王 秀 孫蒙崖 王學(xué)斌 王淑梅 卞輝洋 吳偉兵 戴紅旗

（南京林業(yè)大學(xué)江蘇省制漿造紙科學(xué)與技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，江蘇南京，210037）

現(xiàn)代化電子電器設(shè)備不斷朝著微型化、集成化、大功率化的方向快速發(fā)展[1-3]，對設(shè)備內(nèi)部的散熱性能提出了更高的要求。在設(shè)備工作過程中，如果熱量不能及時傳遞出去，就會在設(shè)備內(nèi)積累，導(dǎo)致設(shè)備發(fā)熱，這將極大地影響運(yùn)行質(zhì)量，危及電子電器設(shè)備的使用壽命和工作可靠性，嚴(yán)重時甚至引起爆炸等危險事故，影響人們的生產(chǎn)生活安全[4-6]。及時輸出設(shè)備內(nèi)部熱量，降低器件內(nèi)的熱量積累對電子電器行業(yè)至關(guān)重要。然而，合成高分子材料的導(dǎo)熱率通常很低，在室溫下僅有0.2～0.5 W/（m·K）[7-8]，且聚合物本身也存在易老化、難以降解、熱穩(wěn)定性差等缺點(diǎn)，因此，以綠色環(huán)保的高導(dǎo)熱絕緣材料取代合成高分子材料是電子電器設(shè)備行業(yè)的必然趨勢。植物纖維來源廣泛，熱穩(wěn)定性和電絕緣性能優(yōu)異，經(jīng)過化學(xué)、物理或化學(xué)和物理相結(jié)合的手段處理植物纖維得到的納米纖維素尺寸小、長徑比大，制備的膜材料柔性好、強(qiáng)度高，是制備綠色可降解復(fù)合材料的理想原料[9-10]。然而，纖維的導(dǎo)熱性差，無法作為導(dǎo)熱材料直接使用。六方氮化硼（h-BN）近年來憑借其優(yōu)異的導(dǎo)熱性能和電絕緣性能成為了研究的熱點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用制備復(fù)合材料[11-13]。因此，采用一定的方法將h-BN和納米纖維復(fù)合可制備導(dǎo)熱絕緣材料。

h-BN作為一種非金屬類導(dǎo)熱填料，其導(dǎo)熱機(jī)理依靠內(nèi)部“聲子”的傳遞，通常，“聲子”的傳遞效率主要取決于導(dǎo)熱填料的接觸面積和填料的分散狀態(tài)[14]，填料間接觸面積越大、填料分散越均勻，復(fù)合材料的導(dǎo)熱系數(shù)越高，導(dǎo)熱性能更好。目前，制備復(fù)合材料的方法有很多，如共混法、抽濾法、冷凍干燥法等[15-17]，其中，冷凍干燥法被證實(shí)可增大填料間的接觸面積，有效構(gòu)建三維的導(dǎo)熱網(wǎng)絡(luò)通道，提高復(fù)合材料的導(dǎo)熱系數(shù)。然而，填料與高分子材料間的比例對復(fù)合材料孔結(jié)構(gòu)和導(dǎo)熱通道構(gòu)建影響的研究還甚少。

本研究以2,2,6,6-四甲基哌啶-1-氧自由基（TEM?PO）氧化納米纖維素（TOCNF）和六方氮化硼（h-BN）為原料，設(shè)計、制備了具有不同孔結(jié)構(gòu)的h-BN/TOC?NF氣凝膠，系統(tǒng)研究了h-BN與TOCNF固含量比對h-BN/TOCNF氣凝膠孔結(jié)構(gòu)和導(dǎo)熱通道的影響，后復(fù)合TOCNF，制備了h-BN/TOCNF復(fù)合膜。并對復(fù)合膜的熱穩(wěn)定性、力學(xué)性能、絕緣性能和導(dǎo)熱性能進(jìn)行了表征和分析，以期為高效電子電氣設(shè)備導(dǎo)熱絕緣隔膜材料的制備和應(yīng)用提供理論指導(dǎo)和應(yīng)用價值。

