,進(jìn)而提升器件性能[19]。

        基于此,本文提出一種小分子路易斯堿添加劑——山梨醇作為鈍化劑,以改善鈣鈦礦薄膜質(zhì)量,進(jìn)一步提高器件性能。山梨醇作為一種穩(wěn)定的螯合劑,含有豐富的羥基,可以提供孤對(duì)電子,有效鈍化鈣鈦礦薄膜缺陷。研究表明,山梨醇的引入可以明顯改善薄膜質(zhì)量,且山梨醇濃度為0.3 mol·L-1時(shí),綠光PeLED 實(shí)現(xiàn)了最優(yōu)器件性能,最大亮度和EQE 分別達(dá)到7 654 cd·m-2和6.71%。

        2 實(shí) 驗(yàn)

        2.1 實(shí)驗(yàn)試劑

        溴化銫(CsBr, 99.9%)、甲基溴化胺(MABr,99.5%)和氟化鋰(LiF, >99.9%)均購于西安寶萊特光電科技有限公司。溴化鉛(PbBr2, 99.999%)、D-山梨醇和二甲基亞砜(DMSO, 99.7%, with molecular sieves)購于上海麥克林生化科技股份有限公司。4,6-雙(3,5-二(吡啶-3-基)苯基)-2-甲基嘧啶(4, 6-Bis(3, 5-di(pyridin-3-yl)phenyl)-2-methylpyrimidine, B3PYMPM)購于上海瀚豐化工科技有限公司。聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸鹽(PEDOT∶PSS AI4083)購于德國賀利氏公司。所有試劑采購回來后均未進(jìn)行純化,直接用于實(shí)驗(yàn)。

        2.2 前驅(qū)體制備

        如圖1 所示,將5 mmol CsBr 和5 mmol PbBr2在空氣氛圍下研磨60 min,得到黃色粉末。將黃色 粉 末、MABr 及D-山 梨 醇 按0.5 mol·L-1∶0.75 mol·L-1∶xmol·L-1溶 于DMSO(x= 0.0~0.4,不 添加山梨醇記為0.0 mol·L-1,山梨醇濃度為0.1 mol·L-1記為0.1 mol·L-1,依此類推)中,氮?dú)夥諊聰嚢柽^夜,得到過飽和的懸濁液。靜置待沉淀落于底部后抽取上清液,并用0.22 μm 孔徑的聚四氟乙烯疏水濾頭過濾,以備使用[20]。實(shí)驗(yàn)使用了過量的鈣鈦礦A位與X位離子,這種非化學(xué)計(jì)量比的前驅(qū)體可以有效鈍化鈣鈦礦的缺陷態(tài)、提高成膜后薄膜的覆蓋率和薄膜的發(fā)光效率[21-22]。鹵素空位是常見的鈣鈦礦缺陷之一,如果按照化學(xué)計(jì)量比會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)不充分,產(chǎn)生過量的Pb 原子;Pb 原子會(huì)增加非輻射復(fù)合并且降低輻射復(fù)合,猝滅激子,降低發(fā)光性能。MABr 的引入可以減少Pb 原子引起的激子猝滅中心,有利于器件性能的提升[23]。

        圖1 鈣鈦礦前驅(qū)體溶液合成示意圖Fig.1 Synthesis schematic diagram of perovskite precursor solution

