林永杰，徐 楠，赫英威，劉文德，甘海勇，龔華平

（1.中國(guó)計(jì)量大學(xué) 光學(xué)與電子科技學(xué)院，杭州 310018；2.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 光學(xué)與激光計(jì)量科學(xué)研究所，北京 100029）

引言

對(duì)光電探測(cè)器相對(duì)光譜響應(yīng)度進(jìn)行定標(biāo)，常用的方法是利用鹵鎢燈、氙燈等作為光源，結(jié)合雙光柵單色儀建立起光譜比較裝置，通過(guò)比較標(biāo)準(zhǔn)光電探測(cè)器與被測(cè)光電探測(cè)器的光譜功率響應(yīng)電流，從而實(shí)現(xiàn)探測(cè)器的相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)。在這樣的裝置里，由于燈的功率有限，經(jīng)雙單色儀輸出的單色光輻射通量水平普遍較低，因此信噪比普遍較小，一般情況下還需要應(yīng)用鎖相放大等技術(shù)以提高信噪比。隨著光子晶體光纖技術(shù)的進(jìn)步，利用泵浦激光源泵浦光子晶體光纖從而實(shí)現(xiàn)非線性光譜展寬的超連續(xù)激光器技術(shù)日益成熟，從而在生物光譜、輻射測(cè)量等各領(lǐng)域開(kāi)始得到應(yīng)用。超連續(xù)激光器具有功率密度高、光譜范圍寬等優(yōu)點(diǎn)[1-2]，用超連續(xù)激光器替代鹵鎢燈作為光源，能夠大幅度提高單色儀輸出的單色光輻射功率，從而提高測(cè)量信噪比，提高探測(cè)器相對(duì)光譜響應(yīng)度的測(cè)量不確定度水平。

本文利用基于超連續(xù)激光器與棱鏡-光柵雙單色儀的光電探測(cè)器相對(duì)光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng)，針對(duì)InGaAs 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與平面被測(cè)探測(cè)器的相對(duì)光譜響應(yīng)度進(jìn)行了定標(biāo)[3]，從而獲得平面InGaAs探測(cè)器在900 nm～1 600 nm 光譜范圍內(nèi)間隔50 nm的相對(duì)光譜響應(yīng)度測(cè)量結(jié)果[4-5]。為了驗(yàn)證超連續(xù)激光器在相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)系統(tǒng)中的可行性，本文還利用鹵鎢燈作為光源，經(jīng)過(guò)相同的單色儀與光路系統(tǒng)，對(duì)同一InGaAs探測(cè)器的相對(duì)光譜響應(yīng)度進(jìn)行了定標(biāo)。文章對(duì)兩種光源的定標(biāo)結(jié)果與定標(biāo)測(cè)量不確定度進(jìn)行了分析[6-7]。

1 實(shí)驗(yàn)裝置

該系統(tǒng)能夠集成儀器硬件控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理，可以切換波長(zhǎng)并準(zhǔn)確地重復(fù)標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和被測(cè)探測(cè)器的相對(duì)光譜響應(yīng)度。

1.1 系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)

該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)圖如圖1所示，主要由光源部分、單色儀、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、探測(cè)器切換模塊以及低溫輻射計(jì)組成[8-10]。

圖1 基于超連續(xù)激光器的InGaAs探測(cè)器相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)裝置圖Fig.1 Diagram of calibration device of relative spectral responsivity of InGaAs detector based on supercontinuum laser

使用超連續(xù)光源作為單色儀的前置照明光源，在單模光纖的作用下，激光器的輸出光近乎是準(zhǔn)直輸出。在單色儀入射狹縫前面加上平凸透鏡，使超連續(xù)光源匯聚到單色儀入射狹縫中。寬光譜光束經(jīng)過(guò)單色儀分光，出射單色光束，光束經(jīng)過(guò)分束鏡，一束光進(jìn)入反饋探測(cè)器作為反饋信號(hào)修正超連續(xù)光源的出射光功率。通過(guò)控制反射鏡移動(dòng)，將進(jìn)入到低溫輻射計(jì)的光束反射到探測(cè)器切換模塊中，使用定標(biāo)完成的陷阱探測(cè)器對(duì)待測(cè)探測(cè)器進(jìn)行光譜響應(yīng)度量值傳遞。

