張艷文 郭剛 肖舒顏 殷倩 楊新宇

(中國原子能科學(xué)研究院核物理研究所,國防科技工業(yè)抗輻照應(yīng)用技術(shù)創(chuàng)新中心,北京 102413)

質(zhì)子是太空輻射環(huán)境中的主要粒子成分,隨著半導(dǎo)體工藝向著小尺寸高集成度方向不斷發(fā)展,質(zhì)子單粒子效應(yīng)不容忽視.通過加速器模擬空間輻射進(jìn)行地面實驗是評價質(zhì)子單粒子效應(yīng)最重要的手段,質(zhì)子注量率的準(zhǔn)確測量是器件考核評估過程中最關(guān)鍵的環(huán)節(jié).本文基于原子能院100MeV 質(zhì)子單粒子效應(yīng)輻照裝置,突破了寬量程中能質(zhì)子注量率測量技術(shù),開發(fā)了法拉第筒、塑料閃爍體探測器和二次電子發(fā)射監(jiān)督器等探測工具,可以對束流進(jìn)行寬量程范圍準(zhǔn)確測量,解決了質(zhì)子注量率在106—107 p·cm—2·s—1 范圍內(nèi)難以測量的關(guān)鍵難題,并進(jìn)行了注量率不確定度的分析研究,同一注量率下法拉第筒和塑料閃爍體探測器的實驗測量誤差與理論分析誤差相符.對中能質(zhì)子注量率測量達(dá)到了國際同類裝置水平.該研究建立的中能質(zhì)子注量率測量系統(tǒng)和不確定度分析方法,為準(zhǔn)確評估元器件輻射效應(yīng)奠定了基礎(chǔ).

1 引言

質(zhì)子是太空輻射環(huán)境中的主要粒子成分,銀河宇宙射線中的質(zhì)子含量為85%,能量分布范圍從KeV 到GeV;地球俘獲帶和太陽宇宙射線中主要成分也是質(zhì)子[1].現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝向著小尺寸、高頻率、高集成度等方向不斷發(fā)展,導(dǎo)致器件和芯片敏感單元的體積和間距不斷減小,發(fā)生單粒子效應(yīng)的臨界電荷越來降低[2],中高能質(zhì)子對器件產(chǎn)生的輻射效應(yīng)危害不容忽視.空間質(zhì)子引起器件單粒子效應(yīng)的重要性日漸顯著,為確保航空航天器件和芯片在軌安全和正常運(yùn)行就要對其進(jìn)行加速器質(zhì)子地面模擬輻照試驗[3-5].

國外有關(guān)中高能質(zhì)子加速器的建設(shè)及相應(yīng)的束流測量研究起步較早,例如印第安大學(xué)回旋加速器設(shè)施(IUCF)可以提供高達(dá)205 MeV 的質(zhì)子束,并專門設(shè)有兩個質(zhì)子輻照測試束線和終端RERS1 和RERS2[6],其束流測量工具包括法拉第筒、透射電離室、劑量膠片等.瑞士保羅謝勒研究所(PSI)和歐洲航天局(ESA)共同建成的質(zhì)子輻照專用裝置(PIF)廣泛應(yīng)用于空間輻照以及其他學(xué)科的研究中[7],其束流測量工具包括法拉第筒、二次電子發(fā)射監(jiān)督器、劑量膠片等.加拿大TRIUMF 質(zhì)子加速器能夠提供65—500 MeV 能量范圍的質(zhì)子束流,并建設(shè)有相應(yīng)的BL1B 和BL2C兩條質(zhì)子輻照束線[8],其束流測量工具包括法拉第筒、二次電子發(fā)射監(jiān)督器、透射電離室、劑量膠片、硅二極管探測器等.國外開展質(zhì)子束流測量的工具較為全面,能滿足器件測試需求,由于不同探測器具有不同的響應(yīng)范圍,在106—107p·cm—2·s—1注量率區(qū)間進(jìn)行交叉檢驗是關(guān)鍵難題.

