馬邵偉, 潘亞飛,2,文 平, 周浩鈞, 羅豐華

(1.廣東奔朗新材料股份有限公司,廣東 佛山 528313;2.合肥工業(yè)大學(xué),安徽 合肥 230009;3.中南大學(xué),湖南 長(zhǎng)沙 410083)

0 引言

熱管理,即設(shè)計(jì)電子設(shè)備中的散熱器材料以最大限度地避免局部過(guò)熱的過(guò)程,是現(xiàn)代電子元件設(shè)計(jì)日益小型化的一個(gè)關(guān)鍵方面,也是工業(yè)面臨的一個(gè)重要挑戰(zhàn)[1]。由于具有較高的導(dǎo)熱率(TC)和適宜的熱膨脹系數(shù)(CTE),金剛石(Diamond, Dia)顆粒增強(qiáng)銅基復(fù)合材料被認(rèn)為是電子器件散熱的理想材料[2]。然而,銅和金剛石之間較差的潤(rùn)濕性導(dǎo)致難以制備相對(duì)密度高的Cu/Dia復(fù)合材料[3]。因此,有必要添加第三種成分,通過(guò)金剛石表面鍍膜[4]或基體合金化[5]的方法,在金剛石和Cu之間引入界面層來(lái)克服這一問(wèn)題。新形成的各種碳化物界面層可以充當(dāng)連接金剛石和Cu基體的橋梁,提高界面結(jié)合強(qiáng)度[6]。

其中,金剛石表面鍍膜是指采用物理氣相沉積[7]、化學(xué)鍍[8]或電鍍[9]等方法,預(yù)先在金剛石表面形成一層金屬膜或碳化物膜,然后再與Cu金屬?gòu)?fù)合,制備得到Cu/Dia復(fù)合材料?；w合金化是指在銅基體添加Cr[10]、Zr[11]、Ti[12]、B[13]等強(qiáng)碳化物形成元素,獲得銅合金粉料或塊體。再利用粉末冶金法[14]、高溫高壓法[15]、壓力浸滲法[16]或無(wú)壓浸滲法[17]等制備Cu/Dia復(fù)合材料。

與高溫高壓法和壓力浸滲等基體合金化方法相比,粉末冶金法是一種更加經(jīng)濟(jì)環(huán)保的制備方法[14]。本文以Cu-B合金為基體,采用粉末冶金與放電等離子燒結(jié)技術(shù)相結(jié)合的方法,制備了Cu-xB/Dia復(fù)合材料,研究了金剛石體積分?jǐn)?shù)和B含量對(duì)熱導(dǎo)率的影響規(guī)律。

1 試驗(yàn)方法

1.1 原料

本試驗(yàn)選用黃河旋風(fēng)股份有限公司生產(chǎn)的單晶金剛石顆粒(500～600 μm)、阿拉丁試劑有限公司生產(chǎn)的銅粉(～50 μm)和中諾新材科技有限公司生產(chǎn)的硼粉(～3 μm)作為原料。其中,金剛石顆粒采用酸洗、堿洗和去離子水沖洗,以去除表面污染物。

1.2 試樣制備

根據(jù)試驗(yàn)質(zhì)量比混合銅粉和硼粉,稱取初始Cu-xB(x= 0%,0.5%,1.0%,質(zhì)量分?jǐn)?shù),下同)粉末并進(jìn)行球磨。相應(yīng)的球磨工藝為球料質(zhì)量比5∶1、球磨5 h、轉(zhuǎn)速300 r/min。將球磨后的粉末分為兩部分。將純Cu、Cu-0.5B和Cu-1.0B合金粉末直接裝入石墨模具中,進(jìn)行初步壓制成型后放入放電等離子體燒結(jié)爐(日本株式思立,LABOX-350)中進(jìn)行致密化燒結(jié),獲得Cu、Cu-0.5B和Cu-1.0B合金。再將Cu-0.5B和Cu-1.0B合金粉末與金剛石顆粒粉末按照設(shè)定的體積分?jǐn)?shù)比(60∶40、50∶50、40∶60)經(jīng)機(jī)械混合后裝入石墨模具中,進(jìn)行SPS致密化燒結(jié)。Cu-xB合金和Cu-xB/Dia復(fù)合材料采用相同的燒結(jié)工序:真空度≤ 10 Pa,壓力30 MPa,升溫速率60 ℃/min,燒結(jié)溫度900 ℃,保溫15 min。

1.3 試樣性能測(cè)試

基于阿基米德原理,采用設(shè)備型號(hào)為DX-100的密度計(jì)測(cè)量Cu-xB合金和Cu-xB/Dia復(fù)合材料的密度。利用設(shè)備型號(hào)為L(zhǎng)FA-457的激光導(dǎo)熱儀測(cè)量樣品(直徑12.5 mm,厚度4 mm)室溫下的熱擴(kuò)散系數(shù)α。測(cè)試前,樣品的表面噴涂碳以提高對(duì)激光脈沖的吸收,每個(gè)試驗(yàn)點(diǎn)是 3次測(cè)量的平均值。隨后,熱導(dǎo)率k可根據(jù)下式計(jì)算:k=α×Cp×ρ,式中Cp為比熱容,ρ為密度。