超連續(xù)光源-單色儀光譜響應(yīng)度校準(zhǔn)裝置主要由以下幾個(gè)部分組成[11]：

1）光源部分。使用超連續(xù)光源作為該裝置的光源，具有更好的穩(wěn)定性，和傳統(tǒng)的鹵鎢燈相比具有更高的光功率密度，能夠得到更高的信噪比。

超連續(xù)激光器可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地提供光源導(dǎo)入到可調(diào)單色儀，且超連續(xù)激光器可以根據(jù)測(cè)量需求來(lái)改變光強(qiáng)。該激光器具有功率密度高、光譜范圍寬等優(yōu)點(diǎn)，而寬光譜范圍能夠滿足900 nm～1 600 nm 的光譜范圍需要。HeNe 激光器可以作為引導(dǎo)光束，便于實(shí)現(xiàn)光斑的調(diào)整與探測(cè)器的定位。鹵鎢燈具有光譜范圍寬、輸出穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，在本裝置中作為驗(yàn)證比對(duì)光源使用。本系統(tǒng)中使用的NKT 公司SuperKEXTREME OCT 系列超連續(xù)光源，一共有EXR-9 OCT、EXR-4 OCT、EXR-6 OCT 3 種激光器，如圖2所示。EXR-4 OCT 和 EXR-6 OCT 兩種激光器在900 nm～1 050 nm 波段的功率低于2 mW/nm，由于光功率密度太低不能提供較好的信噪比，所以本文使用的是EXR-9 OCT 超連續(xù)光源，在900 nm～1 600 nm 波段其光功率能達(dá)到3 mW 以上，能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)提供更好的信噪比。

圖2 NKT 公司超連續(xù)激光器輸出功率曲線圖Fig.2 Output power curves of super-continuum laser of NKT company

傳統(tǒng)鹵鎢燈的光源功率密度僅為μw 級(jí)別，由圖2 可知，使用超連續(xù)激光器其光功率密度可以達(dá)到MW 級(jí)別。整個(gè)光源裝置用黑箱隔斷，以消除雜散光的影響，最大程度上消除環(huán)境的影響，從而提高測(cè)量精度。

2）單色儀是光譜響應(yīng)度中的分光設(shè)備。其原理是利用內(nèi)部的平面衍射光柵將入射的超連續(xù)光源進(jìn)行色散分光，形成等間隔的單色光分布，根據(jù)校準(zhǔn)的需求提供單色光。

3）標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器是光譜響應(yīng)度量值傳遞的載體。標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器經(jīng)過(guò)低溫輻射計(jì)光譜響應(yīng)度初級(jí)定標(biāo)后，可以作為光譜響應(yīng)度量值傳遞裝置，是待測(cè)探測(cè)器光譜響應(yīng)度溯源到低溫輻射計(jì)的橋梁。陷阱探測(cè)器是光輻射計(jì)量中一種重要的探測(cè)器，本文中作為標(biāo)準(zhǔn)傳遞裝置使用的就是三片式InGaAs 陷阱探測(cè)器。前兩片InGaAs 二極管與入射光線成45°角，反射光依次入射到下一片InGaAs光電二極管中；第三片光電二極管與入射光線垂直，反射光沿原光路返回，入射光在探測(cè)器中總共反射5 次。損失的光線能量小于千分之一，可忽略不計(jì)。目前，三片反射式陷阱探測(cè)器是計(jì)量裝置中使用最廣泛的一種陷阱探測(cè)器。本文中使用的陷阱探測(cè)器結(jié)構(gòu)圖如圖3所示。

圖3 三片式陷阱探測(cè)器內(nèi)部結(jié)構(gòu)實(shí)物圖Fig.3 Physical image of internal structure of three-piece trap detector

4）探測(cè)器切換模塊能夠保證標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和待測(cè)探測(cè)器相互切換，多次測(cè)量。

