近日，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心實驗室在磨料水射流超精密加工理論及工藝研究中取得新進(jìn)展。該研究成果拓展了磨料水射流加工的應(yīng)用場景，同時為中頻誤差的抑制提供了一個全新有效的方法，對光學(xué)加工的發(fā)展有重要的指導(dǎo)意義。相關(guān)成果發(fā)表在Optics Express上。

該研究基于Preston經(jīng)典加工理論通過復(fù)數(shù)頻譜最優(yōu)化建立的拓展模型驗證了稀疏“雙步距柵格路徑”的存在，其可以通過抑制誤差頻譜的前兩階峰值來實現(xiàn)周期性條紋誤差有效去除。本研究通過該模型能準(zhǔn)確得出最優(yōu)加工參數(shù)，再利用磨料水射流拋光去除函數(shù)尺寸小的特點在最優(yōu)加工參數(shù)下將去除量精確落到中頻誤差的高點處，從而實現(xiàn)中頻誤差的保形高效去除。研究發(fā)現(xiàn)在磨料水射流超精密加工中通過特定的稀疏“雙步距柵格路徑”在去除子孔徑拋光中殘留的周期結(jié)構(gòu)條紋（中頻誤差）上有顯著優(yōu)勢。相關(guān)工作得到了上海市揚帆計劃、國家自然科學(xué)基金、中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會的支持。