        2.3 器件制備

        依次使用丙酮、洗滌劑、去離子水、丙酮和異丙醇超聲清洗氧化銦錫(Indium tin oxide,ITO)玻璃基底20 min,置于50 ℃烘箱中烘干。紫外-臭氧處理15 min,進(jìn)一步去除ITO 玻璃基底上的殘留物,并改善ITO 玻璃基底浸潤性。接著,將poly(3, 4-ethylenedioxythiophene): poly(styrene sulfonate) (PEDOT∶PSS)溶 液 旋 涂 至ITO 玻 璃 基 底上,轉(zhuǎn) 速 為4 000 r∕min,旋 涂 時(shí) 間 為60 s,并 在120 ℃空氣氛圍退火15 min,將溶劑完全揮發(fā)。隨后將ITO 玻璃基底轉(zhuǎn)移到氮?dú)馐痔紫渲?,如圖2(a)所示,旋涂鈣鈦礦發(fā)光層,旋涂轉(zhuǎn)速為2 000 r∕min,時(shí)間為60 s,45 ℃退火1 min。之后,將涂有鈣鈦礦發(fā)光層的ITO 玻璃基底導(dǎo)入真空熱蒸鍍?cè)O(shè)備腔體內(nèi),待真空度達(dá)到5×10-4Pa 以下,高真空熱蒸鍍依次沉積50 nm B3PYMPM、1 nm LiF 和100 nm Al。TPBi、LiF 和Al 的 沉 積 速 率 分 別 為0.1,0.01,0.2~0.5 nm·s-1。器件結(jié)構(gòu)如圖2(b)所示,具體為:ITO∕PEDOT∶PSS∕Perovskite∕B3PYMPM(50 nm)∕LiF(1 nm)∕Al(100 nm)。陰極Al 與陽極ITO 交疊形成3 mm × 3 mm 的方形區(qū)域?yàn)槠骷行Оl(fā)光面積。單空穴器件的制備與上述過程類似,鈣鈦礦層旋涂結(jié)束后,依次沉積3 nm MoOx和100 nm Al。

        圖2 鈣鈦礦發(fā)光層的旋涂成膜過程(a)與PeLEDs 器件結(jié)構(gòu)圖(b)Fig.2 Spin-coating film formation process of perovskite precursor solution(a) and PeLEDs structure diagram(b)

        2.4 表征測(cè)試

        在暗室環(huán)境、氮?dú)夥諊率褂糜?jì)算機(jī)集成控制的BM-7AC 型光度計(jì)和Keithley 2400 數(shù)字電源表測(cè)試器件的啟亮電壓、電流密度、電流效率、功率效率以及亮度等參數(shù)。用紫外光固化無影膠將樣品蓋板封裝后,在空氣氛圍下使用計(jì)算機(jī)集成控制的Spectra Scan PR 655 光譜輻射儀測(cè)試器件在不同驅(qū)動(dòng)電壓下的電致發(fā)光光譜、色坐標(biāo)以及色溫等參數(shù)。使用Fluoromax-4 熒光光譜儀測(cè)試鈣鈦礦薄膜的穩(wěn)態(tài)熒光光譜。采用Edinburgh F-980 瞬態(tài)熒光光譜儀測(cè)試薄膜的瞬態(tài)熒光衰減曲線。通過Per-kin Elmer Lambda 950 紫外可見近紅外分光光度計(jì)獲得薄膜的紫外-可見吸收光譜。使用蔡司Gemini 300 掃描電子顯微鏡表征薄膜形貌特征。采用TD 3500 X 射線衍射儀表征薄膜物相組成。利用Bruker Tensor 27 紅外光譜儀表征薄膜所含相關(guān)有機(jī)物官能團(tuán)。使用Thermo Fisher Scientific K-Alpha X 射線光電子能譜儀表征薄膜表面元素化學(xué)鍵。