5）低溫輻射計(jì)為該裝置的光譜響應(yīng)度量值傳遞源，用于給標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器進(jìn)行光譜響應(yīng)度初級(jí)定標(biāo)。

本文搭建超連續(xù)光源-單色儀光譜響應(yīng)度校準(zhǔn)裝置，將定標(biāo)完成的InGaAs 三片式陷阱探測(cè)器作為量值傳遞標(biāo)準(zhǔn)，基于標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器對(duì)待測(cè)探測(cè)器進(jìn)行量值傳遞。待測(cè)探測(cè)器的光譜響應(yīng)度可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器溯源至低溫輻射計(jì)。

本裝置使用3 種光源，分別是鹵鎢燈、NKT 超連續(xù)激光器與HeNe 激光器。將3 個(gè)激光器固定在同一個(gè)精密電控位移平臺(tái)上，根據(jù)實(shí)驗(yàn)的不同需求，通過(guò)PC 端控制位移平臺(tái)，切換其中一種光源導(dǎo)入到雙單色儀中[12-13]。

1.2 探測(cè)器切換模塊結(jié)構(gòu)

為了實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和待測(cè)探測(cè)器校準(zhǔn)過(guò)程中的每次精準(zhǔn)切換，使光束入射到探測(cè)器靈敏面中心，本文將2 個(gè)Thorlabs 公司生產(chǎn)的C1513#三維可調(diào)的探測(cè)器夾具固定在Thorlabs 公司生產(chǎn)的LTS300/M 電控位移平臺(tái)上，其實(shí)物圖如圖4所示。

圖4 探測(cè)器切換模塊實(shí)物圖Fig.4 Physical image of detector switch module

電控位移平臺(tái)LTB300/M 具有超高的硬度以及線性度，其軸上精度為±7.5 μm。LTB300/M 電控位移平臺(tái)配有閉環(huán)光學(xué)反饋，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率、無(wú)反彈位移的線性重復(fù)運(yùn)動(dòng)。將其運(yùn)動(dòng)參數(shù)加速度設(shè)置為3 cm/s2，最大運(yùn)動(dòng)速度設(shè)置為5 cm/s，以此降低因平臺(tái)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致的探測(cè)器夾具晃動(dòng)，從而提高測(cè)量精度。在2 個(gè)探測(cè)器校準(zhǔn)時(shí)，每次切換探測(cè)器都能使光束入射到2 個(gè)探測(cè)器的靈敏面中心。

在一維精密電控位移平臺(tái)上固定2 個(gè)三維可調(diào)V 型夾持安裝座，分別將標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和待測(cè)探測(cè)器安裝在2 個(gè)安裝座上，通過(guò)PC 端控制位移平臺(tái)，提供標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與待測(cè)探測(cè)器的切換，以保證探測(cè)器的位置重復(fù)性。

2 實(shí)驗(yàn)步驟與結(jié)果

2.1 測(cè)量探測(cè)器的面均勻性

圖5 為CCD 測(cè)量的探測(cè)器靈敏面處的光斑圖，可以看出光斑比較均勻。超連續(xù)激光器經(jīng)過(guò)單色儀后光分布為平頂分布，與激光源的高斯分布不同，因此對(duì)探測(cè)器均勻性的依賴(lài)性比較小。為了進(jìn)一步考察探測(cè)器響應(yīng)特性，本文搭建了探測(cè)器響應(yīng)均勻性的自動(dòng)測(cè)量裝置。將探測(cè)器置于自動(dòng)控制的二維平移臺(tái)上，調(diào)整并固定探測(cè)器的角度后，在探測(cè)器的靈敏面范圍內(nèi)移動(dòng)探測(cè)器，可以獲得探測(cè)器的面響應(yīng)均勻性。

