本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸氧化鋯防靜電陶瓷及其制備方法和應(yīng)用，該制備方法包括以下步驟：將八水氧氯化鋯、釔鹽、鈰鹽、乙醇、雙氧水和分散劑混合，經(jīng)噴霧造粒，煅燒，得到鈰釔穩(wěn)定氧化鋯；將鈰釔穩(wěn)定氧化鋯、氧化鋅、鋁溶膠、硅溶膠和分散劑混合，經(jīng)噴霧造粒，煅燒，得到防靜電陶瓷粉末；將防靜電陶瓷粉末成型后進(jìn)行埋粉燒結(jié)，得到大尺寸氧化鋯防靜電陶瓷。本發(fā)明的制備方法可以有效防止燒結(jié)缺陷的產(chǎn)生，同時(shí)有利于制備大尺寸氧化鋯防靜電陶瓷，其制得的大尺寸氧化鋯防靜電陶瓷，具有更高的致密度、更好的力學(xué)性能以及更低的表面電阻率，適用于制備性能優(yōu)異的芯片陶瓷吸盤(pán)以及陶瓷手臂。

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