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        光學(xué)芯軸測(cè)量臺(tái)四點(diǎn)自動(dòng)調(diào)平方法研究

        2023-08-01 19:57:54趙紫寅孔繁星孫皓章何騰飛邵逸飛
        化工自動(dòng)化及儀表 2023年2期
        關(guān)鍵詞:測(cè)量

        趙紫寅 孔繁星 孫皓章 何騰飛 邵逸飛

        摘 要 針對(duì)Wolter?I型芯軸裝調(diào)、測(cè)量過(guò)程中需要多次調(diào)平,時(shí)刻保持平衡的問(wèn)題,研究了四點(diǎn)式自動(dòng)調(diào)平方法。從機(jī)械、軟件兩個(gè)方面介紹自動(dòng)調(diào)平測(cè)量臺(tái),分析調(diào)平控制機(jī)構(gòu)以及相關(guān)軟件,用表面輪廓數(shù)據(jù)采集方法進(jìn)行數(shù)據(jù)采集確定傾斜角,對(duì)“最高點(diǎn)不動(dòng)”調(diào)平算法進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,對(duì)傾斜角的不同種情況進(jìn)行仿真計(jì)算分析,計(jì)算隨機(jī)產(chǎn)生的傾角對(duì)應(yīng)的支腿移動(dòng)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該方法用5~7次即可達(dá)到調(diào)平目的,具有較高的檢測(cè)效率、調(diào)平精度和抗傾覆力。

        關(guān)鍵詞 四點(diǎn)式自動(dòng)調(diào)平 Wolter?I型芯軸 “最高點(diǎn)不動(dòng)”算法 表面輪廓數(shù)據(jù)采集 傾角模型? 傾角坐標(biāo)解算分析

        中圖分類號(hào) TN934.85? ?文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼 A? ?文章編號(hào) 1000?3932(2023)02?0238?07

        高精度的調(diào)平工作臺(tái)是精密測(cè)量設(shè)備最重要的附件之一。隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,高精度的調(diào)平工作臺(tái)在電子、航空航天、國(guó)防、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,尤其在精密制造、測(cè)量等領(lǐng)域,一些伺服機(jī)構(gòu)、機(jī)器等對(duì)精密元件的精確度要求較高,其精確度直接影響伺服機(jī)構(gòu)和機(jī)器的可靠性,例如Wolter?I型芯軸[1,2]的裝調(diào)。Wolter?I型芯軸主要用于光學(xué)反射聚焦成像,其制作工藝復(fù)雜,需要車削、拋光、測(cè)量、裝調(diào)等過(guò)程,精密測(cè)量過(guò)程中,性能會(huì)因裝調(diào)過(guò)程中的位置誤差等因素而有較大影響,因此測(cè)量過(guò)程中需要進(jìn)行多次調(diào)整。

        20世紀(jì)70年代以來(lái),國(guó)內(nèi)外眾多學(xué)者對(duì)精密調(diào)平做了很多研究。調(diào)平最開(kāi)始是由人工手動(dòng)調(diào)平[3],這種調(diào)平結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但受人為因素的影響很大,需要多次調(diào)平,耗時(shí)耗力且精度不高。DANGSCHAT H的專利Precision Adjustable Table采用三點(diǎn)式調(diào)平,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)內(nèi)六角扳手調(diào)節(jié)螺栓與螺母的結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量工作臺(tái)的調(diào)平;BASIN N等研制的調(diào)平機(jī)構(gòu)是通過(guò)調(diào)整工件的傾斜角度來(lái)控制調(diào)平,控制方法是旋轉(zhuǎn)導(dǎo)桿使工作臺(tái)上下移動(dòng)[4]。國(guó)內(nèi)的上海微電子裝備有限公司首次研制出擁有專利技術(shù)的高精度快速調(diào)平裝置[5],采用三點(diǎn)式電動(dòng)調(diào)平,安裝簧片和彈簧,驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)推動(dòng)凸輪實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)調(diào)平。2010年,哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制了一種超精密調(diào)平裝置,采用的是三點(diǎn)支撐調(diào)平,運(yùn)用螺栓與楔形塊的結(jié)合,通過(guò)螺栓頂著楔塊上下移動(dòng)實(shí)現(xiàn)裝置的調(diào)平[6]。2012年,西安交通大學(xué)研制出一種超精密的調(diào)平調(diào)心裝置,采用的是絲杠結(jié)構(gòu)推動(dòng)工作臺(tái)底部的錐形塊上下移動(dòng)實(shí)現(xiàn)調(diào)平目的[7],這種調(diào)平裝置調(diào)平精度較高但加工工藝復(fù)雜。2019年,中原工學(xué)院的席建發(fā)明了一種磨削加工自動(dòng)調(diào)整工作臺(tái)[8],解決了當(dāng)前技術(shù)中自動(dòng)調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)造成大口徑零件加工精度低、不易調(diào)節(jié)的問(wèn)題。

