西安工業(yè)大學(xué)田愛(ài)玲團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)、研發(fā)的新型三維動(dòng)態(tài)光學(xué)顯微鏡，基于目前的動(dòng)態(tài)觀察顯微鏡和測(cè)量用的掃描三維顯微鏡的應(yīng)用現(xiàn)狀，采用數(shù)字全息技術(shù)原理，記錄攜帶有被觀測(cè)物體輪廓或相位信息的單幀數(shù)字全息干涉圖，利用計(jì)算機(jī)數(shù)值重建算法對(duì)所記錄的全息圖進(jìn)行數(shù)值重建獲得被觀測(cè)物體的相位和振幅信息，從而完成被測(cè)物體三維形貌的重構(gòu)，達(dá)到非接觸、全場(chǎng)、動(dòng)態(tài)觀察、測(cè)試、記錄和存儲(chǔ)的功能。最終研制三維動(dòng)態(tài)光學(xué)顯微鏡樣機(jī)獲得國(guó)家外觀專利許可(ZL201830159740.9))，實(shí)現(xiàn)了微觀形貌的納米級(jí)測(cè)量、并可延伸至動(dòng)態(tài)測(cè)試，其主要技術(shù)指標(biāo)有：① 空間采樣：1 280*1 024；② 橫向分辨率：0.5 μm；③ 縱向分辨率：5 nm；④縱向測(cè)量深度：平滑樣品根據(jù)視場(chǎng)深度而定，臺(tái)階樣品不超過(guò)半個(gè)波長(zhǎng)。與其它顯微技術(shù)相比，數(shù)字全息顯微術(shù)有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：① 能夠記錄和再現(xiàn)物體的三維信息，且具有較高的分辨率；② 對(duì)樣本物體的影響較?。虎?設(shè)備簡(jiǎn)單，成本低廉；④ 操作簡(jiǎn)便，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)試；⑤ 對(duì)測(cè)量環(huán)境要求不高。因此，本項(xiàng)目的產(chǎn)業(yè)化能夠促進(jìn)光學(xué)顯微鏡的更新?lián)Q代，符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的發(fā)展方向。該項(xiàng)目的研究技術(shù)將在很大程度上改善我國(guó)相關(guān)領(lǐng)域在測(cè)量觀察方面的現(xiàn)狀，對(duì)相關(guān)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步有著巨大的推進(jìn)作用。目前市場(chǎng)空間較大，符合行業(yè)的發(fā)展方向，技術(shù)門檻較高，可應(yīng)用于微小物體的形貌檢測(cè)、微形變分析以及生物細(xì)胞形態(tài)測(cè)量等多個(gè)領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)三維觀測(cè)。