王建濤 高銘澤 祝 健 王啟智 李 昊

燕山大學(xué)車輛與能源學(xué)院,秦皇島,066004

0 引言

自1975年第一份有關(guān)壓電泵的研究報(bào)告公布以來,采用形狀記憶合金、壓電陶瓷、電活性聚合物、鐵電聚合物、離子聚合物金屬復(fù)合材料和導(dǎo)電聚合物等新型智能材料驅(qū)動的流體驅(qū)動器受到了國內(nèi)外學(xué)者的廣泛研究,它們在航空航天、機(jī)器人和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域均有廣泛的應(yīng)用[1]。其中以壓電陶瓷為驅(qū)動元件的流體驅(qū)動器具有結(jié)構(gòu)簡單、功耗低、精度高、無電磁干擾、易于實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)上的微小化與集成化等優(yōu)點(diǎn),故適用范圍廣,現(xiàn)已逐步應(yīng)用于生物化學(xué)、醫(yī)療健康、燃料電池、智能電子設(shè)備等領(lǐng)域[2-5]。

根據(jù)驅(qū)動對象的不同,壓電流體驅(qū)動器可以分為壓電液體驅(qū)動器[6]和壓電氣體驅(qū)動器[7]。與壓電液體驅(qū)動器相比,對壓電氣體驅(qū)動器的研究較少較晚,在研制小體積高性能壓電氣體驅(qū)動器方面仍有很多技術(shù)問題亟待解決。然而,壓電氣體驅(qū)動器在醫(yī)用電子血壓計(jì)、微型燃料電池氣體循環(huán)系統(tǒng)、主動流控制激勵器、微電子系統(tǒng)冷卻等方面均有廣泛的需求。由于氣體和液體在壓縮性、黏度、密度和流動性質(zhì)等方面存在較大差異,故不能簡單地將壓電液體驅(qū)動理論和方法直接用于研發(fā)壓電氣體驅(qū)動器,且在小尺度環(huán)境下實(shí)現(xiàn)氣體高效驅(qū)動的技術(shù)難度更大。

在探索研制高性能壓電氣體驅(qū)動器的道路上,國內(nèi)外學(xué)者進(jìn)行了積極研究。根據(jù)有無閥片結(jié)構(gòu),可以進(jìn)一步將壓電氣體驅(qū)動器分為有閥式[7-8]和無閥式[9-13]兩類。有閥式壓電氣體驅(qū)動器利用壓電致動器的振動位移產(chǎn)生周期性容積變化量,同時(shí)借助入口和出口處的單向閥控制實(shí)現(xiàn)氣體單向驅(qū)動。無閥式壓電氣體驅(qū)動器的形式較為多樣,如撲翼式壓電風(fēng)扇、超聲行波壓電氣泵、聲駐波壓電氣泵、合成射流壓電氣泵等,此類壓電氣體驅(qū)動器通過某種物理作用或效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)對氣體的驅(qū)動,具有結(jié)構(gòu)簡單、易于集成、原理新穎、形式多樣等特點(diǎn)。其中,合成射流壓電氣體驅(qū)動器利用合成射流原理向流場中輸入動量進(jìn)而驅(qū)動氣體產(chǎn)生定向流動,近些年在主動流場控制和微電子系統(tǒng)散熱領(lǐng)域得到了廣泛的研究和報(bào)道[14-16]。為了提高合成射流壓電氣體驅(qū)動器的性能,LI等[17]提出了一種帶有花瓣形進(jìn)氣通道的合成射流壓電氣泵,通過優(yōu)化設(shè)計(jì)花瓣形進(jìn)氣通道大幅提高了系統(tǒng)性能。LIU等[13]采用雙腔串聯(lián)的方法提高合成射流壓電氣泵的氣體驅(qū)動性能,并通過與單腔合成射流壓電氣泵的對比試驗(yàn)驗(yàn)證了該方法在提高系統(tǒng)性能方面的有益效果。針對傳統(tǒng)合成射流控制環(huán)境適應(yīng)性差和能量利用效率不高的問題,羅振兵等[18]提出了基于系統(tǒng)論的能量綜合利用和氣體增壓原理的合成射流激勵器設(shè)計(jì)思想,設(shè)計(jì)了單膜雙腔雙口合成射流激勵器,充分利用了壓電振動膜的雙向振動能量。同時(shí),對采用單激勵源的多孔合成射流激勵器進(jìn)行了研究,將其應(yīng)用于散熱方向可以大大增大散熱面積和散熱的均勻性。KIM等[19]采用揚(yáng)聲器作為激勵源設(shè)計(jì)了雙孔式合成射流激勵器,并用數(shù)值模擬與流場可視化技術(shù)分析雙孔合成射流激勵器的不同射流孔氣體射流之間的作用關(guān)系。采用單激勵源多射流孔的結(jié)構(gòu)可以提高合成射流激勵器的能量轉(zhuǎn)化效率,進(jìn)而提高自身性能。以上研究表明,為提高合成射流壓電氣體驅(qū)動器性能,研究人員在系統(tǒng)結(jié)構(gòu)優(yōu)化方面研究較多,但是在提高單個壓電換能器能量利用率方面研究較少,而這正是實(shí)現(xiàn)高性能壓電氣體驅(qū)動器小型化的重要途徑。