        目前,國(guó)內(nèi)精密測(cè)量臺(tái)大多采用手動(dòng)調(diào)平,采用凸輪或楔形塊構(gòu)成調(diào)平裝置。但國(guó)外技術(shù)已經(jīng)完全達(dá)到了自動(dòng)調(diào)平的程度,目前比較先進(jìn)的是英國(guó)Taylor Hobson公司發(fā)明研制的一種圓度儀工作臺(tái)[9],該圓度儀的調(diào)平轉(zhuǎn)臺(tái)自動(dòng)化程度很高,采用測(cè)頭檢測(cè)工件和轉(zhuǎn)臺(tái)中心線的偏移量,控制電機(jī)使中心線平行,進(jìn)而達(dá)到調(diào)平的目的,圓度儀工作臺(tái)具有自動(dòng)調(diào)平調(diào)心功能,機(jī)械十分復(fù)雜,價(jià)格也比較昂貴。

        為實(shí)現(xiàn)Wolter?I型芯軸測(cè)量的自動(dòng)調(diào)平,筆者提出一種運(yùn)算簡(jiǎn)單、抗傾覆性強(qiáng)的四點(diǎn)式自動(dòng)調(diào)平方法,建立四點(diǎn)式調(diào)平傾角模型,給出傾角調(diào)整的坐標(biāo)解算方法和分析方法,并仿真分析不同傾斜角度下各支腿的移動(dòng)位移量和最優(yōu)調(diào)平次數(shù)。

        1 測(cè)量臺(tái)調(diào)平原理

        1.1 機(jī)械結(jié)構(gòu)

        精密測(cè)量臺(tái)轉(zhuǎn)臺(tái)從上往下,包括支架傳感器組件、載物工作臺(tái)、調(diào)平工作臺(tái)、支腿和旋轉(zhuǎn)工作臺(tái),調(diào)平裝置設(shè)于支撐裝置和載物工作臺(tái)中間,調(diào)整系統(tǒng)示意圖如圖1所示,通過(guò)支腿的動(dòng)作使工作臺(tái)保持水平狀態(tài)。傳感器組件包括設(shè)于支架上的測(cè)頭和傳感器,傳感器用于采集工作臺(tái)的傾斜角數(shù)據(jù)。

        自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)配備微位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),基本結(jié)構(gòu)如圖2所示,由步進(jìn)電機(jī)、減速齒輪和精密絲杠組成,步進(jìn)電機(jī)是微位移驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中不可缺少的關(guān)鍵性器件,用來(lái)控制支腿的高低從而實(shí)現(xiàn)調(diào)平。步進(jìn)電機(jī)通過(guò)脈沖信號(hào)來(lái)控制運(yùn)作,轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角和轉(zhuǎn)速分別與輸入的脈沖數(shù)和脈沖頻率成比例[10,11]。