        3 結(jié)果與討論

        3.1 形貌及物相分析

        為了揭示添加山梨醇對(duì)鈣鈦礦成膜的影響,對(duì)鈣鈦礦薄膜的形貌及物相組成進(jìn)行分析。制備了基于不同濃度山梨醇的鈣鈦礦薄膜來探究其組織形貌變化。圖3 為添加不同濃度山梨醇的鈣鈦礦薄膜掃描電子顯微鏡(Scanning electron microscope, SEM)圖和X 射線衍射(X-ray Diffraction,XRD)圖譜??梢钥闯?,鈣鈦礦薄膜由多個(gè)亞微米級(jí)的CsxMA1-xPbBr3晶粒組成[24]。圖3(a)為未添加山梨醇的鈣鈦礦薄膜,晶粒為島狀的不規(guī)則簇狀物,且薄膜對(duì)基底的覆蓋率較低。圖3(b)~(e)分別為添加0.1,0.2,0.3,0.4 mol·L-1山梨醇的鈣鈦礦薄膜SEM 圖。可以看出,隨著山梨醇濃度的增加,鈣鈦礦晶粒更加規(guī)則,棱角分明,薄膜孔隙減小,致密度隨之提高,形貌得到明顯改善,晶粒也有一定程度的長大,說明山梨醇可以誘導(dǎo)鈣鈦礦晶體生長。調(diào)控鈣鈦礦晶粒大小的目的多用于減少薄膜缺陷、提高載流子傳輸效率[25]。無序度的減少及結(jié)晶質(zhì)量的提高得益于較高質(zhì)量的鈣鈦礦成核和晶體生長過程,這將有利于器件性能的提升[26]。從圖3(f)鈣鈦礦薄膜的XRD 圖中可以看出,位于15.07°、21.38°、30.41°和43.54°的衍射峰分別對(duì)應(yīng)于(100)、(110)、(200)和(220)晶面,與CsPbBr3的典型立方結(jié)構(gòu)相匹配。0.0 mol·L-1的XRD 峰位向小角度偏移,這表明較大尺寸的MA+摻入晶格內(nèi)部,改變晶格常數(shù),形成了混合陽離子鈣鈦礦結(jié)構(gòu)。添加不同濃度山梨醇的鈣鈦礦薄膜XRD 譜線均顯示立方鈣鈦礦相且峰位無明顯變化,表明山梨醇結(jié)合在鈣鈦礦多晶表面和∕或晶界,其添加及濃度變化未改變鈣鈦礦的物相組成。衍射峰強(qiáng)度的增強(qiáng)表明晶體結(jié)晶性的提升,且0.3 mol·L-1樣品在22°附近峰值的明顯增強(qiáng)表明對(duì)(110)晶面的擇優(yōu)取向。沿(110)晶面更有序的晶體排列可以獲得高質(zhì)量的鈣鈦礦薄膜,從而實(shí)現(xiàn)較高覆蓋和較少缺陷以改善器件性能[27]。

        圖3 添加不同山梨醇濃度的鈣鈦礦薄膜SEM 圖((a)~(e))和XRD 圖(f)Fig.3 SEM((a)-(e)) and XRD(f) of perovskite thin films with different concentrations of sorbitol

        3.2 器件性能

        一般來說,器件性能與薄膜質(zhì)量關(guān)系密切,高質(zhì)量的鈣鈦礦薄膜是實(shí)現(xiàn)高性能器件的前提[28-29]。我們通過旋涂不同成分的鈣鈦礦前驅(qū)體溶液獲得鈣鈦礦薄膜,并制備了PeLEDs,探究山梨醇及其添加量對(duì)器件性能的影響。從圖4(a)可以看出,0.3 mol·L-1器件發(fā)射出綠光,發(fā)射峰在528 nm處,且隨著驅(qū)動(dòng)電壓從3.0 V 增大到6.0 V,發(fā)光峰位無明顯變化,展現(xiàn)出較好的穩(wěn)定性。圖4(b)為器件的電流密度-電壓曲線,可以看出,所有器件的電流密度均隨著加載電壓的提高而增加,相較于0.0 mol·L-1參比器件,在低電流密度下,添加山梨醇后的器件的電流密度增長速度變緩,這表明器件漏電流現(xiàn)象得到改善[30]。另一方面,山梨醇是絕緣性材料,在相同驅(qū)動(dòng)電壓下,山梨醇添加量越多,器件電流密度越低,故電流密度增速變緩。從亮度-電壓曲線可以看出0.3 mol·L-1器件在4.5 V 電壓下獲得最大亮度為7 654 cd·m-2,較低的啟亮電壓(2.7 V)也表明電荷容易注入器件。圖4(c)、(d)分別為器件電流效率-電流密度和EQE-電流密度曲線,參比器件最大電流效率為4.35 cd·A-1,經(jīng)山梨醇鈍化后的最優(yōu)器件可提升至25.35 cd·A-1,對(duì) 應(yīng) 的EQE 從1.09% 提 升 至6.71%,器件性能得到明顯改善。相關(guān)器件參數(shù)概括至表1,可以看出,隨著山梨醇濃度的增加,器件性能先提升后下降,表明引入過量絕緣性的山梨醇后,電荷傳輸受阻,不利于器件性能的提升[31]。圖4(e)為器件穩(wěn)定性測(cè)試,可從看出,山梨醇鈍化的最優(yōu)器件穩(wěn)定性優(yōu)于參比器件。此外,實(shí)驗(yàn)還對(duì)器件的重復(fù)性進(jìn)行統(tǒng)計(jì),圖4(f)為24 個(gè)器件的電流效率統(tǒng)計(jì)結(jié)果,平均電流效率為20.77 cd·A-1,證明器件具有較好的重復(fù)性。