圖5 探測(cè)器靈敏面處的光斑圖Fig.5 Spot diagram at sensitive surface of detector

利用超連續(xù)光源，將單色儀輸出波長(zhǎng)設(shè)置為1 550 nm。設(shè)置單色儀的出射狹縫，將出射光斑調(diào)整到合適的1.5 mm，分別以0.2 mm 的單位長(zhǎng)度沿X軸和Y軸方向移動(dòng)，采集并記錄數(shù)字電壓表的讀數(shù)，逐點(diǎn)找出探測(cè)器的面積均勻性。標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的面積均勻性掃描圖如圖6所示[14-15]，從圖中可以看出，1mm 內(nèi)的面積均勻性?xún)?yōu)于0.05%。

圖6 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器面積均勻性掃描圖Fig.6 Scanning image of standard detector area uniformity

2.2 測(cè)量超連續(xù)光源下的相對(duì)光譜響應(yīng)度

待測(cè)探測(cè)器光譜響應(yīng)度的測(cè)量方程SDUT（λ）如下：

式中：SRef（λ）是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的絕對(duì)光譜響應(yīng)度；CT是待測(cè)探測(cè)器信號(hào)與監(jiān)控探測(cè)器輸出信號(hào)的比值；CR是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器信號(hào)與監(jiān)控探測(cè)器輸出信號(hào)的比值。在測(cè)量過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與待測(cè)探測(cè)器通過(guò)通道切換使用相同的放大器增益，因此可以忽略電流放大測(cè)量的差異。

對(duì)每一個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)進(jìn)行6 次測(cè)量，900 nm～1 600 nm波段待測(cè)探測(cè)器的光譜響應(yīng)度平均值及測(cè)量重復(fù)性如表1所示。

表1 超連續(xù)激光器作為光源的響應(yīng)度及測(cè)量重復(fù)性Table 1 Responsivity and measurement repeatability of super-continuum laser as light source

3 使用鹵鎢燈作為光源

3.1 實(shí)驗(yàn)測(cè)量

同理，將光源由超連續(xù)激光器換成鹵鎢燈，先預(yù)熱鹵鎢燈30 min，待光源穩(wěn)定后再重新進(jìn)行測(cè)量。在900 nm～1 600 nm 波段每間隔50 nm 測(cè)量1 個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)，所測(cè)得數(shù)據(jù)如表2所示。

表2 鹵鎢燈作為光源的響應(yīng)度及測(cè)量重復(fù)性Table 2 Responsivity and measurement repeatability of halogen lamp as light source

3.2 數(shù)據(jù)分析

對(duì)鹵鎢燈和超連續(xù)激光器在2 種光源條件下的定標(biāo)光譜響應(yīng)度進(jìn)行分析，當(dāng)光源作為唯一變量時(shí)，對(duì)銦鎵砷探測(cè)器的絕對(duì)光譜響應(yīng)度進(jìn)行數(shù)值分析，如圖7所示。

由圖7 可知2 種光源條件下相對(duì)光譜響應(yīng)度的浮動(dòng)情況。在900 nm～1 150 nm 波段，2 種光源條件下的光譜響應(yīng)度相對(duì)差值小于1‰；在1 200 nm～1 350 nm 波段，該相對(duì)差值在1‰～2‰之間；在1 400 nm～1 600 nm 波段，絕對(duì)光譜響應(yīng)度的相對(duì)差值低于1‰。

圖7 2 種光源條件下光譜響應(yīng)度對(duì)比圖Fig.7 Comparison diagram of spectral responsivity under two light source conditions

如圖8所示，通過(guò)分析超連續(xù)光源和鹵鎢燈2 種光源的測(cè)量結(jié)果，2 種光源條件下光譜響應(yīng)度在900 nm～1 600 nm 波段的最大相對(duì)差值小于0.2%，超連續(xù)光源的測(cè)量重復(fù)性更低，給光譜響應(yīng)度校準(zhǔn)裝置帶來(lái)的不確定度分量更低，所以超連續(xù)光源相比于鹵鎢燈更適合作為該系統(tǒng)光譜響應(yīng)校準(zhǔn)裝置的光源。

圖8 兩種光源條件下待測(cè)探測(cè)器測(cè)量重復(fù)性Fig.8 Measurement repeatability of detector to be tested under two light source conditions