綜合分析上述壓電氣體驅(qū)動器與合成射流激勵器的研究進(jìn)展,本文設(shè)計(jì)一種采用晶片型壓電換能器激勵高強(qiáng)聲場,并誘導(dǎo)氣體產(chǎn)生定向流動的多孔式合成射流壓電風(fēng)扇,簡稱多孔壓電風(fēng)扇。利用壓電換能器的高階振型匯聚換能器的輻射聲能,在壓電換能器的中心區(qū)域形成高強(qiáng)聲場,并在該區(qū)域上方平行布置多孔射流板和多孔擋流板,提高壓電換能器輻射聲能的綜合利用效率,實(shí)現(xiàn)大流量氣體驅(qū)動。重點(diǎn)研究多孔壓電風(fēng)扇射流孔分布對氣體驅(qū)動性能的影響規(guī)律,探究壓電換能器超聲近聲場能量的綜合利用方法。

1 結(jié)構(gòu)及工作原理

多孔壓電風(fēng)扇利用自身機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電換能器的輻射聲能轉(zhuǎn)化成氣體動能,系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)“電能-聲能-流體動能”連續(xù)地能量轉(zhuǎn)化,完成高效氣體驅(qū)動。為了驗(yàn)證多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能,并且提高試驗(yàn)效率,特設(shè)計(jì)一種可拆解式的多孔壓電風(fēng)扇試驗(yàn)裝置,如圖1所示。多孔壓電風(fēng)扇試驗(yàn)裝置主要由換能器基座、壓電換能器、射流板基座、射流板、擋流板基座、擋流板和蓋板等部件組成。壓電換能器的周邊與換能器基座固定連接,射流板基座上設(shè)計(jì)有射流板安裝限位槽,射流板安裝在射流板基座的限位槽中,擋流板安裝在擋流板限位座中。當(dāng)螺釘將蓋板與換能器基座緊固連接時(shí),多孔壓電風(fēng)扇試驗(yàn)裝置各配件之間會相互壓合固定。在射流板上設(shè)計(jì)有一個或多個射流孔,同樣在擋流板上設(shè)計(jì)有一個或多個出流口,各個射流孔與出流口位置一一對應(yīng)且分別處在同一軸線上。

圖1 壓電風(fēng)扇總體結(jié)構(gòu)