        1.2 調(diào)平原理

        如圖3所示,測(cè)量臺(tái)開(kāi)始工作時(shí),旋轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)工作臺(tái)與被測(cè)量工件一起旋轉(zhuǎn),被測(cè)工件放置時(shí)盡量保持與工作臺(tái)同心。開(kāi)始測(cè)量,被測(cè)工件旋轉(zhuǎn),帶有傳感器的測(cè)頭即可采集到一圈數(shù)據(jù),由于傳感器傳出的信號(hào)大多微弱且存在一定干擾,因此在傳感器采集數(shù)據(jù)之前,就必須對(duì)傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)調(diào)理,其主要目的在于放大微弱信號(hào)并去除干擾信號(hào),以確保較高的檢測(cè)準(zhǔn)確度。信號(hào)被放大后,由于傳感器輸出的是模擬量而無(wú)法被識(shí)別,因此需要進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換,便于上位機(jī)識(shí)別數(shù)據(jù),所以進(jìn)行了數(shù)據(jù)采集設(shè)計(jì),對(duì)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理。數(shù)據(jù)輸送給上位機(jī)后,通過(guò)LabVIEW自控面板進(jìn)一步控制電機(jī)旋轉(zhuǎn),達(dá)到調(diào)平的目的。

        2 調(diào)平算法研究

        2.1 調(diào)平數(shù)據(jù)采集

        由于工作臺(tái)是回轉(zhuǎn)型轉(zhuǎn)臺(tái),被測(cè)工件隨旋轉(zhuǎn)臺(tái)一起轉(zhuǎn)動(dòng),因此設(shè)計(jì)采用表面輪廓數(shù)據(jù)采集方法,這種方法主要是通過(guò)傳感器測(cè)頭采集工件表面的離散點(diǎn),用數(shù)字化方式得到被測(cè)工件的空間位置,傳感器測(cè)頭采用電感式測(cè)頭。在回轉(zhuǎn)型自動(dòng)調(diào)平工作臺(tái)中,多采用效率較高的截面法,截面法是在工件不同高度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測(cè)量,在工件的下方和上方進(jìn)行一個(gè)雙截面測(cè)量,通過(guò)分析測(cè)得數(shù)據(jù)可知工件的傾斜位置和傾斜角。

        數(shù)據(jù)采集采用等間距測(cè)量,采集數(shù)量越多得到的數(shù)據(jù)越準(zhǔn)確,但采集數(shù)據(jù)過(guò)多會(huì)導(dǎo)致分析時(shí)間長(zhǎng),并且對(duì)控制精度的要求也較高,所以合適的采集點(diǎn)數(shù)對(duì)后續(xù)傾斜角的精度很重要。等間隔測(cè)量時(shí),假設(shè)采樣間隔為θ(單位°),根據(jù)香農(nóng)采樣定律,可知采樣頻率f和模擬信號(hào)最高頻率f的關(guān)系為:f≥2f。

        為了避免“混疊”現(xiàn)象導(dǎo)致信號(hào)失真,需要有一個(gè)有適當(dāng)截止頻率的抗混疊濾波器進(jìn)行濾波。實(shí)際中,f=f/2.56(f為截止頻率)。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)JB/T 9924—1999《磨削表面波紋度》的規(guī)定[12],一般情況下,f取15 upr(即濾波后只留下15個(gè)波)。所以采樣點(diǎn)數(shù)N的估計(jì)值為:

        2.2 四點(diǎn)式調(diào)平

        目前常見(jiàn)的調(diào)平方式主要是三點(diǎn)式調(diào)平、四點(diǎn)式調(diào)平、六點(diǎn)式調(diào)平,國(guó)內(nèi)外一些光學(xué)器件的調(diào)平大多采用的是三點(diǎn)式調(diào)平。四點(diǎn)式調(diào)平即4條支腿保持平衡的一種調(diào)平支撐方式,四點(diǎn)式調(diào)平與三點(diǎn)式相比,調(diào)平算法和機(jī)構(gòu)雖然較為復(fù)雜,但因?yàn)樗狞c(diǎn)式是對(duì)稱型結(jié)構(gòu),所以結(jié)構(gòu)較為穩(wěn)定,且抗傾覆力較強(qiáng)。

        如圖4所示,三角形ACE為三點(diǎn)式調(diào)平平臺(tái),ACDB為四點(diǎn)式調(diào)平平臺(tái)。F為兩個(gè)平臺(tái)的重心,F(xiàn)G和FH分別為三點(diǎn)式、四點(diǎn)式調(diào)平平臺(tái)的傾覆點(diǎn)間的距離。

