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        氮氧化物氣體傳感器氧氣干擾的補(bǔ)償方法*

        2022-09-08 05:55:06錢顯威李雪賓周明軍宋長營簡家文
        傳感器與微系統(tǒng) 2022年9期
        關(guān)鍵詞:測(cè)量

        錢顯威, 李雪賓, 周明軍, 宋長營, 簡家文, 鄒 杰

        (1.寧波大學(xué) 信息科學(xué)與工程學(xué)院,浙江 寧波 315211;2.中國電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所,黑龍江 哈爾濱 150028;3.浙江科瑞信電子科技有限公司,浙江 湖州 313000)

        0 引 言

        隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)快速發(fā)展,汽車尾氣、工業(yè)廢氣、垃圾焚燒等燃燒產(chǎn)生的污染氣體給人類生存環(huán)境帶來了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。其中,氮氧化物氣體(NOx,包括NO和NO2)是危害最大且最難處理的污染物之一[1~3]。研究表明,人類在NOx體積分?jǐn)?shù)為5×10-6的空氣中暴露10 min,即可造成呼吸系統(tǒng)失調(diào)[4]。為了減少NOx排放,使用選擇性催化還原(selective catalytic reduction,SCR)對(duì)燃燒尾氣進(jìn)行實(shí)時(shí)脫硝,是目前普遍采用的方式。其中使用基于釔穩(wěn)定氧化鋯制備的雙腔式NOx傳感器搭配專用控制單元對(duì)高溫尾氣中的NOx進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),是SCR實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)脫硝的必要前提。但目前NOx傳感器及控制單元的國際和國內(nèi)市場(chǎng)均被日本NGK公司、德國大陸集團(tuán)等國際巨頭所壟斷。

        國內(nèi)對(duì)SCR技術(shù)有著巨大的需求,為了進(jìn)一步提高NOx傳感器的測(cè)量精度和環(huán)境適應(yīng)性,相關(guān)企業(yè)、高校、科研院所等在陶瓷芯片設(shè)計(jì)、制備與封裝、傳感器測(cè)試、專用控制器研發(fā)等方面做出了巨大努力與貢獻(xiàn)。但是,目前在使用中發(fā)現(xiàn),國產(chǎn)NOx傳感器敏感探頭及其搭配的控制單元輸出的NOx體積分?jǐn)?shù)測(cè)量值易受尾氣中氧氣(O2)體積分?jǐn)?shù)波動(dòng)的影響。雖然在NOx傳感器工作原理和物理結(jié)構(gòu)上已經(jīng)考慮了O2體積分?jǐn)?shù)波動(dòng)帶來的干擾[5~7],但在實(shí)際檢測(cè)NOx過程中發(fā)現(xiàn),僅依靠NOx傳感器的雙腔式物理結(jié)構(gòu)依然無法完全排除O2體積分?jǐn)?shù)波動(dòng)帶來的干擾[8,9]。

        本文結(jié)合NOx傳感器敏感探頭內(nèi)部結(jié)構(gòu)、工作原理,基于開放式NOx傳感器控制單元,研究了O2對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)測(cè)量的影響規(guī)律,提出了一種適用于自主制備NOx傳感器敏感探頭O2干擾的補(bǔ)償方法,減小了外界O2體積分?jǐn)?shù)變化對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)測(cè)量的影響。

        1 NOx傳感器工作原理

        經(jīng)典的NOx傳感器敏感探頭核心結(jié)構(gòu)和外部連線如圖1所示,各個(gè)電極、空腔以及ZrO2固體電解質(zhì)分別形成主泵、輔助泵和測(cè)量泵結(jié)構(gòu)[9~13]。NOx傳感器的控制單元對(duì)三個(gè)泵進(jìn)行控制,分解尾氣中NOx氣體,并獲取氧離子(O2-)遷移電流,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)的測(cè)量[8,12]。