多孔壓電風(fēng)扇利用壓電換能器激勵產(chǎn)生超聲強(qiáng)聲場,其近聲場空氣層在高頻聲場作用下發(fā)生振蕩并激勵氣體形成單向流動,系統(tǒng)工作原理如圖2所示。壓電換能器在高頻交變電壓的驅(qū)動下產(chǎn)生振動并向外輻射高頻超聲波,激勵聲流換能層中的空氣發(fā)生振蕩。在壓電換能器聲波輻射面上方,輻射聲能集中在換能器中心區(qū)域,同時(shí)在該區(qū)域的射流板和擋流板上設(shè)置射流孔和出流口?？諝赓|(zhì)點(diǎn)在射流孔中往復(fù)運(yùn)動,在剪切作用下,射流孔邊緣部位的空氣質(zhì)點(diǎn)發(fā)生分離而向射流孔上方產(chǎn)生氣體射流。根據(jù)合成射流原理,可知該氣體射流會成對形成旋渦并卷吸射流層中空氣,進(jìn)一步在擋流板出流口處獲得更大的氣體射流。多孔壓電風(fēng)扇在上述工作過程中,以向周圍環(huán)境輸入動量的形式驅(qū)動空氣產(chǎn)生定向流動,具有氣體流量大的特點(diǎn)。本文研究的多孔壓電風(fēng)扇無需利用壓電振子的變形來產(chǎn)生容積變化以驅(qū)動氣體流動,而是利用壓電換能器的輻射強(qiáng)聲場激勵空氣質(zhì)點(diǎn)往復(fù)振蕩,實(shí)現(xiàn)多個射流孔同步產(chǎn)生氣體射流,具有體積小、系統(tǒng)輸入能量密度大以及能量利用率高等特點(diǎn)。

圖2 壓電風(fēng)扇工作原理

2 多孔壓電風(fēng)扇仿真分析

2.1 電聲換能特性分析

壓電換能器是一種常用的電聲能量轉(zhuǎn)換器件,可以在交變電場的驅(qū)動下向周圍媒介輻射聲波而形成強(qiáng)聲場。本文研究的多孔壓電風(fēng)扇采用晶片型壓電換能器,它主要由壓電陶瓷、聚酰亞胺膜、銅電極和鋁合金匹配層粘接而成,如圖3所示。晶片型壓電換能器的結(jié)構(gòu)簡單且厚度較小,適合構(gòu)造小型氣體驅(qū)動器。

圖3 壓電換能器結(jié)構(gòu)

(a)第一階諧振

圓形壓電換能器的周邊與換能器基座采用膠水粘接固定,對壓電陶瓷晶片施加正弦波驅(qū)動信號,壓電換能器發(fā)生往復(fù)振動并向周圍空氣介質(zhì)輻射聲波。壓電換能器的厚度較小而近似于一個圓形薄板,其第一階和第六階振型為中心對稱結(jié)構(gòu),輻射聲場的能量集中在中心區(qū)域,適于驅(qū)動多孔壓電風(fēng)扇。首先建立壓電換能器的物理模型,利用商用軟件Comsol Multiphysics對壓電換能器進(jìn)行振動模態(tài)仿真分析。對壓電陶瓷施加交變電壓信號并獲得壓電換能器的第一階和第六階振動模態(tài),如圖4所示。復(fù)合層壓電換能器的第一階諧振頻率為1753.9 Hz,第六階諧振頻率為20 807 Hz。與第一階諧振頻率相比,壓電換能器的第六階諧振頻率較高且在超聲頻率范圍內(nèi),系統(tǒng)工作無噪聲且輻射聲場的能量密度更高。為構(gòu)造一個超聲輻射聲場,本文選擇壓電換能器的第六階振型作為多孔壓電風(fēng)扇的聲場激勵源。

(b)第六階諧振圖4 壓電換能器的振動模態(tài)

進(jìn)一步利用Comsol Multiphysics軟件對壓電換能器的輻射聲場進(jìn)行仿真分析,建立壓電換能器聲場仿真分析的幾何結(jié)構(gòu)模型,如圖5所示。壓電換能器的鋁合金匹配層與無邊界的空氣域接觸,完美匹配層用于模擬聲波在遠(yuǎn)離聲源傳播過程中被吸收的情況。對壓電換能器施加正弦波電壓信號,在驅(qū)動電壓Vpp為60 V且驅(qū)動頻率為20 807 Hz的正弦波電壓信號驅(qū)動下,壓電換能器獲得第六階諧振狀態(tài),此時(shí)換能器輻射聲場情況如圖6所示。結(jié)果顯示,壓電換能器的輻射聲場與其自身振型直接相關(guān),在其振幅最大處輻射聲場的聲壓最強(qiáng),使得聲能集中在壓電換能器振幅最大的中心區(qū)域,為多孔式合成射流壓電風(fēng)扇提供高效的聲場激勵。

圖5 聲場仿真模型幾何結(jié)構(gòu)