1 實(shí) 驗(yàn)

1.1 實(shí)驗(yàn)原料

打漿度為48°SR的漂白針葉木漿，購自俄羅斯llim公司；六方氮化硼（h-BN），粒徑5μm，購自麥克林試劑公司；2,2,6,6-四甲基哌啶-1-氧自由基（TEMPO）購自常州佳納化工有限公司；溴化鈉（NaBr）、次氯酸鈉（NaClO，有效氯含量12%）、鹽酸溶液（質(zhì)量分?jǐn)?shù)37%）和氫氧化鈉（NaOH）均購自南京化學(xué)試劑有限公司；實(shí)驗(yàn)過程中所用水均為去離子水。

1.2 實(shí)驗(yàn)儀器

馳久85-1型磁力攪拌器，上海梅穎浦儀器儀表制造有限公司；FB-110X型高壓均質(zhì)機(jī)，上海力途設(shè)備有限公司；XO-650型超聲波細(xì)胞破碎儀，南京先歐儀器制造有限公司；LGJ-12A標(biāo)準(zhǔn)型冷凍干機(jī)，北京四環(huán)啟航科技有限公司；電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱，上海森信實(shí)驗(yàn)儀器有限公司；YYG-300型壓光機(jī)，丹東余泰機(jī)械有限公司；原子力顯微鏡（AFM），德國布魯克；Quanta-200型環(huán)境掃描電子顯微鏡（ESEM），美國FEI儀器有限公司；TRAPPEZIUM X型萬能拉力機(jī)，日本島津公司；209F1型熱重分析儀（TG）、204 F1型差示掃描量熱儀（DSC）、LFA467型激光導(dǎo)熱儀，德國耐馳公司；DDM2911 Plus數(shù)字式密度計，美國魯?shù)婪蚬尽?/p>

1.3 實(shí)驗(yàn)方法

1.3.1 TOCNF的制備

取5 g（絕干漿）漂白針葉木漿于三口燒瓶中，加入450 mL去離子水和50 mL NaClO攪拌均勻，隨后，加入0.08 g TEMPO和0.8 g NaBr，在25oC條件下，以250 r/min轉(zhuǎn)速反應(yīng)8 h。反應(yīng)過程中用HCl（體積分?jǐn)?shù)20%）和NaOH（0.5 mol/L）調(diào)節(jié)體系pH值在10.0～10.5之間。反應(yīng)結(jié)束，加入10 mL無水乙醇，隨后用1 mol/L的鹽酸溶液調(diào)節(jié)懸浮液pH值為7。將懸浮液轉(zhuǎn)移至透析袋（MW-CO 12000～14000（D））中透析，直至懸浮液電導(dǎo)率低于5μS/cm。最后，將透析好的TEMPO氧化纖維懸浮液在高壓均質(zhì)機(jī)中進(jìn)行均質(zhì)處理，一級閥壓力為20 MPa，二級閥壓力為60 MPa，高壓循環(huán)10次，得到TEMPO氧化納米纖維素（TOCNF）。

1.3.2 h-BN/TOCNF氣凝膠的制備

h-BN/TOCNF氣凝膠的制備過程如圖1所示。將一定量的h-BN粉末與TOCNF均勻混合，室溫下磁力攪拌10 min，隨后采用超聲波細(xì)胞破碎儀在130 W功率下冰浴超聲2 min，得到均一的h-BN/TOCNF懸浮液。控制h-BN與TOCNF的固含量比為1∶1、2∶1、3∶1、4∶1及5∶1，加入去離子水使體系質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.5%，氣凝膠的定量為40 g/m2。然后，將均一的h-BN/TOCNF懸浮液轉(zhuǎn)移至直徑為55 mm的塑料培養(yǎng)皿中，液氮冷凍后采用冷凍干機(jī)在-70℃、0.1 Pa條件下冷凍干燥72 h，得到h-BN/TOCNF氣凝膠備用。