        三點(diǎn)式、四點(diǎn)式調(diào)平平臺(tái)的抗傾覆力矩M、M分別為:

        以上為各支腿需要調(diào)整的高度值,通過(guò)電機(jī)控制支腿升高,就可以實(shí)現(xiàn)調(diào)平。

        3 仿真實(shí)驗(yàn)

        3.1 軟件的總體設(shè)計(jì)方案

        設(shè)計(jì)軟件的總體構(gòu)成是軟件開(kāi)發(fā)的必要前提。筆者設(shè)計(jì)的自動(dòng)調(diào)平軟件的組成如下:

        a. 用上位機(jī)通過(guò)虛擬儀器LabVIEW編寫(xiě)自動(dòng)調(diào)平控制面板(圖7);

        b. 編寫(xiě)用于調(diào)平的各項(xiàng)子程序。

        自動(dòng)調(diào)平軟件可以實(shí)現(xiàn)的主要功能有:數(shù)據(jù)采集、信號(hào)處理、數(shù)據(jù)分析及輸出、電機(jī)控制。由于LabVIEW是實(shí)現(xiàn)核心程序最小化與模塊化的[14],因此在整個(gè)設(shè)計(jì)流程中要始終遵循這一規(guī)則。按照每一個(gè)設(shè)計(jì)所實(shí)現(xiàn)功能的要求來(lái)對(duì)每一個(gè)模塊功能進(jìn)行設(shè)計(jì)和調(diào)試。在LabVIEW的程序?qū)崿F(xiàn)中,采用由大到小的方式編寫(xiě),確定總體方案后再設(shè)計(jì)相關(guān)模塊并進(jìn)行功能分析。

        3.2 軟件模塊結(jié)構(gòu)

        自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)各個(gè)模塊的主要功能設(shè)計(jì)如下:

        a. 數(shù)據(jù)采集模塊,實(shí)現(xiàn)Wolter?I型芯軸測(cè)量數(shù)據(jù)的采集;

        b. 數(shù)據(jù)處理模塊,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處理、分析及輸出;

        c. 電機(jī)控制模塊,實(shí)現(xiàn)支架上測(cè)頭位置和支腿位置的控制。

        圖7所示的控制界面中,系統(tǒng)支腿操控面板上設(shè)計(jì)有z軸控制按鈕,可以控制z軸上傳感器的位置;右側(cè)分別設(shè)有“開(kāi)始測(cè)量”、“數(shù)據(jù)采集”、“數(shù)據(jù)調(diào)入”與“保存數(shù)據(jù)”按鍵,用于采集被測(cè)工件表面的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)調(diào)入保存后,通過(guò)分析,采用雙截面輪廓采集法得知傾角角度,先轉(zhuǎn)一圈獲得第一截面數(shù)據(jù),求得圓心O1,再上升高度獲得第二截面數(shù)據(jù),求得圓心O2,上下圓心相連獲得軸線,可以得到x、y軸的傾斜角α、β。右側(cè)還設(shè)有“自動(dòng)調(diào)平”按鍵和“復(fù)位”按鍵。按下“自動(dòng)調(diào)平”鍵后系統(tǒng)進(jìn)入自動(dòng)調(diào)平模式,通過(guò)“最高點(diǎn)不動(dòng)”調(diào)平法控制電機(jī)進(jìn)行調(diào)平,直至調(diào)平,自動(dòng)調(diào)平流程如圖8所示。如果調(diào)平過(guò)程中出錯(cuò)或者精度不夠理想可按下“復(fù)位”鍵,進(jìn)行工件復(fù)位,再重新進(jìn)行調(diào)平。

        3.3 仿真分析

        四點(diǎn)追逐式調(diào)平方法,采用“最高點(diǎn)不動(dòng)”調(diào)平法,首先確定最高點(diǎn),使用非水平狀態(tài)下的模型(8),令α、β為正。以α>0、β>0為例,支腿1為最高點(diǎn),支腿3為最低點(diǎn)。支腿運(yùn)動(dòng)量的C語(yǔ)言程序代碼為:

        void zuigao(uchar α,uchar β)

        {

        If(α>0&&β>0)//最高支點(diǎn)為1點(diǎn)