圖6 總聲壓切面圖

2.2 流場分析

多孔壓電風(fēng)扇采用多射流孔結(jié)構(gòu)提高自身能量利用效率,而各射流孔之間存在著相互擾動作用,影響各自的氣體驅(qū)動效果。本文利用FLUENT流場仿真分析軟件對多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動過程進(jìn)行仿真分析,找到射流孔分布對多孔壓電風(fēng)扇氣體驅(qū)動性能的影響規(guī)律。首先根據(jù)多孔壓電風(fēng)扇的結(jié)構(gòu)和幾何參數(shù),在FLUENT軟件中建立流場域仿真分析幾何結(jié)構(gòu)模型并劃分網(wǎng)格,如圖7所示。為了保證計(jì)算精度,對射流孔和出流口的網(wǎng)格進(jìn)行加密處理并通過網(wǎng)格無關(guān)性驗(yàn)證,網(wǎng)格數(shù)約為56萬。多孔壓電風(fēng)扇的部分幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)參考課題組的前期研究成果[20],壓電風(fēng)扇聲流換能層高度為0.1 mm,射流層高度為1.35 mm,射流孔直徑為0.2 mm,出流口直徑為0.7 mm。射流孔均勻分布在射流板的中心截面內(nèi),射流孔的數(shù)量分別取1、3、5、7、9,射流孔的數(shù)量越多說明射流孔的布置越密集。

圖7 流場域網(wǎng)格圖

仿真計(jì)算過程中,壓電換能器對壓電風(fēng)扇的激勵采用位移函數(shù)表示,該位移函數(shù)包含時(shí)間t和空間位置坐標(biāo)(x,y)兩個維度的變量。壓電換能器在oxy平面內(nèi),振動方向?yàn)閦軸方向,采用的函數(shù)表達(dá)式為

s(t,x,y)=Ag(x,y)sin(2πft)

(1)

式中,A為壓電換能器振幅;f為換能器振動頻率;R為換能器的有效半徑。

對式(1)進(jìn)行微分得到壓電換能器的振動速度表達(dá)式:

v(t,x,y)=2πfAg(x,y)cos(2πft)

(2)

將壓電換能器的振動速度函數(shù)添加到流場域振動激勵邊界,由此模擬在換能器激勵下形成的氣體射流。壓電換能器的振動頻率f取20 807 Hz,振幅A設(shè)為0.24 μm,有效半徑R為9 mm。應(yīng)用FLUENT流場仿真軟件分析得到壓電風(fēng)扇的氣體出流口上方的速度云圖,采用三維瞬態(tài)計(jì)算方式,湍流模型為k-ε模型,時(shí)間步長為6×10-7s。壓電換能器的振動周期為T,計(jì)算得到多孔壓電風(fēng)扇驅(qū)動氣體0.5T時(shí)刻的流場速度云圖,見圖8。隨著射流孔數(shù)量的增大,單個射流孔的氣體驅(qū)動能力有所下降,但多個射流孔的整體氣體驅(qū)動能力累加效果得到加強(qiáng),這說明多孔射流方案可以有效提高壓電換能器輻射聲場能量的綜合利用效率。

(a)單孔 (b)三孔

(c)五孔 (d)七孔

3 試驗(yàn)測試與分析

多孔壓電風(fēng)扇氣體流速測試系統(tǒng)如圖9所示。主要試驗(yàn)儀器包括信號發(fā)生器(RIGOL DG1022Z)、功率放大器(AIGTEK ATA2021H)、示波器(RIGOL DS1054Z)和熱線式風(fēng)速計(jì)(臺灣泰仕TES-1341N)等。信號發(fā)生器和功率放大器為多孔壓電風(fēng)扇提供電壓和頻率可調(diào)的正弦波驅(qū)動信號,多孔壓電風(fēng)扇驅(qū)動氣體的流速由熱線式風(fēng)速計(jì)測量,測量精度為0.01 m/s。壓電風(fēng)扇由出流口向外噴射氣體,氣體流速隨著遠(yuǎn)離出流口而降低。壓電風(fēng)扇氣體流速測試過程中,將風(fēng)速計(jì)的測試端布置在出流口上方20 mm處。

圖9 樣機(jī)測試系統(tǒng)