        圖1 NOx傳感器的結(jié)構(gòu)和外部連線

        NOx傳感器工作時(shí),加熱器將敏感探頭溫度快速穩(wěn)定在780 ℃附近。尾氣首先擴(kuò)散至第一空腔,并在主泵電壓VP0作用下使絕大部分O2被泵出腔外,產(chǎn)生主泵電流IP0。隨后,剩余10-6級(jí)體積分?jǐn)?shù)的O2及其他成分?jǐn)U散至第二空腔,在輔助泵電壓VP1作用下進(jìn)一步被泵出,產(chǎn)生輔助泵電流IP1。最終,尾氣中的NO、NO2在添加了特殊催化劑的測(cè)量泵電極作用下分解為N2和O2-,O2-在測(cè)量泵電壓VP2作用下被泵出,產(chǎn)生測(cè)量泵電流IP2,IP2即表征了污染物中NOx的體積分?jǐn)?shù)[14]。由此可見,NOx體積分?jǐn)?shù)僅由NOx分解產(chǎn)生的O2-電流換算獲得。因此,若測(cè)量泵附近還有未被泵出的少量O2就會(huì)對(duì)NOx的測(cè)量產(chǎn)生嚴(yán)重干擾。

        通過上述原理可知,為實(shí)現(xiàn)NOx體積分?jǐn)?shù)的測(cè)量,必須采用合理的多泵聯(lián)動(dòng)控制。V0、V1和V2分別為主泵電極、輔助泵電極、測(cè)量泵電極與參比電極之間的能斯特電壓,通過對(duì)這些參數(shù)的測(cè)量及設(shè)定成為控制策略之一[15]。目前常用的IP1定值反饋控制策略是對(duì)V0、V1定值反饋控制策略的改進(jìn),具有良好控制效果[16,17]。本文采用的是由浙江科瑞信電子科技有限公司為本課題組開發(fā)的基于IP1定值反饋控制策略的開放式專用NOx傳感器控制單元。

        2 實(shí) 驗(yàn)

        傳感器通過自主設(shè)計(jì)并對(duì)外代工制備,測(cè)試系統(tǒng)如圖2所示。具體操作步驟如下:通過多個(gè)數(shù)字質(zhì)量流量控制器(mass flow controller,MFC)中產(chǎn)生x%氧氣(O2)+y×10-6一氧化氮(NO)+余氮?dú)?N2)的模擬氣氛通入測(cè)試腔,其中,x=0,1,3,5,8,13,21,y=0,50,100,200,400,500,1 000,2 000,氣體總流量0.2L/min。NOx傳感器安裝在測(cè)試腔內(nèi),與控制單元連接,并通過CAN總線將采集到的數(shù)據(jù)報(bào)送至上位機(jī)中。上位機(jī)軟件可對(duì)傳感器相關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置:工作溫度為780 ℃;輔助泵電流IP1為7 μA;能斯特電壓值V1和V2為425 mV和435 mV。同時(shí)也可以讀取IP0、IP1、IP2和VP0、VP1、VP2的實(shí)時(shí)數(shù)值。模擬氣氛會(huì)經(jīng)過測(cè)試腔被NOx傳感器感知,然后經(jīng)過洗氣瓶的處理實(shí)現(xiàn)NOx的無害排放。

        圖2 測(cè)試系統(tǒng)示意

        3 結(jié)果分析與補(bǔ)償方法

        3.1 主泵泵電壓、泵電流分析

        在不同體積分?jǐn)?shù)O2下,VP0和IP0隨著NO體積分?jǐn)?shù)變化的趨勢(shì)分別如圖3、圖4所示。

        圖3 不同O2體積分?jǐn)?shù)下VP0隨NO體積分?jǐn)?shù)值變化曲線

        圖4 不同NO體積分?jǐn)?shù)下IP0隨O2體積分?jǐn)?shù)值變化曲線

        圖3中,隨著O2體積分?jǐn)?shù)增大,為了將更多的O2泵出第一空腔外,VP0從1 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的88.76 mV增大到了21 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的345.78 mV;而在同一O2體積分?jǐn)?shù)下,IP0幾乎不隨外界NO體積分?jǐn)?shù)的增長而產(chǎn)生變化,如圖4所示。并且IP0的數(shù)值與O2呈極高的線性關(guān)系,因此,通過獲取IP0可以實(shí)現(xiàn)對(duì)尾氣中O2體積分?jǐn)?shù)的測(cè)量,這也說明NOx傳感器是一個(gè)高精度的O2傳感器。這為后面采用IP0表征O2體積分?jǐn)?shù)值,補(bǔ)償O2對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)測(cè)量的干擾提供了可能性。