國內(nèi)目前只有少數(shù)質(zhì)子加速器能夠正常出束運(yùn)行[9-11],中國原子能科學(xué)研究院100 MeV 緊湊型強(qiáng)流質(zhì)子回旋加速器是國內(nèi)最早出束的中能質(zhì)子加速器,基于該加速器進(jìn)行了前期的束流線設(shè)計[12]及降能方式的研究[13].如何準(zhǔn)確測量質(zhì)子注量率及進(jìn)行相應(yīng)測量系統(tǒng)不確定度的分析是器件輻射效應(yīng)測量中最關(guān)鍵的環(huán)節(jié),國內(nèi)無可借鑒的成熟的中能質(zhì)子束流診斷經(jīng)驗,需根據(jù)原子能院單粒子束流特點(diǎn)加工定制,滿足寬量程中能質(zhì)子束流準(zhǔn)確測量的需求.

本文依托100 MeV 質(zhì)子回旋加速器單粒子效應(yīng)輻照裝置,建立了中能質(zhì)子注量率測量系統(tǒng),進(jìn)行了中能質(zhì)子注量率準(zhǔn)確測量研究工作,并可以再在106—107p·cm—2·s—1注量率范圍區(qū)間進(jìn)行不同探測器之間的交叉檢驗,建立了不確定度分析方法,為后續(xù)元器件輻射效應(yīng)準(zhǔn)確評估奠定了基礎(chǔ).

2 中能質(zhì)子探測器測量原理

質(zhì)子注量率測量工具通常包括兩類[14],一類是絕對測量工具,如法拉第筒、閃爍體探測器、Au-Si 面壘探測器等,其特點(diǎn)是全部或部分阻止入射質(zhì)子,但不能監(jiān)測器件輻照過程中的束流變化情況;另一類是相對測量工具,如二次電子發(fā)射監(jiān)督器、透射式電離室等,該類探測器整體厚度較薄,質(zhì)子束流穿過探測器后能量損失和角度崎離可以忽略,經(jīng)過刻度后可以在線實時監(jiān)測束流的變化情況.本文建立的中能質(zhì)子束流測量探測器主要包括法拉第筒、塑料閃爍體探測器和二次電子發(fā)射監(jiān)督器.以下簡要介紹3 種探測器的原理.

法拉第筒測量質(zhì)子束流注量率的原理為直接阻擋入射的質(zhì)子束流,由后接的皮安表測量電流強(qiáng)度,質(zhì)子帶一個單位正電荷,進(jìn)一步可以計算出質(zhì)子束流注量率.法拉第筒完全收集所測的質(zhì)子束流,常作為絕對測量工具,以校準(zhǔn)其他測量工具.質(zhì)子束流入射法拉第筒時還會產(chǎn)生二次電子,必須要收集這些電子才能保證電流強(qiáng)度測量的準(zhǔn)確性.一般采取的做法是在法拉第筒入口位置設(shè)置負(fù)電壓環(huán)形成電場,抑制內(nèi)部二次電子逸出及外部二次電子進(jìn)入.普通法拉第筒可測的最小電流在nA 量級,該研究進(jìn)一步降低了法拉第筒本底噪聲,擴(kuò)展其測量下限.

塑料閃爍體探測器主要由閃爍體、光導(dǎo)、光電倍增管、分壓電路和后端電子學(xué)測量設(shè)備等組成.工作原理為:質(zhì)子束流入射閃爍體后在其中損失能量,從而使閃爍體原子或分子獲得能量被電離或激發(fā);受激原子或分子在退激時會發(fā)射熒光光子,并被收集到光電倍增管的光陰極上打出光電子;光電子在光電倍增管中逐級倍增,最后電子流在陽極負(fù)載上形成電信號,并被后端電子學(xué)設(shè)備記錄.一般閃爍體探測器面積較大,需要進(jìn)一步減小閃爍體接收面積提高其探測上限.本文使用具有短發(fā)光衰減時間的小體積塑料閃爍體來達(dá)到提高其探測上限的目的.

二次電子發(fā)射監(jiān)督器具有很好的線性響應(yīng)范圍,結(jié)構(gòu)為由多頁鋁片或銅片組合,在奇數(shù)金屬片上加偏壓,在偶數(shù)金屬片上連接皮安表.其測量原理為當(dāng)質(zhì)子束流穿過每層鋁箔時,都會在其上損失能量產(chǎn)生并發(fā)射出次級電子.信號層上發(fā)射的次級電子在正偏壓的電場力作用下移向偏壓層而形成反向電流信號,由連接的皮安表進(jìn)行測量.電流信號的大小與入射質(zhì)子的能量、束流的強(qiáng)度和SEM的信號層數(shù)有關(guān).質(zhì)子能量越高,損失在鋁箔上的能量越少,次級電子發(fā)射系數(shù)也就越小.在進(jìn)行SEM 結(jié)構(gòu)設(shè)計時,最主要的是根據(jù)加速器質(zhì)子束流能量選擇合適的鋁箔厚度和層數(shù).