        表1 添加不同山梨醇濃度PeLEDs 的關(guān)鍵性能參數(shù)Tab.1 Key performance parameters for PeLEDs with different concentrations of sorbitol

        圖4 不同驅(qū)動(dòng)電壓下的EL 光譜(a)、電流密度-電壓-亮度曲線(b)、電流效率-電流密度曲線(c)、EQE-電流密度(d)、器件穩(wěn)定性(e)和電流效率統(tǒng)計(jì)圖(f)。Fig.4 EL spectra at different driving voltages(a),current density-voltage-luminance(b),current efficiency-current density(c),EQE-current density(d),device stability(e) and current efficiency statistical histogram(f).

        3.3 機(jī)理分析

        為探究器件性能提升機(jī)制,采用時(shí)間分辨光致發(fā)光測(cè)試(Time resolved photoluminescence,TRPL)研究了有∕無山梨醇添加對(duì)鈣鈦礦薄膜缺陷的影響。圖5(a)為有∕無山梨醇添加的鈣鈦礦薄膜的TRPL 衰減曲線,薄膜的平均壽命τave可按照如下三指數(shù)公式獲得:

        圖5 0.0 mol·L-1和0.3 mol·L-1鈣鈦礦薄膜TRPL 衰減曲線(a)及單空穴器件電流密度-電壓曲線(b)Fig.5 TRPL of 0.0 mol·L-1 and 0.3 mol·L-1 perovskite films(a) and current density-voltage of hole-only devices(b)

        其中,A1、A2、A3為常數(shù);τ1代表最短壽命組分;τ2代表激子與光子的相互作用;τ3代表慢速衰減長壽命組分。表2 為具體擬合結(jié)果??梢钥闯?,添加山梨醇的薄膜壽命明顯更長,這表明非輻射復(fù)合得到抑制,薄膜中的缺陷有效鈍化,進(jìn)而抑制器件在工作狀態(tài)下由缺陷引起的非輻射復(fù)合損失,提高了器件性能[32-33]。為進(jìn)一步探究器件性能提升的 原 因,我 們 也 制 備 了 基 于ITO∕PEDOT∶PSS∕Perovskite∕MoOx∕Al 結(jié) 構(gòu) 的 單 空 穴 器 件,并 依 據(jù) 空間電荷限制電流(Space charge limited current, SCLC)特性分析鈣鈦礦薄膜的缺陷態(tài)密度。從圖5(b)中可以看出,最優(yōu)器件(0.3 mol·L-1)的陷阱填充電壓(VTFL)為0.25 V,明顯低于參比器件(0.0 mol·L-1)的1.00 V。根據(jù)如下公式計(jì)算缺陷態(tài)密度[34]:

        表2 0.0 mol·L-1 和0.3 mol·L-1 鈣 鈦 礦 薄 膜TRPL 的 擬合結(jié)果Tab.2 TRPL fitting result of 0.0 mol·L-1 and 0.3 mol·L-1 perovskite films

        其中 ,e是電荷(1.602×10-19C),d是鈣鈦礦薄膜的厚度,ε0是真空介電常數(shù)(8.85×10-12F∕m),ε是鈣鈦礦薄膜的絕對(duì)介電常數(shù)。通過計(jì)算得到0.0 mol·L-1樣 品 的 缺 陷 態(tài) 密 度 為5.64×1016cm-3,0.3 mol·L-1樣品的缺陷態(tài)密度為1.41×1016cm-3,這表明山梨醇優(yōu)化的鈣鈦礦薄膜的缺陷密度降低。VTFL越低,薄膜的缺陷密度越低,更有利于平衡載流子注入以提升器件效率[34-36],這也與圖5(a)鈣鈦礦薄膜的TRPL 衰減曲線變化一致。因此,引入適量山梨醇添加劑后,對(duì)鈣鈦礦薄膜進(jìn)行鈍化是PeLEDs 性能提升的主要原因。