        {

        Z2=Lasin(abs(α));//2點(diǎn)移動(dòng)量

        Z3=Lasin(abs(α))+Lbsin(abs(β));//3點(diǎn)移動(dòng)量

        Z4=Lbsin(abs(β));//4點(diǎn)移動(dòng)量

        }

        }

        根據(jù)4種不同的傾角情況,分別對(duì)模型中每條支腿的運(yùn)動(dòng)量進(jìn)行仿真運(yùn)算,結(jié)果見(jiàn)表1。

        如圖9所示,對(duì)不同情況下傾角進(jìn)行調(diào)平,可以看出,大概5~7次即可實(shí)現(xiàn)調(diào)平。

        4 結(jié)束語(yǔ)

        針對(duì)Wolter?I 型芯軸測(cè)量過(guò)程中自動(dòng)調(diào)平的問(wèn)題,在調(diào)平機(jī)構(gòu)中采用四點(diǎn)式調(diào)平,相對(duì)于三點(diǎn)式增強(qiáng)了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性;采用雙截面表面輪廓數(shù)據(jù)采集方法確定傾斜角,比傳統(tǒng)的傳感器直接測(cè)量更為準(zhǔn)確;建立了四點(diǎn)式調(diào)平傾角模型,給出了傾角調(diào)整的坐標(biāo)解算方法和分析方法;通過(guò)仿真分析計(jì)算出不同傾斜角度下,各支腿移動(dòng)位移量和最優(yōu)調(diào)平次數(shù)。仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,四點(diǎn)式自動(dòng)調(diào)平方法可有效實(shí)現(xiàn)Wolter?I 型芯軸測(cè)量過(guò)程中的自動(dòng)調(diào)整,提高了檢測(cè)效率,具有較高的調(diào)平精度、較強(qiáng)的抗傾覆性能。

        參 考 文 獻(xiàn)

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        (收稿日期:2022-09-07,修回日期:2022-12-15)

        Research on Four?point Auto?leveling Method for

        Optics Mandrel Measuring Table

        ZHAO Zi?yin1, KONG Fan?xing1,2, SUN Hao?zhang1, HE Teng?fei1, SHAO Yi?fei1

        (1. College of Mechatronics Engineering, Jilin Institute of Chemical Technology;

        2. College of Mechatronics? Engineering, Hainan Vocational University of Science and Technology)

        Abstract? ?A leveling table with high precision is one of the most important accessories of precision measuring equipment and Wolter?I mandrel measurement platform asks for many times of leveling operation so as to keep a balance at any time. In this paper, a four?point auto?leveling method was proposed and both leveling control mechanism and the software concerned were analyzed from two aspects of mechanics and software, and the surface profile data acquisition method was adopted to collect data and to determine the angle of inclination. In addition, the leveling algorithm of the“highest point fixed” was modeled and the si? mulation calculation was carried out and the leg movement corresponding to the randomly generated dip angle was calculated. The experimental results show that, this method can achieve the leveling purpose through 5 to 7 times of operation and it has high detection efficiency, leveling accuracy and anti?overturning force.

        Key words? ?four?point auto?leveling, Wolter?I mandrel,“highest point fixed” algorithm, surface profile data collection, dip angle model, calculation and analysis of inclination coordinates

        基金項(xiàng)目:吉林化工學(xué)院博士啟動(dòng)基金項(xiàng)目——基于激光輔助加工的化學(xué)鍍鎳材料復(fù)合拋光技術(shù)研究(吉化院博基合字〔2021〕第031號(hào))。

        作者簡(jiǎn)介:趙紫寅(1998-),碩士研究生,從事過(guò)程檢測(cè)技術(shù)及自動(dòng)化裝置的研究。

        通訊作者:孔繁星(1975-),副教授,從事智能制造、超精密加工及檢測(cè)技術(shù)的研究,fanxingks@163.com。

        引用本文:趙紫寅,孔繁星,孫皓章,等.光學(xué)芯軸測(cè)量臺(tái)四點(diǎn)自動(dòng)調(diào)平方法研究[J].化工自動(dòng)化及儀表,2023,50(2):238-244.

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