李曉蒙 趙錚 陳鳳

摘 ?要：工業(yè)創(chuàng)新和發(fā)展離不開(kāi)對(duì)專(zhuān)業(yè)技術(shù)的深究，工業(yè)設(shè)備中的一個(gè)小小的零件都會(huì)影響生產(chǎn)制造。在工業(yè)領(lǐng)域中，為了防止與空氣接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，管道通常被用于提供運(yùn)輸各種高易燃易爆物質(zhì)，如果管道設(shè)計(jì)與安裝出現(xiàn)問(wèn)題，勢(shì)必會(huì)影響工業(yè)生產(chǎn)，甚至造成安全事故。因此，在對(duì)工業(yè)管道進(jìn)行安裝前，必須先了解該行業(yè)的基礎(chǔ)原理，諸如半導(dǎo)體材料在提煉過(guò)程中具有高溫、切割、分離和拋光等工藝，會(huì)涉及易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等氣體，這些?；瘹怏w是制造精密半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品必不可少的原料，為了確保管道中的材料在運(yùn)輸過(guò)程中對(duì)管道性能不會(huì)造成較大影響或使管道遭到破壞，以及在生產(chǎn)中發(fā)生氣體泄漏，引發(fā)嚴(yán)重事故，在設(shè)備管道施工時(shí)，必須嚴(yán)格執(zhí)行專(zhuān)項(xiàng)施工方案要求，以此確保順利完成設(shè)備管道安裝。

關(guān)鍵詞：工程;設(shè)備管道;安裝;技術(shù)

引言

在目前的世界范圍中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為最支柱、最重要的產(chǎn)業(yè)之一，通常認(rèn)為集成電路制造是整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展的核心，其發(fā)展在世界的各個(gè)不同產(chǎn)業(yè)范疇中都設(shè)計(jì)并得到應(yīng)用，其對(duì)各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)的前進(jìn)和整個(gè)世界的經(jīng)濟(jì)發(fā)展有推動(dòng)作用，無(wú)論發(fā)達(dá)國(guó)家還是發(fā)展中國(guó)家都把半導(dǎo)體工業(yè)看成戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)，其半導(dǎo)體制造科技水平的進(jìn)步以及產(chǎn)業(yè)規(guī)模的發(fā)展程度已成為一個(gè)用于衡量國(guó)家科學(xué)技術(shù)、經(jīng)濟(jì)發(fā)展程度和國(guó)防軟硬件實(shí)力的重要指標(biāo)。在這樣的大環(huán)境下，各個(gè)政府都投入大量的財(cái)力和人力，以求促進(jìn)自己國(guó)家的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展。我國(guó)在這方面也沒(méi)有逆世界潮流，同樣頒布了大量的優(yōu)惠政策，集中有限的財(cái)力，向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)傾斜，并盡力讓傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)在應(yīng)用半導(dǎo)體技術(shù)為基礎(chǔ)的電子信息技術(shù)上不斷改造，不斷發(fā)展，最終促使國(guó)民經(jīng)濟(jì)能夠更好的發(fā)展下去。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體集成電路制造工廠(chǎng)的非常重要的基礎(chǔ)，它通過(guò)各種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備生產(chǎn)著各種集成電路芯片，這些芯片對(duì)國(guó)家經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，對(duì)人民生活水平的進(jìn)步，有著重要的作用，所以全力的保證半導(dǎo)體制造設(shè)備的正常生產(chǎn)和運(yùn)營(yíng)是一件有意義的事情。

1螺柱焊接質(zhì)量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)實(shí)現(xiàn)以下功能

監(jiān)測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的功能較多，重點(diǎn)突出以下六大功能的實(shí)現(xiàn)。功能一：正確識(shí)別各車(chē)型，將車(chē)型在顯示屏進(jìn)行目視化展示;功能二：系統(tǒng)對(duì)出現(xiàn)焊接質(zhì)量不合格的螺柱進(jìn)行目視化，不但要顯示螺柱型號(hào)，還需要顯示螺柱編號(hào)及在車(chē)身中的具體位置;功能三：采用人機(jī)界面對(duì)相應(yīng)的車(chē)型、螺柱信息和位置進(jìn)行提示;功能四：可以對(duì)螺柱焊接質(zhì)量不合格信息進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析查詢(xún);功能五：對(duì)焊接異常的報(bào)警螺柱進(jìn)行人工復(fù)檢，如確認(rèn)存在質(zhì)量缺陷將重新進(jìn)行焊接。

2半導(dǎo)體高新科技工廠(chǎng)設(shè)備管道安裝要點(diǎn)

2.1狀態(tài)維護(hù)的工作流程

狀態(tài)維護(hù)對(duì)于有一些設(shè)備，或者是某些設(shè)備的部件，這種設(shè)備（部件）非常的關(guān)鍵，一旦其運(yùn)行狀態(tài)發(fā)生問(wèn)題，生產(chǎn)將無(wú)法繼續(xù)，這些設(shè)備（部件）是無(wú)法替代的，故要求這種設(shè)備（部件）盡可能的減少維護(hù)次數(shù)，只在需要維護(hù)時(shí)維護(hù)檢修，故無(wú)法對(duì)其制定定期的維護(hù)檢修計(jì)劃，這時(shí)可以根據(jù)經(jīng)常檢查設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，運(yùn)行參數(shù)，進(jìn)行判斷，根據(jù)這些狀態(tài)參數(shù)判斷設(shè)備的性能趨勢(shì)，來(lái)決定是否需要進(jìn)行停機(jī)維護(hù)檢修。