1.4 試樣表征

采用掃描電鏡(SEM, Sigma, Zeiss, Germany) 對(duì)Cu-xB合金、Cu-xB/Dia復(fù)合材料以及金剛石顆粒的表面進(jìn)行觀察,并結(jié)合X射線能譜儀(EDX, X-ManX, Oxford, England)分析元素的組成及分布。此外,對(duì)Cu-1.0B/(60%體積分?jǐn)?shù),下同)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒表面進(jìn)行了X射線光電子能譜(XPS, ESCALACB 250Xi, Thermo Fisher, USA)測(cè)量,以研究金剛石表面形成的界面層狀態(tài)。

2 結(jié)果與討論

2.1 Cu-xB合金的組織與性能

圖1所示為SPS燒結(jié)Cu-xB合金的SEM形貌圖及元素分布。從圖1中可以看出,純Cu為單相組織,Cu-0.5B和Cu-1.0B合金為雙相組織,分別由灰色相和黑色相組成。對(duì)比EDX元素分布圖,可以判斷出灰色相為富Cu相,黑色相為富B相。此外,隨著B(niǎo)含量的增加,黑色富B相的體積分?jǐn)?shù)逐漸增加。

圖2所示為富Cu端Cu-B相圖。從圖2中可以看出,B元素在Cu中固溶度很小,隨著B(niǎo)含量的增加,合金進(jìn)入Cu+B的兩相區(qū),這與試驗(yàn)結(jié)果吻合。由此可以確定,灰色相為Cu固溶體相,黑色相為游離態(tài)的B相。

圖2 富Cu端Cu-B相圖

Cu-xB合金的密度、相對(duì)密度、熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率結(jié)果如圖3所示?？梢钥闯?隨著B(niǎo)元素含量的增加,Cu-xB合金的密度出現(xiàn)了小幅度的下降,但是Cu-xB合金的相對(duì)密度均保持在98%以上,接近于完全致密。此外,隨著B(niǎo)元素含量的增加,Cu-xB合金的熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率出現(xiàn)了明顯的下降,其中純Cu、Cu-0.5B和Cu-1.0B合金的熱導(dǎo)率分別為397、311、251 W/mK?？梢詳喽?Cu-xB合金熱導(dǎo)率的下降歸因于游離態(tài)B相的存在。

圖3 Cu-xB合金的密度、相對(duì)密度、熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率

2.2 Cu-xB/Dia復(fù)合材料的組織與性能

圖4所示為SPS燒結(jié)的Cu-xB/Dia復(fù)合材料的SEM形貌圖,其中灰色相為Cu-xB基體,黑色相為金剛石顆粒。從圖4中可以看出,金剛石顆?；旧暇鶆虻胤植荚阢~基體中,顆粒周?chē)汇~基體包裹,未出現(xiàn)金剛石顆粒團(tuán)聚的現(xiàn)象。

圖4 Cu-xB/Dia復(fù)合材料的SEM形貌圖

為了進(jìn)一步觀察Cu-xB/Dia復(fù)合材料的微觀組織,分別對(duì)Cu-0.5B/(50%)Dia 和Cu-1.0B/(50%)Dia 復(fù)合材料的Cu基體進(jìn)行局部放大,如圖5所示。通過(guò)與Cu-0.5B和Cu-1.0B合金的微觀組織對(duì)比,可以明顯地看出Cu-xB/Dia復(fù)合材料的Cu基體中游離態(tài)(B)相含量明顯減少,這應(yīng)該是由于B元素通過(guò)擴(kuò)散在金剛石顆粒表面偏聚。此外,Cu-1.0B/(50%)Dia 復(fù)合材料的Cu基體中游離態(tài)(B)相的含量多于Cu-0.5B/(50%)Dia 復(fù)合材料,這表明受限于B元素在Cu中的擴(kuò)散速度,Cu-1.0B合金中B元素?zé)o法充分在擴(kuò)散至金剛石顆粒表面,殘留在銅基體中的游離態(tài)(B)會(huì)影響復(fù)合材料的熱導(dǎo)率。

