【公開(kāi)號(hào)】CN111474215A

【公開(kāi)日】2020-07-31

【分類號(hào)】G01N27/12; G01N27/407

【申請(qǐng)日】2020-06-01

【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)

【發(fā)明人】易建新;張紅

【摘 要】本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體-固體電解質(zhì)型雙模式傳感器及其在氣體識(shí)別中的應(yīng)用，包括敏感電極、對(duì)電極、固體電解質(zhì)和集流器，其中敏感電極和對(duì)電極中至少有一個(gè)為半導(dǎo)體氧化物氣敏材料。在檢測(cè)某一氣體過(guò)程中，敏感電極或/和對(duì)電極本身可以作為半導(dǎo)體傳感器來(lái)捕獲響應(yīng)參數(shù)，又可以捕獲由敏感電極、對(duì)電極和固體電解質(zhì)組成的固體電解質(zhì)型傳感器的響應(yīng)參數(shù)，在原先單一固體電解質(zhì)傳感器上形成了傳感器陣列，通過(guò)對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行分析可以快速、準(zhǔn)確地識(shí)別氣體，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的高可靠性探測(cè)。