3.3 不確定度分析

簡(jiǎn)要分析超連續(xù)激光器-單色儀光譜響應(yīng)度定標(biāo)裝置對(duì)待測(cè)探測(cè)器在900 nm～1 600 nm 量值傳遞時(shí)的不確定度分量。待測(cè)探測(cè)器的光譜響應(yīng)度SDUT（λ）測(cè)量公式如公式（1）所示。

待測(cè)探測(cè)器的不確定度來(lái)源主要是由超連續(xù)激光器-單色儀光譜響應(yīng)度校準(zhǔn)裝置帶來(lái)的不確定度，包括標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、測(cè)量重復(fù)性、雜散光、波長(zhǎng)準(zhǔn)確度、光譜帶寬、測(cè)量萬(wàn)用表帶來(lái)的不確定度分量，也有待測(cè)探測(cè)器本身一部分不確定度，如偏振效應(yīng)、光束對(duì)準(zhǔn)及入射光角度貢獻(xiàn)的不確定度，然后對(duì)各個(gè)不確定度分量進(jìn)行計(jì)算。

1）標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器貢獻(xiàn)的不確定度分量。是由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院光學(xué)所對(duì)InGaAs 三片式探測(cè)器進(jìn)行量值傳遞時(shí)出具的不確定度量值。InGaAs 陷阱探測(cè)器作為標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器在該光譜響應(yīng)度校準(zhǔn)系統(tǒng)中貢獻(xiàn)的不確定度分量為u1=0.12%。

2）由于測(cè)量重復(fù)性帶來(lái)的不確定度。計(jì)算各個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)6 次測(cè)量結(jié)果的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)獲得900 nm～1 600 nm 波段各個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)因?yàn)闇y(cè)量重復(fù)性帶來(lái)的不確定度，測(cè)量重復(fù)性數(shù)值最大為0.052%。根據(jù)矩形分布原理，測(cè)量重復(fù)性貢獻(xiàn)的不確定度分量為。

3）雜散光帶來(lái)的不確定度。使用shutter 光開(kāi)光遮擋測(cè)量光束，觀察數(shù)字萬(wàn)用表3458A 的讀數(shù)變化，并與3458A 的底噪聲進(jìn)行比較，其貢獻(xiàn)的不確定度分量為u3=0.01%。

4）波長(zhǎng)準(zhǔn)確度帶來(lái)的不確定度。由于波長(zhǎng)造成的不確定度和待測(cè)探測(cè)器信號(hào)與監(jiān)測(cè)信號(hào)的比值以及標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器信號(hào)與監(jiān)測(cè)信號(hào)的比值成正比，其不確定度分量可表示為

式中：λi為第1 個(gè)測(cè)量波長(zhǎng)點(diǎn)；λi+1為第2 個(gè)測(cè)量波長(zhǎng)點(diǎn)。掃描2 個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)間隔Δλ，通過(guò)公式（2）得到該不確定度分量。

5）由于光譜帶寬帶來(lái)的不確定度。測(cè)得的光譜響應(yīng)度是真實(shí)光譜響應(yīng)度和歸一化帶通函數(shù)的卷積，在每一個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)測(cè)得的響應(yīng)度Smeas（λ0）是真實(shí)的光譜響應(yīng)度S（λ）和歸一化帶通函數(shù)b（λ0-λ）的乘積：

為了在未知其響應(yīng)度S（λ）真實(shí)數(shù)值的情況下估算此誤差，可以將測(cè)得的響應(yīng)度數(shù)據(jù)用作S（λ）進(jìn)行近似。首先將光譜響應(yīng)度數(shù)據(jù)插值到0.5 nm的間隔，并且以0.5 nm 的間隔計(jì)算b（λ）并將其進(jìn)行歸一化處理，使所有b（λ）值的總和等于1，再按照公式（3）進(jìn)行求和運(yùn)算。帶寬引起的不確定度誤差可以通過(guò)Smeas（λ）的S（λ）的差值計(jì)算得到：