3 探測器設(shè)計及模擬計算

3.1 法拉第筒的設(shè)計

1)法拉第筒材料對入射粒子的阻止本領(lǐng)計算

在常用的材料中,需考慮質(zhì)子入射后的阻止本領(lǐng)和材料導(dǎo)電性等.圖1 所示為不同能量質(zhì)子在碳、鋁、鐵和銅中的射程分布,通過比較選擇了銅作為法拉第筒材料,入口準(zhǔn)直器以及吸收體厚度取決于質(zhì)子在銅中的射程,根據(jù)能量與射程的關(guān)系選取.對于30—90 MeV 的質(zhì)子,選取的銅厚度為11 mm,能夠完全阻止入射質(zhì)子.

圖1 SRIM 計算中能質(zhì)子在不同材料中的射程Fig.1.Range of 30—90 MeV protons in C,Al,Fe and Cu calculated by SRIM.

2)法拉第筒對二次電子收集

根據(jù)非彈性碰撞原理,30—90 MeV 能量范圍的質(zhì)子產(chǎn)生的次級電子最大能量約為0.2 MeV.在Atomic Data[15]中給出了各種能量的電子在不同元素組成的物質(zhì)中的射程.0.2 MeV 電子束在銅中的射程約為0.06 mm,因此將銅厚度設(shè)計成10 mm完全能夠阻止質(zhì)子及其次級電子.

法拉第筒的開口面積及內(nèi)筒長度與背散射二次電子抑制方法有關(guān),若長度較短,可能導(dǎo)致二次電子逸出,內(nèi)筒直徑?jīng)]有特殊要求,法拉第筒開口直徑與深度按照二次電子溢出的比例選取[16].假設(shè)內(nèi)桶半徑為R,內(nèi)筒深度為L,二次電子溢出筒外的比例為α.圖2 所示為不同徑深比情況下二次電子的溢出情況,徑深比在0.4 以下,二次電子的溢出比例均小于1%;徑深比超過0.5 后,二次電子的溢出比例開始明顯增加.最終選擇內(nèi)筒長60 mm,半徑10 mm.經(jīng)計算二次電子溢出效率為0.13%,可以忽略不計.入口位置接300 V 負(fù)高壓環(huán),從而形成屏蔽電場以保證外部電子無法進(jìn)入筒內(nèi)及進(jìn)一步抑制內(nèi)部二次電子逃逸.

圖2 不同徑深比情況下二次電子的溢出Fig.2.Overflow of secondary electrons with different diameter-depth ratios.

整個探測器放置于真空環(huán)境,從而消除質(zhì)子在空氣中電離產(chǎn)生的電子空穴對對測量結(jié)果的影響,法拉第筒后接Keithley 公司的6517A 靜電計,電流測量范圍為10—17—10—2A,兩者之間通過同軸低噪聲電纜連接.