        鈣鈦礦薄膜的光致發(fā)光(Photoluminescence,PL)光譜和紫外-可見(Ultraviolet-visible,UV-Vis)吸收光譜如圖6 所示,隨著山梨醇濃度的增加,PL光譜和UV-Vis 光譜峰位無明顯變化,表明山梨醇的引入未對(duì)鈣鈦礦薄膜的帶隙產(chǎn)生明顯影響。PL 發(fā)射峰位于530 nm 附近,與器件電致發(fā)光光譜基本吻合。添加適量的山梨醇提高了PL 強(qiáng)度,且0.3 mol·L-1的PL 強(qiáng)度最高,這也與電致發(fā)光器件中0.3 mol·L-1器件獲得最優(yōu)性能完全一致;表明載流子傳輸能力提高,薄膜中存在的缺陷得到有效鈍化,由缺陷誘導(dǎo)的非輻射復(fù)合減少,激子輻射復(fù)合效率提升[37],這也與圖3(f)的XRD 結(jié)果一致,山梨醇結(jié)合在鈣鈦礦表面和∕或界面以鈍化缺陷。

        圖6 鈣鈦礦薄膜的PL 光譜(a)和紫外-可見吸收光譜(b)Fig.6 PL(a) and UV-Vis absorption(b) spectra of perovskite thin films

        通過傅里葉變換紅外光譜(Fourier transform infrared spectroscopy,F(xiàn)TIR)及X 射線光電子能譜(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)進(jìn)一步驗(yàn)證了山梨醇與鈣鈦礦之間的相互作用。圖7(a)為山梨醇及山梨醇鈍化的鈣鈦礦薄膜的FTIR 光譜,羥基中O—H 伸縮振動(dòng)特征峰一般位于3 300~3 600 cm-1;C—O 的伸縮振動(dòng)特征峰一般位于1 000~1 200 cm-1??梢郧逦赜^察到,山梨醇薄膜有顯著的O—H 和C—O 振動(dòng)峰,而無山梨醇添加0.0 mol·L-1鈣鈦礦薄膜有顯著的N—H 振動(dòng)峰;添加山梨醇后,在0.3 mol·L-1樣品中同時(shí)出現(xiàn)O—H、C—O 和N—H 峰,且N—H 峰強(qiáng)度減弱,表明山梨醇的—OH 與鈣鈦礦之間發(fā)生了相互作用。山梨醇作為一種路易斯堿,可提供電子對(duì)來鈍化鈣鈦礦的主要缺陷中心,即鹵素空位[38-40]。圖7(b)~(c)分別為鈣鈦礦Pb 4f及Br 3d 的XPS 譜,用于研究鈣鈦礦表面化學(xué)鍵的變化??梢钥闯觯褂蒙嚼娲純?yōu)化后,Pb 4f 及Br 3d 的譜線均向低結(jié)合能的方向移動(dòng),表明Pb、Br 元素的化學(xué)環(huán)境發(fā)生變化,可歸因于—OH 使得Pb和Br周圍電子密度增大,說明山梨醇與鈣鈦礦的Pb 和Br 之間存在強(qiáng)相互作用[41-42]。該結(jié)果同樣證明了山梨醇對(duì)鈣鈦礦薄膜的有效鈍化。

        圖7 鈣鈦礦薄膜的FTIR(a)和Pb 4f(b)與Br 3d(c)的XPS 圖Fig.7 Perovskite thin films FTIR(a) and XPS diagram of Pb 4f(b) and Br 3d(c)

        4 結(jié) 論

        本文通過在鈣鈦礦前驅(qū)體溶液中加入低成本小分子路易斯堿添加劑山梨醇,有效鈍化了薄膜中存在的缺陷,改善了鈣鈦礦薄膜質(zhì)量,提高了輻射復(fù)合比例。基于該策略優(yōu)化的薄膜,制備了綠光PeLEDs,器件的最大亮度為7 654 cd·m-2、最大EQE 達(dá)到6.71%,且器件展現(xiàn)出較好的重復(fù)性。研究證明,山梨醇與鈣鈦礦之間的相互作用顯著改善了鈣鈦礦薄膜質(zhì)量及其光學(xué)性能,同時(shí)降低了缺陷態(tài)密度,實(shí)現(xiàn)了器件性能的顯著提升。本文的實(shí)驗(yàn)探究為后續(xù)鈣鈦礦光電器件的缺陷鈍化提供了簡單有效的新方法,具有重要意義。

        本文專家審稿意見及作者回復(fù)內(nèi)容的下載地址:http:∕∕cjl. lightpublishing. cn∕thesisDetails#10.37188∕CJL.20230110.

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