上海被賦予打造集成電路產業(yè)高地的重大任務,隨著產業(yè)規(guī)模逐步擴大,廢酸環(huán)境無害化處置成為突出問題。據了解,上海通過“點對點”資源化定向再利用創(chuàng)新模式已破解這一難題。據上海市生態(tài)環(huán)境局相關負責人介紹,上海首創(chuàng)的廢硫酸“點對點”資源化定向再利用模式運用逐步成熟,目前已經全部覆蓋了上海具備回收廢酸條件的集成電路芯片制造企業(yè),總體上穩(wěn)定地解決了上海集成電路芯片制造企業(yè)廢硫酸處置問題。據上海市集成電路行業(yè)協(xié)會相關負責人介紹,集成電路產業(yè)生產過程中會使用大量濃硫酸,排放以硫酸物質為主,處理廢硫酸成本很高,同時會存在一定的生態(tài)環(huán)境安全風險。這個問題成為阻礙行業(yè)發(fā)展的難題。
在上海市經濟和信息化委、上海市生態(tài)環(huán)境局等相關部門的支持下,上海市固體廢物和化學品管理技術中心、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會積極探索,多次召開專家研討會論證處置方案,并于2016年開始由中芯國際和澎博公司開展廢硫酸“點對點”資源化定向再利用試點運行,經過多輪試點驗證,最終形成較為成熟的經驗。
2020年,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會會同多部門專門編寫形成了《鈦白粉用集成電路制造行業(yè)廢硫酸》(T/SICA001—2020)團體標準,在上海市質量技術監(jiān)督部門網站和國家標準網上進行公示,全力保障廢酸源頭質量的把控。