3.2 塑料閃爍體探測器的設(shè)計

考慮到發(fā)光和衰減時間,選擇閃爍體材料是塑料閃爍體,其衰減時間較短(1—3 ns),為測量高注量率的質(zhì)子束提供了可能,對于閃爍體而言,其中重要的問題是光的收集效率.閃爍體表面均進(jìn)行拋光處理,閃爍體下表面和光電倍增管通過硅油耦合,該閃爍體與光電倍增管接收面積相當(dāng),選取快時間分辨光電倍增管(濱松H3164-10)作為光電轉(zhuǎn)換器件.塑料閃爍體測量到的信號首先經(jīng)過八路恒定分?jǐn)?shù)甄別器CF8000,然后經(jīng)過轉(zhuǎn)換的信號接入到定標(biāo)器.為了增加閃爍體產(chǎn)生的熒光同時保證較小的體積,對不同能量的質(zhì)子在塑料閃爍體中的射程和能量沉積進(jìn)行了計算,結(jié)果如圖3 所示.30—90 MeV 的質(zhì)子在塑料閃爍體中的射程為10—70 mm.分別計算了閃爍體的厚度為1,5,10,20,40 和80 mm 時不同能量的質(zhì)子穿過該厚度的閃爍體的能量沉積.塑料閃爍體的折射率為1.6,內(nèi)量子效率為10%,外量子效率為2%,塑料閃爍體產(chǎn)生一對電子空穴對所需能量為10.38 eV,假設(shè)閃爍體產(chǎn)生的光子100%被光電倍增管收集,光電倍增管(濱松H3164-10)的量子效率為20%,通過以上數(shù)據(jù)可計算得到不同能量質(zhì)子入射到閃爍體被探測到所需沉積的最小能量為2.6 keV.最終選取塑料閃爍體的尺寸為5 mm×5 mm×5 mm,30—90 MeV的質(zhì)子能夠完全穿透該尺寸的閃爍體,較小的入射面積可以測量較高的質(zhì)子注量率,同時,30—90 MeV的質(zhì)子穿過該厚度的閃爍體能夠沉積足夠的能量,不同能量的入射質(zhì)子產(chǎn)生的電子數(shù)足夠多,保證該粒子能夠被探測到.

圖3 30—90 MeV 的質(zhì)子在塑料閃爍體中的射程分布及能量沉積Fig.3.Range distribution and energy deposition of protons from 30 MeV to 90 MeV in plastic scintillators.

3.3 二次電子發(fā)射監(jiān)督器設(shè)計

在進(jìn)行二次電子發(fā)射監(jiān)督器結(jié)構(gòu)設(shè)計時,最主要的是根據(jù)加速器質(zhì)子束流能量選擇合適的鋁箔厚度和層數(shù).次級電子的發(fā)射是一種發(fā)生在金屬表面(nm 量級)的效應(yīng),為了減小束流的能量損失,制作SEM 的鋁箔通常都很薄,本文選取厚度為1 μm.制作的二次電子發(fā)射監(jiān)督器層數(shù)為7 層,該厚度的鋁箔固定在中間開孔的塑料支架片上,通過絕緣的塑料螺紋柱相互隔開.1,3,5,7 層加正偏壓,2,4,6 層連接 在一起 作信號收集.30 和90 MeV 質(zhì)子經(jīng)過該二次電子發(fā)射監(jiān)督器后能量損失分別為0.03和0.01 MeV,影響基本可以忽略,質(zhì)子能量崎離和角度崎離均可忽略.

4 注量率測量實驗結(jié)果

實驗在中國原子能科學(xué)研究院100 MeV 質(zhì)子回旋加速器上進(jìn)行.整個束流測量系統(tǒng)包括法拉第筒、塑料閃爍體探測器和二次電子發(fā)射監(jiān)督器,結(jié)構(gòu)示意圖及布局如圖4 所示.二次電子發(fā)射監(jiān)督器放置于束流上游,可對束流進(jìn)行實時監(jiān)測,法拉第筒、塑料閃爍體探測器和待輻照器件放置束流下游且置于同一平面內(nèi),首先將法拉第筒或塑料閃爍體探測器置于束流中心并對二次電子發(fā)射監(jiān)督器進(jìn)行刻度,然后將被輻照器件置于束流中心,通過在一定時間內(nèi)二次電子發(fā)射監(jiān)督器累計計數(shù)可以推算出器件處質(zhì)子總注量.

圖4 法拉第筒、塑料閃爍體探測器和二次電子發(fā)射監(jiān)督器束流測量系統(tǒng)示意圖Fig.4.Schematic diagram of beam current measurement system for faraday cup,plastic scintillator detector and secondary electron emission monitor.

法拉第筒偏壓選取—300 V,通過測試,其本底電流僅為10—13A 量級,完全滿足pA 量級質(zhì)子束流的測量;可測最大電流達(dá)mA 量級.單粒子效應(yīng)測試所需的部分典型注量率監(jiān)測曲線如圖5 所示,在一段監(jiān)測時間內(nèi),束流信號穩(wěn)定.塑料閃爍體探測器的飽和偏壓測試結(jié)果如圖6 所示,飽和偏置電壓區(qū)間為600—900 V,選取800 V 作為測量時的偏置電壓,可測量質(zhì)子注量率范圍在102—2×107p·cm—2·s—1.二次電子發(fā)射監(jiān)督器的飽和偏壓為+300 V.

