李建國 李冬冬

打破山東省“缺芯少面”局面，彌補(bǔ)集成電路產(chǎn)業(yè)空白，中建三局第一建設(shè)安裝有限公司承建的國內(nèi)首個協(xié)同式集成電路制造CIDM項目——青島芯恩項目正按部就班，火熱推進(jìn)施工。

作為業(yè)內(nèi)“高精尖”的代表，潔凈廠房項目對施工技術(shù)甚至施工環(huán)境都有著特殊的要求。作為項目的“孵化者”，項目經(jīng)理趙飛和他的團(tuán)隊在這里上演了一場有關(guān)匠心與攻堅克難的“故事”。

“既然冷，就捂熱了再施工”

2021年“小寒”這天，第一波寒潮天氣非?！皯?yīng)景”地入侵青島，項目所在的東部海岸線的最低氣溫一度低至-24℃。

在一次巡場過程中，趙飛發(fā)現(xiàn)由于溫度過低，潔凈室地面環(huán)氧樹脂凝固速度變慢，成品出現(xiàn)落差大、表面有磨砂的現(xiàn)象，不僅沒有提高潔凈度，反而成了顆粒物附著的溫床，這將極大影響正常施工。他決定找項目總工李靖商量一下應(yīng)對策略。

兩人一”碰“，就”碰“出一個“土辦法”?！凹热凰洌悄憔桶阉鏌崃嗽偈┕?。”于是他們提前啟動MAU（空調(diào)機(jī)組），向潔凈室內(nèi)輸送暖風(fēng)，并將環(huán)氧地面劃為幾個片區(qū)，在周圍設(shè)置暖風(fēng)機(jī)施工，通過這種方式，不僅保證了施工質(zhì)量，還提前一天交付了該片作業(yè)面。

尖端技術(shù)的最初構(gòu)想，不僅來源于被人們冠以為常識的“土辦法”，還有從生活中借鑒方法的“腦洞大開”。

“像接水一樣進(jìn)行氣流模擬”

受層高、面積、設(shè)備排布等因素的影響，潔凈室回風(fēng)夾道設(shè)置在潔凈室兩側(cè)，導(dǎo)致FFU（高效過濾器）送風(fēng)時可能在潔凈室中間區(qū)域形成渦流，從而使得由潔凈室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備、操作人員等產(chǎn)生的污染粒子滯留，影響潔凈室整體空氣質(zhì)量，甚至?xí)绊懏a(chǎn)品良品率?！肮て谝惶焯毂平?，F(xiàn)FU的排布問題卻一直沒有解決，那段時間真是煎熬。”趙飛說。

一天早上，早起刷牙的趙飛看著杯子里的水，因水流沖擊而上下循環(huán)翻滾時，突然靈光一閃：依照水龍頭出水進(jìn)杯子的方式對潔凈室內(nèi)的氣流進(jìn)行模擬，以此來確定最佳的排布方式。于是趙飛帶著技術(shù)團(tuán)隊立即查閱資料，和FFU廠家溝通交流不同的排布實(shí)際效果，運(yùn)用CFD氣流模擬專業(yè)軟件對項目潔凈室氣流進(jìn)行模擬，通過多方案比較，合理調(diào)整FFU布置率和擺放位置，使?jié)崈羰覂?nèi)氣流無死角，保證潔凈室空氣質(zhì)量，成功達(dá)到了潔凈度要求。

2021年4月15日，12寸廠潔凈室迎來業(yè)主及專業(yè)檢測機(jī)構(gòu)聯(lián)合檢測，僅用時23個小時，室內(nèi)溫度及濕度就達(dá)到設(shè)備搬入要求，且在后續(xù)48小時內(nèi)保持溫度波動在0.2攝氏度內(nèi)，濕度波動在1%之內(nèi)，達(dá)到行業(yè)頂尖水準(zhǔn)，施工質(zhì)量得到業(yè)主方領(lǐng)導(dǎo)張汝京博士親自點(diǎn)贊。

潔凈廠房的建造不僅要考慮到潔凈度，對于廠房的用途也需要相應(yīng)的技術(shù)配套，高精度的芯片生產(chǎn)，要求趙飛團(tuán)隊必須要以格物致知、精益求精的工作態(tài)度進(jìn)行鉆研。

“搭臺子”解決減震難題

芯片生產(chǎn)需要用到大量精密儀器，如光刻機(jī)、電子束裝置及電子顯微鏡等，設(shè)備處理線寬只有40納米甚至更低，稍有超出標(biāo)準(zhǔn)的震動就會導(dǎo)致儀器在刻畫時出現(xiàn)偏差，使芯片報廢，甚至?xí)?dǎo)致精密儀器損壞，造成無法估量的損失。

“不解決這個技術(shù)壁壘，潔凈室做得再好也沒用。”趙飛帶著技術(shù)團(tuán)隊一頭扎進(jìn)了會議室。他們發(fā)現(xiàn)微震產(chǎn)生的主要原因是廠房內(nèi)部機(jī)器設(shè)備運(yùn)行、管道內(nèi)液體和氣體等在管道拐彎、變徑時等產(chǎn)生的震動傳導(dǎo)，要想將微震控制在技術(shù)工藝標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)，必須控制結(jié)構(gòu)力場的傳遞效率。經(jīng)過連續(xù)3天的反復(fù)論證研究，趙飛拿出了解決方案：與設(shè)計單位溝通，根據(jù)設(shè)備參數(shù)為設(shè)備設(shè)置減震臺座，設(shè)備與管道采用柔性連接，將風(fēng)管內(nèi)的空氣流速限定在9米每秒內(nèi)，管道內(nèi)的液體流速控制在2.5米每秒內(nèi)。

正當(dāng)大家以為這個方案一定能解決問題時，實(shí)踐中出現(xiàn)的問題給他們潑了一盆涼水，應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)了新的問題：多根管道同用一個支架時，各管道之間的力場存在相互影響的情況，在對某一管道進(jìn)行抗微震處理時，其他管道會借機(jī)“拆臺”。

為了讓各管道間達(dá)到平衡狀態(tài)，趙飛帶著技術(shù)團(tuán)隊對項目所有與震源相連的管道進(jìn)行了抗微震計算，并創(chuàng)造性地采用了減震共架這一新型支架，為管道搭起減震的”臺子“。同時，結(jié)合計算得到的各類管道的抗微震數(shù)值，對管道進(jìn)行優(yōu)化排布，將項目微震環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)控制在振動速度25微米每秒，成功達(dá)到了設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，保障了施工的順利實(shí)施。

兩年來，項目經(jīng)理趙飛帶領(lǐng)著一支“硬核”團(tuán)隊扎根建設(shè)一線，攻克了一項項行業(yè)前沿的工程技術(shù)難點(diǎn)，打造了一支特別有凝聚力和戰(zhàn)斗力的團(tuán)隊，實(shí)現(xiàn)了項目一期工程的順利投產(chǎn)，且由于過硬的技術(shù)和履約質(zhì)量，該團(tuán)隊又順利承接到該項目的二期擴(kuò)建工程，形成了以履約促市場的局面。未來，他們將繼續(xù)奮勇向前，創(chuàng)造更多的“世界一流”，不斷攻破技術(shù)壁壘，堅持成功背后的執(zhí)著。