2.2管道安裝工藝

半導(dǎo)體工廠(chǎng)設(shè)備管道安裝會(huì)受到管道材料配方、生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)條件等因素的影響，在安裝時(shí)要符合生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，不同的安裝工藝應(yīng)達(dá)到不同的標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)管道布置結(jié)構(gòu)機(jī)理和輸送介質(zhì)，嚴(yán)格按照專(zhuān)項(xiàng)施工方案執(zhí)行安裝程序。1）管道預(yù)制與組裝為了提高管道安裝質(zhì)量，應(yīng)盡可能在車(chē)間分段預(yù)制管道。保證管道組裝件的剛性達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，以免在管道分段組裝時(shí)損害管道質(zhì)量，產(chǎn)生永久變形。管道組件尺寸應(yīng)在可控偏差范圍內(nèi)。同時(shí)，管道組裝件要有活口預(yù)留，以便在管道組裝時(shí)可對(duì)管段連接進(jìn)行調(diào)整，并保證其運(yùn)輸和安裝便利。對(duì)預(yù)制組裝完成的管段應(yīng)及時(shí)編號(hào)，并妥善保存。2）管道及其附件檢查管道安裝前，應(yīng)對(duì)管道組成件、閥門(mén)等進(jìn)行檢驗(yàn)，包括管子及接頭、異徑管、三通、法蘭、補(bǔ)償器的質(zhì)量檢查，以及閥門(mén)的閥體、密封面的試驗(yàn)。閥門(mén)試驗(yàn)介質(zhì)采用潔凈水，殼體試驗(yàn)壓力應(yīng)在公稱(chēng)壓力的1.5倍或以上，試驗(yàn)要保持殼體填料5min以上無(wú)滲漏，閥瓣密封面無(wú)滲漏即達(dá)到密封試驗(yàn)合格要求。3）管道加工（1）該道施工工序技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)在于管口的加工，由于半導(dǎo)體工藝對(duì)作業(yè)環(huán)境要求較高，管道加工作業(yè)的環(huán)境要保持潔凈。（2）彎管采用冷彎，不應(yīng)采取熱處理方式對(duì)彎后管道進(jìn)行加工。通常情況下，彎管彎曲后應(yīng)禁止回彎，其彎曲半徑為管子4倍的公稱(chēng)直徑，并要確保彎曲度公差值在規(guī)定范圍內(nèi)，一般在±0.5°以下。（3）管道切割要采用專(zhuān)用的不銹鋼切割器，為了避免切屑進(jìn)入管內(nèi)，在切割時(shí)要緩慢進(jìn)行，順著介質(zhì)下流的方向沖入高純氮?dú)?。切割后進(jìn)行斷面處理，采用平口機(jī)除去毛刺。在處理的同時(shí)用高純氮?dú)獯祾撸脽o(wú)塵布沾異丙醇在切割和斷面處理完成后擦拭干凈管口，避免無(wú)塵布反復(fù)使用。

2.3車(chē)身下表面區(qū)域螺柱檢測(cè)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)流程

車(chē)身下表面區(qū)域螺柱焊工位是由V01面夾具組和V02面夾具組在一個(gè)180度翻轉(zhuǎn)的大型轉(zhuǎn)鼓上，本工位只有一個(gè)“RFID讀取命令”，位置在工位下面。當(dāng)?shù)谝慌_(tái)車(chē)身進(jìn)入地面PLC1螺柱焊工位后，PLC通過(guò)“RFID讀取命令”載碼體中的信息后將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在PLC的DB數(shù)據(jù)塊中，這個(gè)DB數(shù)據(jù)塊是V02面夾具組單獨(dú)使用，以下簡(jiǎn)稱(chēng)DB_V02。載碼體數(shù)據(jù)成功讀取車(chē)型后，工位轉(zhuǎn)鼓進(jìn)行180度旋轉(zhuǎn)，這時(shí)V02面夾具組在工位上面，V01夾具組在工位下面，機(jī)器人進(jìn)入V02面夾具組進(jìn)行螺柱焊接并且將焊接質(zhì)量不合格螺柱信息寫(xiě)入DB_V02數(shù)據(jù)塊。

結(jié)語(yǔ)

綜上所述，工業(yè)設(shè)備管道作為工業(yè)生產(chǎn)中經(jīng)常用到的設(shè)備部件，對(duì)其安裝必須遵守行業(yè)管道安裝規(guī)范，對(duì)安裝過(guò)程中的安全隱患要做到防患于未然，強(qiáng)化施工工藝，制定專(zhuān)項(xiàng)施工方案，這樣才能達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求。本文分別從半導(dǎo)體高新科技工廠(chǎng)設(shè)備與管道兩個(gè)部分的安裝工藝進(jìn)行了詳述，基于半導(dǎo)體工藝對(duì)作業(yè)環(huán)境和操作的高要求，總結(jié)出在管道施工時(shí)，應(yīng)維護(hù)施工作業(yè)環(huán)境，加強(qiáng)對(duì)管道管材的管理，以及管道加工、焊接、管道與配件及設(shè)備連接安裝等質(zhì)量控制，嚴(yán)格按照施工方案進(jìn)行設(shè)備管道安裝，并以先進(jìn)的技術(shù)和專(zhuān)業(yè)的態(tài)度對(duì)待管道安裝，從而確保設(shè)備管道工程順利完工，確保設(shè)備安全運(yùn)行。

參考文獻(xiàn)

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