圖1 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的制備流程圖Fig.1 Schematic diagram of preparation of h-BN/TOCNF composite film

1.3.3 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的制備

h-BN/TOCNF復(fù)合膜的制備流程如圖1所示。將一定量的TOCNF懸浮液添加到制備好的h-BN/TOCNF氣凝膠中，然后放入電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱在30℃條件下干燥5 h取出，繼續(xù)在室溫下干燥12 h。最后，采用壓光機(jī)在2 MPa壓力下對樣品壓光10次，得到h-BN/TOCNF復(fù)合膜備用。h-BN與TOCNF的固含量比為1∶1、2∶1、3∶1、4∶1及5∶1的復(fù)合膜分別命 名 為h-BN/TOCNF1、h-BN/TOCNF2、h-BN/TOC?NF3、h-BN/TOCNF4、h-BN/TOCNF5。

1.4 性能測試與表征

（1）采用AFM對TOCNF的形貌進(jìn)行觀察。將TOCNF的濃度稀釋到萬分之一，滴在云母片上風(fēng)干后測試。

（2）h-BN的形貌、h-BN/TOCNF氣凝膠及其復(fù)合膜的表面及斷面形貌采用ESEM觀察，樣品表面經(jīng)過噴金處理。

（3）h-BN/TOCNF復(fù)合膜的機(jī)械強(qiáng)度采用萬能拉力機(jī)測定，拉伸的速度為5 mm/min，測試前所有樣品在25℃、相對濕度50%條件下處理48 h。

（4）使用TG在N2氛圍下從30℃升溫至800℃分析復(fù)合膜的熱穩(wěn)定性，升溫速率為10℃/min。

（5）使用DSC測定樣品的比熱容（Cp，J/（g·K）），采用激光導(dǎo)熱儀在25℃條件下測定樣品的熱擴(kuò)散系數(shù)（α，mm2/s），采用數(shù)字式密度計測定樣品的密度（ρ，g/cm3）；材料的導(dǎo)熱系數(shù)（K，W/（m·K））由式(1)計算得出。

（6）使用ZC36型高阻計（上海精密科學(xué)儀器有限公司）在25℃、相對濕度50%的條件下測定試樣的體積電阻率。

2 結(jié)果與討論

2.1 TOCNF和h-BN的形貌表征

TOCNF是由TEMPO氧化體系結(jié)合高壓均質(zhì)處理漂白針葉木漿得到的，其AFM圖如圖2(a)所示。由圖2(a)可知，TOCNF的長度為300～1000 nm，直徑為5～7 nm，當(dāng)用紅色激光筆照射時，產(chǎn)生丁達(dá)爾效應(yīng)，如圖2(c)所示。h-BN的ESEM圖如圖2(b)所示，從圖2(b)可以清楚地看到，h-BN的直徑約為5μm，呈規(guī)則的圓片狀，當(dāng)用紅色激光筆照射時，由于其直徑大于100μm，不能產(chǎn)生丁達(dá)爾效應(yīng)（見圖2(c)）。

圖2 (a)TOCNF的AFM圖；(b)h-BN的ESEM圖；(c)h-BN和TOCNF懸浮液及H2O在紅色激光筆照射下的光學(xué)照片F(xiàn)ig.2 (a)AFM image of TOCNF;(b)ESEM image of h-BN;(c)Optical photos of h-BN,TOCNF suspension and H2O illuminated by red laser