        3.2 測(cè)量泵泵電壓、泵電流分析

        VP2與VP0有相似的增長規(guī)律。圖5中,隨著O2體積分?jǐn)?shù)增大,VP2從1 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的240.16 mV,增長到了21 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的415.89 mV。這說明在IP1定值反饋控制策略下,VP2會(huì)隨著模擬氣氛中O2體積分?jǐn)?shù)的變化進(jìn)行調(diào)整,從而也說明測(cè)量泵的工作狀態(tài)會(huì)受到模擬氣氛中O2體積分?jǐn)?shù)的影響。

        圖5 不同NO體積分?jǐn)?shù)下VP2隨O2體積分?jǐn)?shù)值變化曲線

        圖6中,同一O2體積分?jǐn)?shù)下IP2隨NO體積分?jǐn)?shù)變化曲線的擬合優(yōu)度(R2)均達(dá)到了0.99以上,表明在同一O2體積分?jǐn)?shù)下的測(cè)量泵電流IP2值有很好的線性關(guān)系。但是,在不同O2體積分?jǐn)?shù)下隨著NO體積分?jǐn)?shù)的增大,IP2呈開叉趨勢(shì),各O2體積分?jǐn)?shù)下IP2隨NO體積分?jǐn)?shù)變化的線性擬合曲線斜率呈增長趨勢(shì),從0 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的0.001 18增大到21 % O2體積分?jǐn)?shù)時(shí)的0.001 49。由此可知,隨著外界O2體積分?jǐn)?shù)增大,IP2受到O2體積分?jǐn)?shù)的干擾并且差異增大。

        圖6 不同O2體積分?jǐn)?shù)下IP2隨NO體積分?jǐn)?shù)值線性擬合曲線

        3.3 泵電流與NOx體積分?jǐn)?shù)擬合中氧氣干擾補(bǔ)償方法

        通過以上分析可以看出,若直接采用IP2線性擬合NOx體積分?jǐn)?shù),會(huì)造成極大偏差。初步分析原因:隨著O2體積分?jǐn)?shù)增大,設(shè)想通過改變VP0和IP0將更多的O2泵出腔外,保持第一空腔內(nèi)O2體積分?jǐn)?shù)維持在10-6級(jí),減少對(duì)第二空腔中NOx體積分?jǐn)?shù)測(cè)量的干擾。但是,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,即使10-6級(jí)O2體積分?jǐn)?shù)的波動(dòng)也會(huì)對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)的擬合帶來顯著的影響,因此,考慮對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)的測(cè)量公式中添加O2體積分?jǐn)?shù)的補(bǔ)償,具體思路如下:

        方式1 經(jīng)典測(cè)量中僅僅采用IP2來線性擬合NOx體積分?jǐn)?shù)的算法公式如下

        φNOx=a×IP2+b

        (1)

        式中φNOx為NOx體積分?jǐn)?shù)值,IP2為測(cè)量泵電流,a為斜率,b為截距,視a、b為常數(shù)。但是考慮到實(shí)際測(cè)量中O2體積分?jǐn)?shù)波動(dòng)會(huì)對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)值有干擾,因此認(rèn)為系數(shù)a或者a、b是與O2體積分?jǐn)?shù)有關(guān)的變量,引入與O2體積分?jǐn)?shù)有關(guān)的IP0對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償

        a=c×IP0+d

        (2)

        b=e×IP0+f

        (3)

        式中c、d、e、f為常數(shù)。

        方式2 將式(2)代入式(1)可得僅斜率系數(shù)a經(jīng)IP0補(bǔ)償?shù)臄M合公式如下

        φNOx=c×IP0×IP2+d×IP2+b

        (4)

        方式3 將式(2)、式(3)代入式(1)中可得斜率系數(shù)a、截距系數(shù)b均經(jīng)IP0補(bǔ)償?shù)臄M合公式如下

        φNOx=c×IP0×IP2+d×IP2+e×IP0+f

        (5)