圖5 法拉第筒對不同注量率質(zhì)子束流測量Fig.5.Faraday cup measurement of proton beams with different flux.

圖6 塑料閃爍體探測器的飽和偏壓測試結(jié)果Fig.6.Saturation bias test results of plastic scintillator detector.

法拉第筒對注量率的探測下限為2×106p·cm—2·s—1,塑料閃爍體探測器對注量率的探測上限為1.2×107p·cm—2·s—1,兩種探測器相結(jié)合解決了寬量程質(zhì)子注量率探測的問題,選取兩種探測器測量范圍交叉的區(qū)間106—107p·cm—2·s—1范圍進(jìn)行相互交叉檢驗,結(jié)果如圖7 所示.法拉第筒與塑料閃爍體探測器相互檢驗結(jié)果表明,在30—90 MeV 能量范圍內(nèi),注量率在106—107p·cm—2·s—1之間二者測量誤差在10%以內(nèi).分析.1)測量方法,包括法拉第筒收集效率(收集效率+逸出率=1)的計算,該誤差主要由設(shè)計方法決定;以及注量率的計算方法(注量率=電流/收集面積),該誤差由機(jī)械加工精度決定.2)測量儀器設(shè)備,主要包括6517A 等電子學(xué)等插件,該誤差由儀器本身的精度所決定.3)多次測量結(jié)果重復(fù)性,包括加速器束流輸出不穩(wěn)定帶來的誤差,以及多次測量結(jié)果的隨機(jī)性變化,該誤差由統(tǒng)計方法給出.

圖7 相同注量率下法拉第筒與塑料閃爍體探測器測量結(jié)果比較Fig.7.Comparison of measurement results between faraday cup and plastic scintillator detector at the same flux.

通過直接改變加速器流強(qiáng),在單粒子效應(yīng)常用的質(zhì)子束流注量率106—108p·cm-2·s—1范圍內(nèi),測量了不同注量率下的二次電子發(fā)射監(jiān)督器的電流值.結(jié)果如圖8 所示,橫坐標(biāo)為質(zhì)子注量率,縱坐標(biāo)為相應(yīng)流強(qiáng)下SEM 電流值.點(diǎn)為實驗數(shù)據(jù),實線為其線性擬合.注量率與二次電子發(fā)射監(jiān)督器電流實驗數(shù)據(jù)線性關(guān)系符合得很好.因此利用法拉第筒對二次電子發(fā)射監(jiān)督器進(jìn)行線性刻度后,便可使用SEM 對質(zhì)子束流注量率進(jìn)行實時監(jiān)測.

圖8 不同束流強(qiáng)度下二次電子發(fā)射監(jiān)督器與法拉第筒測量值比例關(guān)系Fig.8.Scale ratio of secondary electron emission monitors and Faraday cup measurements at different beam intensities.

5 注量率不確定度分析及討論

5.1 注量率測量不確定度來源分析

注量率測量的不確定度主要來自于測量方法、測量儀器設(shè)備和多次測量結(jié)果重復(fù)性3 個方面.以法拉第筒為例進(jìn)行中能質(zhì)子注量率不確定度來源

5.2 注量率測量不確定度模型建立

設(shè)法拉第筒所在位置處注量率為j,法拉第筒收集電流為I,一個電子所帶電量為e,FC 收集面積A,開口直徑d,注量率的表示為

其中,電流I與直徑d都是直接測量量,二者彼此獨(dú)立,設(shè)電流和直徑的不確定度分別為μ(I)和μ(d),注量率合成不確定度為

通過(2)式即可計算得出注量率合成不確定度.

5.3 注量率測量不確定度分量計算

(1)法拉第筒直徑測量的不確定度μ(d)計算

法拉第筒開口直徑為d,采用機(jī)械加工,使用游標(biāo)卡尺多次重復(fù)測量,最終得到平均值.

