哇，芯片上面的線路好密，如果生產(chǎn)過(guò)程中掉進(jìn)去一顆灰塵會(huì)怎么樣呢？一顆灰塵都不行嗎？

是的，一顆灰塵也不行。正是因?yàn)樾酒厦娴木€路排列得特別密，假如生產(chǎn)過(guò)程中有一顆灰塵掉進(jìn)去，就可能會(huì)影響整個(gè)線路，甚至使芯片失去最初設(shè)計(jì)的功能，所以芯片上面必須非常干凈。

醫(yī)院的手術(shù)室和集成電路的生產(chǎn)車間都是對(duì)清潔度要求很高的地方，你猜猜哪個(gè)更干凈呢？

手術(shù)室——無(wú)菌室

手術(shù)室對(duì)清潔度要求非常高，為了防止感染，確保手術(shù)成功率，不但要求地面臺(tái)面干凈、人員穿著干凈，手術(shù)時(shí)，還必須鋪上無(wú)菌單、用無(wú)菌器械，甚至連空氣都是極干凈的。層流手術(shù)間采用空氣潔凈措施，將空氣中的塵埃粒子過(guò)濾，使細(xì)菌沒(méi)有載體傳播，目的是有效預(yù)防和控制感染的發(fā)生。

芯片生產(chǎn)車間——不僅僅是無(wú)菌

環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以，在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，不僅要求生產(chǎn)車間無(wú)菌，還必須無(wú)靜電、無(wú)灰塵、無(wú)有害氣體。

而進(jìn)出車間的人怎么辦呢？我們知道，人體及衣物的毛屑是一項(xiàng)主要粉塵來(lái)源，為此，人和物進(jìn)出時(shí)，必須經(jīng)過(guò)空氣吹浴程序，先將表面粉塵去除。另外，必須嚴(yán)格要求進(jìn)出人員穿戴無(wú)塵衣，除了眼睛，均需與外界隔絕接觸（在次微米制程技術(shù)的工廠內(nèi)，工作人員幾乎穿戴得和航天員一樣）。

你知道嗎？

◎大多數(shù)芯片制造商的“ISO1級(jí)”無(wú)塵室都能做到幾乎“零粉塵”。具體來(lái)說(shuō)，在每立方米空氣中，100到200納米的顆粒不超過(guò)10個(gè)，且沒(méi)有大于200納米的顆粒。相比之下，一家干凈的現(xiàn)代醫(yī)院里，每立方米空氣中含有粉塵顆粒約10000個(gè)，這差距可不是一點(diǎn)點(diǎn)。

◎潔凈室用到的氣源是氮?dú)猓?8%），吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈笫?9.8%以上的高純氮！