可以計(jì)算得到被測(cè)探測(cè)器的εB，rel，DUT（λ）和標(biāo)準(zhǔn)陷阱探測(cè)器的εB，rel，ref（λ）的相對(duì)誤差，替代誤差εB，sub（λ）的計(jì)算公式為

使用矩形分布將估計(jì)的誤差轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)不確定度，因此u2，rel（SDUT）的計(jì)算公式為

6）測(cè)量萬(wàn)用表帶來(lái)的不確定度。測(cè)量待測(cè)探測(cè)器信號(hào)使用的DUM1-3458A 萬(wàn)用表，其測(cè)量不確定度是由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院電磁所測(cè)量定標(biāo)給出的不確定度，測(cè)量萬(wàn)用表貢獻(xiàn)的不確定度分量為u6=0.01%。

7）偏振效應(yīng)帶來(lái)的不確定度。研究了偏振所帶來(lái)的影響，從0°旋轉(zhuǎn)到360°來(lái)計(jì)算測(cè)得的最大值和最小值，獲得誤差，然后使用矩形分布將誤差轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)不確定度，偏振效應(yīng)貢獻(xiàn)的不確定度分量為u7=0.01%。

8）光束對(duì)準(zhǔn)帶來(lái)的不確定度。被測(cè)探測(cè)器安裝在5 軸平臺(tái)上，通過(guò)XY軸的掃描，以確認(rèn)探測(cè)器在其有效敏感區(qū)域上的中心。參考上述面均勻性測(cè)量結(jié)果，在0.4 mm內(nèi)探測(cè)器的面響應(yīng)非均勻性為0.02%，由矩形分布引入該不確定度分量為u8。

9）入射光角度帶來(lái)的不確定度。通過(guò)對(duì)其測(cè)量評(píng)估，在±10°范圍內(nèi)其貢獻(xiàn)的不確定度分量為u9=0.01%。

綜上所述，每個(gè)不確定度分量都是獨(dú)立的，待測(cè)探測(cè)器的合成不確定度分量uc，rel（SDUT）由公式（7）可得：

通過(guò)公式（7）計(jì)算得到的不確定度分量以及合成不確定度如表3所示。

表3 InGaAs 光譜響應(yīng)度測(cè)量不確定度分量（λ=900 nm）Table 3 InGaAs spectral responsivity measurement uncertainty component(λ=900 nm)

由表3 可知，超連續(xù)激光器和鹵鎢燈測(cè)量結(jié)果的差異在測(cè)量不確定度之內(nèi)，因此證明了超連續(xù)激光器在光電探測(cè)器相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)方法中應(yīng)用的可行性。

4 結(jié)論

通過(guò)上述實(shí)驗(yàn)，在鹵鎢燈和超連續(xù)激光器2 種光源條件下，利用標(biāo)準(zhǔn)InGaAs 陷阱探測(cè)器對(duì)平面InGaAs探測(cè)器進(jìn)行相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)時(shí)，2 種光源條件下的相對(duì)光譜響應(yīng)度的相對(duì)差值最大不超過(guò)0.16%。在900 nm～1 600 nm 波段，其光譜響應(yīng)度的相對(duì)差值在0.05%左右；在1 200 nm～1 350 nm波段其光譜響應(yīng)度的相對(duì)差值小于0.15%。因此其相對(duì)光譜響應(yīng)度具有較好的一致性，所以在使用標(biāo)準(zhǔn)InGaAs 陷阱探測(cè)器對(duì)InGaAs 平面探測(cè)器進(jìn)行相對(duì)光譜響應(yīng)度定標(biāo)時(shí)，可以使用超連續(xù)激光器來(lái)替代鹵鎢燈光源。

使用超連續(xù)激光器作為光源，利用標(biāo)準(zhǔn)InGaAs陷阱探測(cè)器完成了對(duì)InGaAs 平面探測(cè)器光譜響應(yīng)度的定標(biāo)校準(zhǔn)，簡(jiǎn)化了InGaAs 平面探測(cè)器的測(cè)量流程，并且具有900 nm～1 600 nm 波段的較寬光譜范圍，能夠快速給InGaAs 平面探測(cè)器光譜響應(yīng)度定標(biāo)。