1)游標(biāo)卡尺的測量誤差為±0.02 mm,并經(jīng)過檢定合格.假設(shè)測量值在允許誤差極限范圍內(nèi)的概率分布為均勻分布,游標(biāo)卡尺儀器本身的標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(r)為

2)游標(biāo)卡尺多次測量之間為等精度的獨(dú)立測量,其測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(c)用貝塞爾法進(jìn)行計算為

其中測量總次數(shù)n=10,n次測量平均值t=20.017 mm,xi為第i次測量的直徑值.經(jīng)計算μ(c)=0.0045 mm,法拉第筒直徑測量的不確定度μ(d)表達(dá)式為

將μ(r)和μ(c)值代入(5)式得到μ(d)=0.0124 mm.

(2)電流不確定度μ(I)計算

電流不確定度μ(I)的影響因素包括法拉第筒標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(FC)、靜電計測量模擬輸出標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(k)以及多次重復(fù)測量不確定度μ(i),μ(I)表達(dá)式為

1)經(jīng)過理論計算,法拉第筒二次電子溢出率為0.13%,其置信概率為95%時的相對標(biāo)準(zhǔn)不確定度為μ(FC)=0.13%.

2)靜電計測量模擬輸出誤差約為0.1%,其測量值的相對可能半?yún)^(qū)間寬度為0.1%,假設(shè)其服從均勻分布,則其輸出相對標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(k)=

3)束流多次重復(fù)測量不確定度,多次束流流強(qiáng)測量結(jié)果為獨(dú)立測量,可以采用極差法進(jìn)行不確定度計算.

其中電 流測量 值imax=11.6 pA,imin=10.6 pA 分別為6 次測量的極大和極小值,6 次測量得到電流平均值為11.05 pA,換算成注量率為2.12×107p·cm—2·s—1,dn為查表對應(yīng)的參數(shù),d6=2.53.多次束流強(qiáng)度測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(i)=0.40 pA,可以得出FC 標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(FC)=0.014 pA,靜電計測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(k)=0.0066 pA,電流測量不確定度μ(I)=0.40 pA.

5.4 注量率j 的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度及最終不確定度計算

將注量率各分量測量不確定度數(shù)值代入(2)式可得到注量率j的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度μ(j)=7.70×105p·cm—2·s—1.按照正態(tài)分布包含因子為2,置信概率為95%,注量率測量的最終不確定度為U(j)=1.54×106p·cm—2·s—1.本次測量評定注量率表示為j=(2.12×107±1.54×106)p·cm—2·s—1.相對最終不確定度U(j)=1.54×106/(2.12×107)=7.26%.同理,經(jīng)以上建立的評定方法計算,得到塑料閃爍體探測器相對最終不確定度U(j)=1.64%.法拉第筒和塑料閃爍體探測器相對最終不確定度數(shù)值貢獻(xiàn)最大的來源為多次測量注量率得到的結(jié)果之間的差別,相對而言,排除束流本身波動的影響,塑料閃爍體探測器每次測量值更穩(wěn)定.法拉第筒和塑料閃爍體探測器兩種測量工具的最終測量不確定度之和為8.9%,與兩者交叉測量檢驗實驗數(shù)據(jù)的誤差相符.

與國際同類束流注量率測量裝置相比較[17-21],本文通過合理設(shè)計探測器,覆蓋了寬量程的中能質(zhì)子束流注量率測量范圍,中能質(zhì)子注量率的測量范圍和誤差測量達(dá)到了國際同等水平,

6 結(jié)論

研制了基于法拉第筒、塑料閃爍體探測器和二次電子發(fā)射監(jiān)督器的注量率測量系統(tǒng),實現(xiàn)了寬量程、弱束流質(zhì)子注量率準(zhǔn)確測量.開發(fā)了用于高注量率質(zhì)子測量的法拉第筒和低注量率質(zhì)子測量的塑料閃爍體探測器兩種不同的測量方法,突破了注量率在106—107p·cm—2·s—1之間兩種探測器測量及交叉檢驗,法拉第筒和塑料閃爍體探測器測量誤差在10%以內(nèi),填補(bǔ)了該范圍注量率測量的空白.分析得出法拉第筒注量率測量相對最終不確定度為7.26%,塑料閃爍體探測器注量率測量相對最終不確定度為1.64%,對中能質(zhì)子注量率的測量范圍和誤差測量達(dá)到了國際同等水平,滿足質(zhì)子注量率測量要求.本研究對我國后續(xù)中高能質(zhì)子加速器束流測量研究具有一定的參考和指導(dǎo)意義.