3.1 單孔壓電風(fēng)扇性能對比試驗(yàn)

由壓電換能器的聲場仿真分析結(jié)果可知,在第六階振型下壓電換能器中心區(qū)域的輻射聲壓最大,而周邊區(qū)域聲壓逐漸減小,由此可以推斷射流孔的布置位置會對壓電風(fēng)扇性能產(chǎn)生直接影響。為驗(yàn)證射流孔的布置位置對壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能的影響,選擇不同射流孔位置參數(shù)的壓電風(fēng)扇樣機(jī)進(jìn)行相應(yīng)的對比試驗(yàn)。當(dāng)射流孔處于以射流板中心為圓心、半徑為r的圓環(huán)上時(shí),則稱此射流孔為中心距r射流孔,如圖10所示。當(dāng)r=0時(shí),射流孔位于射流板的中心,隨著r值的增大,射流孔向射流板的周邊移動。

圖10 射流孔位置示意圖

首先,選擇不同的射流孔和出流口布置位置(r分別取0、2 mm、4 mm、6 mm、8 mm)制作射流板和擋流板,進(jìn)而制作相應(yīng)的單孔壓電風(fēng)扇試驗(yàn)樣機(jī)并測試其性能。設(shè)定單孔壓電風(fēng)扇的驅(qū)動電壓Vpp為60 V,利用風(fēng)速計(jì)測試不同驅(qū)動頻率下壓電風(fēng)扇出流口上方的氣體流速,試驗(yàn)結(jié)果如圖11所示。中心區(qū)域開孔(r=0)的壓電風(fēng)扇氣體驅(qū)動性能最佳,且隨著射流孔位置遠(yuǎn)離中心區(qū)域,壓電風(fēng)扇的氣體流速逐漸降低。這說明單孔壓電風(fēng)扇的氣體射流強(qiáng)度與射流孔位置之間存在密切關(guān)系,在輻射聲壓最大的中心區(qū)域上方設(shè)置出流口,壓電風(fēng)扇的氣體射流強(qiáng)度最大。該試驗(yàn)同時(shí)說明,壓電換能器在驅(qū)動頻率為20.4 kHz時(shí)達(dá)到第六階諧振狀態(tài),壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動能力最強(qiáng),對于r為0、2 mm、4 mm、6 mm和8 mm的5種樣機(jī),壓電風(fēng)扇的最大風(fēng)速分別為1.9 m/s、1.59 m/s、1.32 m/s、0.88 m/s和0.36 m/s,其中心區(qū)域輻射聲場最強(qiáng),遠(yuǎn)離中心區(qū)域的聲場強(qiáng)度相對減弱,但仍有較強(qiáng)的氣體驅(qū)動能力。若在射流板和擋流板上設(shè)置多個射流孔和出流口,則可以實(shí)現(xiàn)壓電換能器輻射聲能的綜合利用,提高多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動能力。

圖11 單孔壓電風(fēng)扇性能曲線

3.2 多孔壓電風(fēng)扇性能對比試驗(yàn)

壓電換能器作為面聲源向其周圍輻射聲波,壓電風(fēng)扇通過采用多孔出流的方式來提高壓電換能器輻射聲能的利用率。由多孔壓電風(fēng)扇的流場仿真分析結(jié)果可知,射流孔的布置密度對壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能有直接影響,合理選擇射流孔的布置密度將大幅提高多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能。

在前面單孔壓電風(fēng)扇性能試驗(yàn)基礎(chǔ)上,制作具有不同射流孔布置密度的多孔壓電風(fēng)扇試驗(yàn)樣機(jī)。射流孔在射流板上的特定區(qū)域內(nèi)采用等間距均勻布置,射流孔的具體分布規(guī)律如圖12所示。在以射流板中心為圓心、直徑d=16 mm的圓內(nèi)開設(shè)不同數(shù)量的射流孔,并且各相鄰射流孔之間采用等間距均勻排布方式,同時(shí)以直徑d=16 mm的圓內(nèi)射流孔的數(shù)量N來表示射流孔在射流板上的布置密度。為了獲得射流孔布置密度對多孔壓電風(fēng)扇氣體驅(qū)動性能的影響規(guī)律,下面分別制作N為5、9、13、21、57、89、137和221共8類多孔壓電風(fēng)扇樣機(jī),并對這8類樣機(jī)進(jìn)行性能測試。