2.2 h-BN/TOCNF氣凝膠形貌表征

圖3為h-BN/TOCNF氣凝膠的ESEM圖。由圖3(a)可以看出，當(dāng)h-BN∶TOCNF固含量比為1∶1時，由于TOCNF含量相對較高，容易沉積形成片狀結(jié)構(gòu)，冷凍干燥后，得到片層交織的網(wǎng)絡(luò)狀結(jié)構(gòu)。其中，h-BN以TOCNF網(wǎng)絡(luò)為骨架，自組裝在TOCNF表面，形成導(dǎo)熱通道，如圖3(b)所示。當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為3∶1時（圖3(c)和圖3(d)），h-BN含量上升為TOCNF的3倍，此時，氣凝膠內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)單元以“線型”單元為主，經(jīng)冷凍干燥后，TOCNF互相連接形成線型網(wǎng)絡(luò)狀骨架，h-BN依附在TOCNF骨架上形成導(dǎo)熱通道。而隨著h-BN含量的進(jìn)一步增加，h-BN與TOCNF的固含量比為5∶1時，h-BN不能夠均勻分散在TOCNF懸浮液中，如圖3(e)和圖3(f)所示，導(dǎo)致相互接觸形成h-BN塊，不利于導(dǎo)熱通道的高效構(gòu)建，不利于熱量的傳導(dǎo)。

圖3 h-BN/TOCNF水凝膠ESEM圖Fig.3 ESEM images of h-BN/TOCNF aerogels

由此可知，h-BN與TOCNF的固含量比會影響氣凝膠內(nèi)部的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。當(dāng)h-BN與TOCNF含量相近時，TOCNF骨架以“片狀”形式存在，此時TOCNF對h-BN之間產(chǎn)生的熱阻較大，不利于熱量的傳遞。隨著h-BN比例的增加，TOCNF逐漸由“片狀”向“線型”轉(zhuǎn)化，從而有效降低了TOCNF的熱阻作用，提高了h-BN間的接觸面積，從而達(dá)到增強(qiáng)材料導(dǎo)熱性能的目的。然而，當(dāng)h-BN含量遠(yuǎn)超過TOCNF時，h-BN難以在TOCNF懸浮液中均勻分散，降低了h-BN間的接觸面積，導(dǎo)致導(dǎo)熱通道的構(gòu)建效率降低。因此，h-BN/TOCNF氣凝膠內(nèi)部的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)會隨著兩種物質(zhì)比例的變化而變化，一定程度上可以為定向制備具有特定導(dǎo)熱性能的復(fù)合材料提供理論指導(dǎo)。

2.3 h-BN/TOCNF復(fù)合膜形貌表征

h-BN/TOCNF復(fù)合膜的表面和斷面ESEM圖如圖4所示。由圖4(a)～圖4(e)可知，當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為3∶1時，復(fù)合膜表面粗糙度最低，無論h-BN含量降低或增加均會使復(fù)合膜的表面粗糙度增大。圖4(d)和圖4(e)為h-BN與TOCNF固含量比為4∶1和5∶1時復(fù)合膜的表面ESEM圖，可以清楚觀察到片狀的h-BN。從圖4(f)可以清楚觀察到復(fù)合膜斷面的致密結(jié)構(gòu)，復(fù)合膜分為上下兩層，上層主要是TOCNF層，下層主要是h-BN層。將TOCNF添加到h-BN/TOCNF3氣凝膠時，TOCNF可以填充氣凝膠網(wǎng)絡(luò)中的孔隙，不僅能夠提高復(fù)合膜的力學(xué)性能，還能夠降低復(fù)合材料中的孔隙率，減少空氣對材料產(chǎn)生的熱阻，提高復(fù)合材料的導(dǎo)熱性能。

圖4 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的表面和截面ESEM圖Fig.4 Surface and cross-sectional ESEM images of h-BN/TOCNF composite films

2.4 h-BN/TOCNF復(fù)合膜熱穩(wěn)定性

h-BN/TOCNF復(fù)合膜的TG和DTG曲線如圖5所示。由圖5(a)可知，不同h-BN與TOCNF比例的復(fù)合膜初始分解溫度大致相同，約為210℃，高于純TOC?NF膜的初始分解溫度（約187℃）[15]，說明添加h-BN可以提高TOCNF膜的熱穩(wěn)定性，100℃前復(fù)合膜質(zhì)量的降低是由于水分的蒸發(fā)。由圖5(b)可知，在所有的樣品中，都出現(xiàn)了2個最快質(zhì)量損失峰，分別出現(xiàn)在240℃和303℃附近。第一個最快質(zhì)量損失階段（240℃）歸因于TOCNF中羧基的分解，第二個最快質(zhì)量損失階段（303℃）是由于纖維素分子鏈的分解。且從圖5(b)還可以觀察到，h-BN/TOCNF5的分解速率遠(yuǎn)低于h-BN/TOCNF1，說明隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的熱穩(wěn)定性增強(qiáng)。h-BN在N2氛圍下加熱到800℃不分解[18]，具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性能，為提高h(yuǎn)-BN/TOCNF復(fù)合膜熱穩(wěn)定性提供了保障。