圖5 Cu-0.5B/(50%)Dia (a)和Cu-1.0B/(50%)Dia (b)復(fù)合材料中Cu基體的高倍SEM形貌圖

圖6(a)所示為 B-C相圖?？梢钥闯?B元素與C元素反應(yīng)可以生成B4C中間化合物,同時(shí)B4C相的固溶度范圍較大,B元素在81%～91%(原子分?jǐn)?shù))范圍內(nèi)波動(dòng)。圖6(b)所示為B+C (Dia/Gra) = B4C的反應(yīng)Gibbs自由能隨溫度的變化趨勢(shì)。由圖可知,在整個(gè)燒結(jié)溫度區(qū)間內(nèi),游離態(tài)B與金剛石或石墨的反應(yīng)Gibbs自由能始終為負(fù)值,這表明B元素具有自發(fā)擴(kuò)散至金剛石顆粒表面生成B4C相的驅(qū)動(dòng)力。此外,B+C (Dia) = B4C的反應(yīng)Gibbs自由能比B+C (Gra) = B4C更負(fù),因此可以判定,無(wú)論金剛石顆粒表明是否出現(xiàn)了石墨化,B元素均可以與金剛石顆粒發(fā)生反應(yīng),生成B4C界面層。

Cu-xB/Dia復(fù)合材料的密度、相對(duì)密度、熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率結(jié)果如圖7所示。由圖7可知,隨著金剛石顆粒體積分?jǐn)?shù)的增加,Cu-xB/Dia復(fù)合材料的密度和相對(duì)密度逐漸下降,這是由于金剛石顆粒較差的燒結(jié)性能。隨著金剛石顆粒體積分?jǐn)?shù)的增加,Cu-xB/Dia復(fù)合材料的熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率先增加后下降,在金剛石體積分?jǐn)?shù)為50 vol.%時(shí)達(dá)到最大值?？梢钥闯?相對(duì)密度和金剛石體積分?jǐn)?shù)是制衡Cu-xB/Dia復(fù)合材料熱導(dǎo)率的兩個(gè)關(guān)鍵因素。金剛石含量的增加有利于提高復(fù)合材料的熱導(dǎo)率,但是過(guò)量的金剛石導(dǎo)致復(fù)合材料相對(duì)密度的下降,反而降低熱導(dǎo)率。此外,相同金剛石體積分?jǐn)?shù)下,Cu-1.0B/Dia復(fù)合材料的熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率小于Cu-0.5B/Dia復(fù)合材料,這是由于過(guò)量的B元素殘留在Cu基體,影響了合金的熱導(dǎo)率。Cu-0.5B/Dia復(fù)合材料的熱導(dǎo)率最高,達(dá)到了614 W/mK。

圖7 Cu-xB/Dia (x = 0.5%和1.0%)復(fù)合材料的密度、相對(duì)密度、熱擴(kuò)散系數(shù)和熱導(dǎo)率

為了進(jìn)一步分析Cu-xB/Dia復(fù)合材料界面層的相組成,分別對(duì)原始金剛石顆粒和Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒進(jìn)行了XPS分析,結(jié)果如圖8所示。從XPS總譜圖中可以觀察到,原始金剛石顆粒表面呈現(xiàn)出O1s和C1s的特征峰,表明其表面由C和O兩種元素組成。其中,O的存在可歸因于原料暴露于空氣時(shí)薄膜表面吸附的氧。與金剛石顆粒相比,Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒表面呈現(xiàn)出O1s、C1s和B1s的特征峰。此外,圖8(e)的高分辨B1s圖譜更加清楚地表明了Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒表面形成了B4C相。

圖8 原始金剛石顆粒(a、b)和Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒(c、d、e)的XPS總譜及高分辨 XPS 譜圖

圖9所示為原始金剛石顆粒和Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒的SEM形貌圖。從圖中可以看出,原始金剛石顆粒的(100)和(111)晶面非常光滑,無(wú)雜質(zhì)相存在。而Cu-1.0B/(60%)Dia復(fù)合材料中提取的金剛石顆粒的(100)和(111)晶面上出現(xiàn)了明顯的B4C相,這進(jìn)一步證明B4C相是在燒結(jié)過(guò)程通過(guò)界面原位反應(yīng)生成的。

3 結(jié)論

通過(guò)對(duì)SPS制備的Cu-xB合金和Cu-xB/Dia復(fù)合材料的組織及性能進(jìn)行分析,可得到以下結(jié)論:

(1)當(dāng)B元素在Cu-xB合金和Cu-xB/Dia復(fù)合材料中以游離態(tài)形式存在時(shí)會(huì)降低材料的熱導(dǎo)率。

(2) Cu-xB/Dia復(fù)合材料的熱導(dǎo)率隨著金剛石體積分?jǐn)?shù)的增加先增加后降低。相同金剛石體積分?jǐn)?shù)時(shí),Cu-0.5B/Dia復(fù)合材料的熱導(dǎo)率高于Cu-1.0B/Dia復(fù)合材料。Cu-0.5B/Dia復(fù)合材料的熱導(dǎo)率最高,達(dá)到了614 W/mK。

(3)在SPS燒結(jié)過(guò)程中,Cu-B合金中的B元素會(huì)擴(kuò)散到金剛石顆粒表面,通過(guò)原位反應(yīng)形成B4C界面層相,改善銅基體和金剛石的結(jié)合狀態(tài)。