圖12 射流孔分布規(guī)律

設(shè)定驅(qū)動電壓Vpp為60 V,對上述8類樣機(jī)進(jìn)行氣體驅(qū)動性能測試,結(jié)果如圖13所示。結(jié)果顯示,隨著單位面積上射流孔布置密度的增加,多孔壓電風(fēng)扇出流口上方的氣體射流速度先增大后減小,存在最佳的射流孔布置密度。試驗(yàn)測得,8類樣機(jī)中的89孔壓電風(fēng)扇的性能最佳,當(dāng)驅(qū)動頻率為20.4 kHz時(shí),其驅(qū)動氣體的最大流速為3.7 m/s。試驗(yàn)結(jié)果說明,采用多射流孔方案可以提高壓電換能器的聲能利用效率,進(jìn)而提高壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能,但過大的射流孔布置密度會抑制多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能。存在最優(yōu)的射流孔布置密度,使多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能最佳。

圖13 多孔壓電風(fēng)扇性能曲線

3.3 壓電風(fēng)扇電壓特性試驗(yàn)

驅(qū)動電壓直接影響壓電換能器的輻射聲場的強(qiáng)度,并進(jìn)一步影響壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動能力。在上述單孔和多孔壓電風(fēng)扇性能測試試驗(yàn)基礎(chǔ)上,選擇中心開孔的單孔壓電風(fēng)扇,以及57孔和89孔的多孔壓電風(fēng)扇,分別進(jìn)行電壓特性試驗(yàn)。

首先保持驅(qū)動頻率為20.4 kHz,改變壓電換能器的驅(qū)動電壓,測得不同驅(qū)動電壓下壓電風(fēng)扇的氣體流速曲線,如圖14所示。隨著驅(qū)動電壓的增大,壓電風(fēng)扇驅(qū)動氣體的流速逐漸增大。在驅(qū)動電壓Vpp為90 V、驅(qū)動頻率為20.4 kHz時(shí),中心開孔的單孔壓電風(fēng)扇的氣體流速為2.2 m/s,57孔壓電風(fēng)扇的氣體流速為4.1 m/s,89孔壓電風(fēng)扇的氣體流速為4.7 m/s。

圖14 壓電風(fēng)扇電壓特性曲線

4 結(jié)論

基于合成射流原理的壓電超聲氣體驅(qū)動器具有能量密度高的特點(diǎn),為提高其聲能利用效率,提高壓電氣體驅(qū)動器的氣體驅(qū)動性能,提出一種采用晶片型壓電換能器激勵高強(qiáng)聲場并誘導(dǎo)氣體產(chǎn)生定向流動的多孔壓電風(fēng)扇,對其輸出特性進(jìn)行仿真與試驗(yàn)研究,具體結(jié)論如下:

(1)壓電換能器可產(chǎn)生超聲頻率的強(qiáng)聲場,在驅(qū)動頻率為20 807 Hz的正弦波電壓信號驅(qū)動下,壓電換能器獲得第六階諧振狀態(tài),其中心區(qū)域振幅最大且聲場最強(qiáng),可使聲能集中在壓電換能器的中心區(qū)域,為多孔式合成射流壓電風(fēng)扇提供高效的聲場激勵。

(2)單孔壓電風(fēng)扇的射流孔布置位置對壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能有直接影響,隨著射流孔遠(yuǎn)離中心,壓電風(fēng)扇的性能逐漸下降;試驗(yàn)測得,中心開孔的單孔壓電風(fēng)扇在90 V電壓驅(qū)動下,其驅(qū)動氣體流速達(dá)到2.2 m/s。

(3)采用多個射流孔的設(shè)計(jì)可以有效提高壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能,隨著射流孔數(shù)量的增大,壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能先提高后降低,存在最佳的射流孔布置密度使多孔壓電風(fēng)扇的氣體驅(qū)動性能最佳;試驗(yàn)測得89孔壓電風(fēng)扇在90 V電壓驅(qū)動下,其驅(qū)動氣體流速達(dá)到4.7 m/s。