圖5 h-BN/TOCNF復(fù)合膜TG和DTG曲線Fig.5 TG and DTG curves of h-BN/TOCNF composite films

2.5 h-BN/TOCNF復(fù)合膜力學(xué)性能

力學(xué)性能是復(fù)合材料應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)生活中一個非常重要的指標(biāo)。圖6為h-BN/TOCNF復(fù)合膜的拉伸性能測定。由圖6(a)可知，h-BN/TOCNF1的強(qiáng)度最好，斷裂伸長率約為13%；隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的柔性變差，斷裂伸長率逐漸變小，h-BN/TOCNF5的斷裂伸長率僅有9.2%，相比于h-BN/TOC?NF1降低了29%。由圖6(b)可知，不同h-BN與TOC?NF固含量比的復(fù)合膜拉伸強(qiáng)度差別不大，其中，h-BN/TOCNF1的拉伸強(qiáng)度最好，為24.8 MPa，h-BN/TOCNF4的拉伸強(qiáng)度最差，為21.6 MPa。簡言之，由于片狀h-BN的存在，會阻礙TOCNF間的氫鍵結(jié)合，從而降低h-BN/TOCNF復(fù)合膜的機(jī)械強(qiáng)度。

圖6 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的應(yīng)力-應(yīng)變曲線和拉伸強(qiáng)度Fig.6 Tensile stress-strain curves and tensile stress of h-BN/TOCNF composite films

2.6 h-BN/TOCNF復(fù)合膜導(dǎo)熱性能

除了熱穩(wěn)定性和力學(xué)性能，導(dǎo)熱性能是評價導(dǎo)熱復(fù)合膜能否應(yīng)用于電子電器設(shè)備熱管理領(lǐng)域非常重要的參數(shù)。表1為h-BN/TOCNF復(fù)合膜的熱擴(kuò)散系數(shù)、比熱容、密度及導(dǎo)熱系數(shù)值。由表1可知，隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的熱擴(kuò)散系數(shù)呈增大趨勢，h-BN/TOCNF1、h-BN/TOCNF3及h-BN/TOCNF5的熱擴(kuò)散系數(shù)分別為0.903、1.123和1.138 mm2/s。此外，不同h-BN/TOCNF復(fù)合膜的比熱容和密度差別不大。

表1 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的熱擴(kuò)散系數(shù)、比熱容、密度及導(dǎo)熱系數(shù)Table 1 Thermal diffusivity,specific heat,density,and thermal conductivity of h-BN/TOCNF composite films

經(jīng)過式（1）計算，得到復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)，如圖7(a)所示。由圖7(a)可知，當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為1∶1時，復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)為1.050 W/（m·K），當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為2∶1時，復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)增加到1.191 W/（m·K），隨著h-BN含量的進(jìn)一步增加，h-BN/TOCNF3復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)增大到1.355 W/（m·K），說明h-BN的增加，導(dǎo)熱通道可高效構(gòu)建，有效提高復(fù)合膜的導(dǎo)熱性能。然而，隨著h-BN含量的進(jìn)一步增加，復(fù)合膜導(dǎo)熱系數(shù)的增加變緩。由圖3 h-BN/TOCNF氣凝膠的形貌分析可知，當(dāng)h-BN與TOC?NF固含量比超過3∶1時，由于TOCNF的占比降低，h-BN占比增高，h-BN無法均勻地分散在TOCNF懸浮液中，導(dǎo)致h-BN沉積形成h-BN塊，導(dǎo)熱通道構(gòu)建效率降低，使得復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)增加緩慢。

