盡管在光刻膠的研發(fā)上早已碩果累累,但傅志偉深諳“授之以魚,不如授之以漁”。于是2012年開(kāi)始,傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產(chǎn),而是開(kāi)始光刻膠和光刻設(shè)備“兩手抓”。
作為半導(dǎo)體上游核心支柱,半導(dǎo)體材料肩負(fù)著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全自主可控的重要使命,尤其是光刻膠作為芯片制造過(guò)程中的關(guān)鍵材料發(fā)揮著不可替代的作用,已成為中國(guó)芯片自主化的關(guān)鍵,有著極為重要的戰(zhàn)略意義和實(shí)際價(jià)值。
近些年在政策、資本和產(chǎn)業(yè)的助推下,我國(guó)光刻膠業(yè)取得可喜的進(jìn)步,徐州博康信息化學(xué)品有限公司(下文簡(jiǎn)稱“博康”)作為我國(guó)最早從事光刻材料產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā)的企業(yè)之一,在助力光刻膠國(guó)產(chǎn)化之路上可謂大放光芒,不僅實(shí)現(xiàn)了“單體—樹(shù)脂、光酸—光刻膠”的全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋,而且通過(guò)持續(xù)的自主研發(fā)投入,擁有了100多項(xiàng)的光刻膠專利,在保障國(guó)產(chǎn)光刻膠材料產(chǎn)業(yè)鏈安全、自主、可控方面取得實(shí)質(zhì)性突破。
今年4月,博康宣布完成新一輪融資,金額超6億元,投后估值高達(dá)70億元,成為徐州新晉的半導(dǎo)體獨(dú)角獸企業(yè)。
傅志偉創(chuàng)業(yè)之初,光刻膠的研發(fā)在國(guó)內(nèi)還是一片空白。而現(xiàn)在,博康已成功開(kāi)發(fā)ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產(chǎn)品,且具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力。其中,干法ArF可應(yīng)用于90nm/65nm/55nm節(jié)點(diǎn),濕法ArF可應(yīng)用于40nm/28nm節(jié)點(diǎn)。
盡管在光刻膠的研發(fā)上早已碩果累累,但傅志偉深諳“授之以魚,不如授之以漁”。于是2012年開(kāi)始,傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產(chǎn),而是開(kāi)始光刻膠和光刻設(shè)備“兩手抓”。在傅志偉的帶領(lǐng)下,短短三年時(shí)間,博康就完成了半導(dǎo)體納米級(jí)制版光刻設(shè)備、封裝及PCB激光直接成像設(shè)備兩個(gè)國(guó)家科技重大專項(xiàng)。2016年,博康集團(tuán)還成功收購(gòu)了國(guó)際頂尖的電子束光刻機(jī)生產(chǎn)商——英國(guó)NBL公司,推出了新一代LDI產(chǎn)品,打破西方國(guó)家的壟斷。目前,博康已實(shí)現(xiàn)原料到光刻膠產(chǎn)品的全國(guó)產(chǎn)化、全產(chǎn)業(yè)鏈布局,研發(fā)儲(chǔ)備100多項(xiàng)的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù),其中KrF光刻膠單體份額全球領(lǐng)先。2021年—2022年,博康實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入數(shù)億元。
這些成就的取得,充分彰顯了博康的遠(yuǎn)見(jiàn)與格局。
一方面,博康早在十年前便意識(shí)到全產(chǎn)業(yè)鏈布局的重要性,持續(xù)著力全產(chǎn)業(yè)鏈布局,不僅保證了光刻膠的原材料光酸、樹(shù)脂的原材料單體的自主開(kāi)發(fā),而且光刻膠產(chǎn)品覆蓋品類也更加寬廣;另一方面,博康擁有500多名技術(shù)人員,一線研發(fā)團(tuán)隊(duì)200多人,其中碩士、博士占比超過(guò)50%,且都具備豐富的有機(jī)合成、高分子聚合、半導(dǎo)體級(jí)電子級(jí)純化的專業(yè)能力,系統(tǒng)掌握了電子級(jí)化學(xué)品生產(chǎn)的核心技術(shù)。此外,博康還斥巨資建成了產(chǎn)品齊全、技術(shù)水平先進(jìn)的光刻膠材料研發(fā)制造基地,基地配備了先進(jìn)的自動(dòng)化中控平臺(tái)以及標(biāo)準(zhǔn)的光刻材料生產(chǎn)設(shè)備及實(shí)驗(yàn)檢測(cè)儀器,達(dá)產(chǎn)后實(shí)現(xiàn)了1100噸光刻材料及10000噸電子級(jí)溶劑的規(guī)模化生產(chǎn)。
“光刻膠生產(chǎn)更多是配方及物理混合,主要依靠樹(shù)脂跟光酸的合成,屬于有機(jī)合成,涉及如何讓分子結(jié)構(gòu)排列保持一致,以及如何實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的測(cè)試,而且需要持續(xù)的投入以開(kāi)發(fā)先進(jìn)工藝所需的高分辨率光刻膠。同時(shí)必須有工匠精神,不斷地打磨產(chǎn)品提高質(zhì)量和品控,才能穩(wěn)定批量地供應(yīng),滿足客戶的全面需求?!辈┛迪嚓P(guān)負(fù)責(zé)人闡釋了博康從原材料到研發(fā)再到生產(chǎn)的全面布局之道。
博康的知行合一,使其在市場(chǎng)上收獲了廣泛的認(rèn)可。在應(yīng)用方面,博康已經(jīng)獲得近40家客戶的訂單,這些客戶廣泛分布于集成電路、分立器件、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。而涵蓋原材料、生產(chǎn)和研發(fā)的“全武行”,也為博康奠定了深厚的根基和奮進(jìn)的底蘊(yùn)。
“未來(lái)徐州博康將繼續(xù)加大研發(fā)投入力度,鞏固核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),不斷拓寬技術(shù)護(hù)城河,為國(guó)產(chǎn)光刻膠的國(guó)產(chǎn)化貢獻(xiàn)力量。”傅志偉希望通過(guò)5到10年的努力,將博康打造成為中國(guó)領(lǐng)先、世界知名的半導(dǎo)體光刻材料公司。