        式(4)、式(5)均為推導(dǎo)得到補(bǔ)償O2干擾的擬合公式,其區(qū)別在于:前者僅在斜率上采用IP0對(duì)經(jīng)典測(cè)量式(1)進(jìn)行補(bǔ)償,后者在斜率和截距上均采用了IP0對(duì)經(jīng)典測(cè)量式(1)進(jìn)行補(bǔ)償。

        通過實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)代入計(jì)算可以分別得到式(1)具體系數(shù)a、b,式(4)具體系數(shù)b、c、d與式(5)具體系數(shù)c、d、e、f的數(shù)值和NOx體積分?jǐn)?shù)值的擬合公式

        φNOx=-387.336×IP2+774.825

        (6)

        φNOx=-0.051×IP0×IP2+840.119×IP2-390.413

        (7)

        φNOx=-0.051×IP0×IP2+840.119×IP2+

        0.035×IP0-432.420

        (8)

        再將實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)過式(6)~式(8)處理,分別得到式(1)、式(4)、式(5)處理后實(shí)際NO體積分?jǐn)?shù)與擬合NO體積分?jǐn)?shù)的曲線如圖7(a)~(c)所示。

        對(duì)比圖7可以看出,在圖7(a)中擬合后的NOx體積分?jǐn)?shù)值隨著O2體積分?jǐn)?shù)的升高呈開叉趨勢(shì),其曲線斜率值隨著O2體積分?jǐn)?shù)的升高而不斷增大,最大、最小值相差了0.244。在圖7(b)中其斜率值穩(wěn)定在1.009附近,最大、最小值僅相差0.021,波動(dòng)較小。但缺點(diǎn)也較明顯,由于截距b為常數(shù),其對(duì)截距的處理使得NOx體積分?jǐn)?shù)曲線在縱坐標(biāo)方向上不夠收攏,表現(xiàn)為擬合后的NOx體積分?jǐn)?shù)值較遠(yuǎn)地偏離實(shí)際值,誤差較大。在圖7(c)中NOx體積分?jǐn)?shù)值與實(shí)際NOx體積分?jǐn)?shù)值更為接近,且受O2體積分?jǐn)?shù)的干擾更小。圖8(a)~(d)顯示了在1 %,8%,13%,21% O2體積分?jǐn)?shù)下方式1~3擬合后NOx體積分?jǐn)?shù)的誤差數(shù)據(jù),可以看出:方式3擬合出NOx體積分?jǐn)?shù)的誤差更接近零點(diǎn)基線,對(duì)NOx體積分?jǐn)?shù)的測(cè)量更加精準(zhǔn)。

        總之,對(duì)比圖7、圖8可以得出結(jié)論,經(jīng)方式3處理的NOx體積分?jǐn)?shù)值擬合結(jié)果可以使NOx體積分?jǐn)?shù)值呈現(xiàn)更高的對(duì)應(yīng)關(guān)系,對(duì)NOx的測(cè)量更加精準(zhǔn),抗外界O2干擾的能力更強(qiáng),在一定程度上明顯提高了NOx傳感器的測(cè)量精度。

        圖7 三種方式處理后實(shí)際與擬合NO體積分?jǐn)?shù)曲線

        圖8 1 %,8 %,13 %,21 % O2體積分?jǐn)?shù)下方式1-3擬合NOx體積分?jǐn)?shù)誤差比較

        4 結(jié) 論

        本文提出了一種NOx傳感器O2干擾的補(bǔ)償方法,并推導(dǎo)了計(jì)算公式。通過實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)代入發(fā)現(xiàn):該補(bǔ)償方法進(jìn)一步減小了外界O2體積分?jǐn)?shù)變化對(duì)最終測(cè)出的NOx體積分?jǐn)?shù)值產(chǎn)生的干擾,在測(cè)量過程中,O2干擾始終存在的前提下,使測(cè)量泵電流與NOx體積分?jǐn)?shù)值呈現(xiàn)出更好的對(duì)應(yīng)關(guān)系,顯著提高了NOx傳感器的測(cè)量精度,對(duì)NOx傳感器的研究、研發(fā)及生產(chǎn)過程均有重要的指導(dǎo)意義,有望應(yīng)用于NOx傳感器控制單元的實(shí)際控制中。

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