根據(jù)之前的研究，已知純TOCNF膜的導(dǎo)熱系數(shù)為0.413 W/（m·K）[17]，計算得到不同h-BN/TOCNF復(fù)合膜導(dǎo)熱系數(shù)相較于純TOCNF膜的增加量，如圖7(b)所示。由圖7(b)可知，當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比低于3∶1時，導(dǎo)熱系數(shù)的增加量增加較大。隨著h-BN含量的進(jìn)一步增加，h-BN/TOCNF復(fù)合膜導(dǎo)熱系數(shù)的增加量變緩，當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為5∶1時，增加量為233%，相比于h-BN/TOCNF3（228%）只提高了5個百分點(diǎn)。由此可知，當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為3∶1時，導(dǎo)熱通道構(gòu)建效率更高，復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)最高。

圖7 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的導(dǎo)熱系數(shù)及其增加量Fig.7 Thermal conductivity and thermal conductivity increasement of h-BN/TOCNF composite films

2.7 h-BN/TOCNF復(fù)合膜絕緣性能

體積電阻率是表征材料絕緣性能好壞的重要參數(shù)，體積電阻率越高，材料的絕緣性能越好。圖8為不同h-BN與TOCNF比例下制備的復(fù)合膜的體積電阻率。由圖8可知，隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的體積電阻率持續(xù)提高，說明絕緣性能變好。據(jù)文獻(xiàn)報道，原紙的體積電阻率約為2.5×1014Ω·cm[19]，當(dāng)h-BN/TOCNF氣凝膠中h-BN與TOCNF固含量比為1∶1時，復(fù)合膜的體積電阻為3.86×1014Ω·cm，比原紙?zhí)岣吡?4.4%。隨著h-BN含量的進(jìn)一步提高，復(fù)合膜的體積電阻率不斷增大，當(dāng)氣凝膠中h-BN與TOCNF固含量比為5∶1時，復(fù)合膜的體積電阻率高達(dá)5.28×1014Ω·cm，說明h-BN對復(fù)合膜絕緣性能的增強(qiáng)有積極作用。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)材料的體積電阻率高于109Ω·cm時，可以滿足作為微型化電子器件絕緣材料的使用要求[5]，因此，本研究制備的導(dǎo)熱絕緣復(fù)合膜在微型化電子器件隔膜領(lǐng)域內(nèi)有巨大的應(yīng)用潛力。

圖8 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的絕緣性能Fig.8 Electrical insulation property of h-BN/TOCNF composite films

3 結(jié) 論

本研究以六方氮化硼（h-BN）和TEMPO氧化納米纖維素（TOCNF）制備了具有不同孔結(jié)構(gòu)的h-BN/TOCNF氣凝膠，后復(fù)合TOCNF，制備了h-BN/TOCNF復(fù)合膜，并對其進(jìn)行了熱穩(wěn)定性、力學(xué)性能及導(dǎo)熱性能表征。

3.1 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的初始分解溫度約為210℃，且隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的熱穩(wěn)定性提高。

3.2 h-BN與TOCNF固含量比為1∶1的復(fù)合膜強(qiáng)度最好，斷裂伸長率約為13%，拉伸強(qiáng)度為24.8 MPa，隨著h-BN含量的增加，復(fù)合膜的斷裂伸長率變低，拉伸強(qiáng)度變化不大。

3.3 當(dāng)h-BN與TOCNF固含量比為3∶1時，h-BN可以沿著TOCNF骨架形成導(dǎo)熱通道，此時TOCNF對h-BN間產(chǎn)生的的熱阻小，且能夠?qū)-BN起到良好的分散作用，導(dǎo)熱通道的構(gòu)建效率最高。其導(dǎo)熱系數(shù)為1.355 W/（m·K），相比于純TOCNF膜提高了228%。

3.4 h-BN/TOCNF復(fù)合膜的體積電阻率≥3.86×1014Ω·cm，滿足微型化電子期間內(nèi)部絕緣材料的使用要求。