楊宗舉，戴景民*，楊 林，王振濤

1. 哈爾濱工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院，黑龍江 哈爾濱 150001 2. 中國工程物理研究院電子工程研究所，四川 綿陽 621900

引 言

真空弧等離子體具有電離度高、產(chǎn)生離子種類多、束流強(qiáng)、純度好、離子電荷態(tài)高等特點(diǎn)，己被廣泛用于電弧鍵膜、離子注入、開關(guān)和火箭推進(jìn)器以及離子源等領(lǐng)域[1]。金屬等離子體陰極在放電過程中會向外輻射能量，可以通過光譜的光強(qiáng)來反映出該等離子體的輻射溫度。因此對于快速精確的測量等離子體陰極放電時其陰極場溫度具有重要的意義。

對于真溫和發(fā)射率的測量，多光譜高溫計依然是最為主要的測量裝置。2005年，Simmons等采用CCD相機(jī)成像測量了粒子加速器中熱離子鎢陰極的溫度和不均勻性，通過獲取0.4 μm下的藍(lán)光光譜進(jìn)行測溫，測溫精度為3%[2]。2011年，Bergner等根據(jù)CCD相機(jī)測試結(jié)果反演出鎢陰極的表面溫度分布，并采用了890 nm的干涉濾光片，在該波長下對CCD進(jìn)行了校準(zhǔn)[3]。2017年，Methling等采用光纖式近紅外光譜儀結(jié)合高速攝像機(jī)測量了10～20 kA正弦電流下銅陽極表面溫度，并通過校正電極發(fā)射光譜獲得了電極表面發(fā)射率，同時討論了等離子體輻射對測量帶來的影響[4]。與一般溫度場探測不同，真空弧陰極溫度場的空間尺度和時間尺度都很小，這給溫度場的測試帶來很大困難，常規(guī)的輻射測溫儀無法滿足要求。因此，本文研制了基于高速CCD相機(jī)的真空弧等離子體陰極放電溫度場測量多光譜高溫計，并對該高溫計進(jìn)行了測試，獲取了真空弧等離子體陰極放電的數(shù)據(jù)，并計算了陰極溫度場測的溫度值。

1 測量原理

本文研制的多光譜高溫計具有4個光譜通道，采用多光譜測量方法，用于金屬電極放電后陰極場溫度測量。

如果多波長溫度計有n個通道，則第i個通道測得的亮溫Ti與目標(biāo)真溫T的關(guān)系為

lnε(λi,T)=a+bλi

(1)

(2)

將式(1)代入式(2)，可得

(3)

整理得

(4)

(5)

本文采用的是4個光譜通道，其表達(dá)式為

(6)

通過進(jìn)行擬合計算得出被測目標(biāo)的真實(shí)溫度。

2 測量裝置設(shè)計

高溫計主要由高速CCD相機(jī)和控制計算機(jī)系統(tǒng)兩部分組成。高溫計測量系統(tǒng)原理如圖1所示。高溫計的高速CCD相機(jī)具體包括成像系統(tǒng)、圖像傳感以及采集系統(tǒng)?？刂朴嬎銠C(jī)系統(tǒng)包括圖像處理系統(tǒng)。高溫計的成像系統(tǒng)和圖像傳感及采集系統(tǒng)主要用于將電極輻射能量信號處于高速CCD相機(jī)的非飽和區(qū)域，并最終得到被測電極目標(biāo)的數(shù)字圖像。圖像處理系統(tǒng)主要是在計算機(jī)系統(tǒng)中運(yùn)行的，高速CCD相機(jī)由一根網(wǎng)線連接至上位機(jī)，通過上位機(jī)的軟件對圖像進(jìn)行采集及后續(xù)處理，最終得到放電電極的溫度(場)信息。

圖1 高溫計原理圖Fig.1 Schematic diagram of pyrometer

本文設(shè)計的高溫計具有如下性能： 具有較高的時間分辨率和空間分辨率； 濾光片的波長選擇要避開等離子體輻射中輻射較強(qiáng)的部分，保證探測器能獲得足夠的輻射能量，提高儀器的精度和靈敏度。(1)溫度場測量時所采用波長數(shù)量決定了高溫計使用濾光片數(shù)量，濾光片數(shù)量增加會增加系統(tǒng)設(shè)計的復(fù)雜性。本文中采用4個波長進(jìn)行溫度測量。根據(jù)文獻(xiàn)[5]，陰極表面溫度的理論計算值均在2 000 K以上，因此探測波段應(yīng)偏向短波波段，為了消除弧光的影響，根據(jù)參考文獻(xiàn)[1]發(fā)現(xiàn)真空弧放電等離子體的發(fā)射光譜為線狀譜而非連續(xù)譜，通過選擇輻射較弱或不存在的波段，作為陰極溫度的探測波段。本文選擇4個波長分別為： 460，550，570和640 nm。本文選擇的濾光片為BP系列濾光片，其規(guī)格直徑6.3 mm×1.1 mm； Δλ=20 nm。(2)高速CCD相機(jī)選擇。采用的高速相機(jī)要具有以下性能，一是相機(jī)的響應(yīng)波段要包含輻射測溫所使用的探測波段，二是相機(jī)的時空分辨率要滿足要求。根據(jù)文獻(xiàn)[6]，真空弧陰極溫度場區(qū)域直徑約為50 μm，存在時間約為2 μs，對高溫計進(jìn)行空間分辨率測試，測試中目標(biāo)的寬度為15.9 mm在圖像里有512個像素，空間分辨率就是單個像素代表的距離，通過計算其結(jié)果為31.05 μm。本文采用的高速CCD相機(jī)最小曝光時間為293 ns，因此高速CCD相機(jī)的時空分辨率滿足探測要求。三是高速CCD相機(jī)在所選波段范圍內(nèi)能有效的探測到陰極目標(biāo)輻射。

現(xiàn)有彩色CCD相機(jī)不能完全消除等離子體放電產(chǎn)生的弧光。只能采用單色CCD相機(jī)，單色相機(jī)只能測到單一波長下的溫度值。為解決上述面臨的問題，本文設(shè)計了用于等離子體放電陰極溫度測量的新型多光譜高溫計。將一個濾光片四分波長，即將4種不同波長的濾光片嵌入到1個大的濾光片中，這樣單色相機(jī)就可以實(shí)現(xiàn)四波長下的測溫。測量系統(tǒng)采用4分孔徑分光系統(tǒng)，即將光路分割成4個通道，通過加裝的濾光片實(shí)現(xiàn)對光譜的分離，在CCD探測器上實(shí)現(xiàn)四幅成像，實(shí)現(xiàn)多光譜測溫，進(jìn)而得到等離子體放電陰極溫度。圖2是設(shè)計的單色多波長高溫計的鏡頭光學(xué)原理及結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2 高溫計鏡頭光學(xué)原理及結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2 Diagram of optical principle and structure for pyrometer lens

3 高溫計的標(biāo)定與現(xiàn)場試驗(yàn)

(1)高溫計的標(biāo)定

為獲得真空弧等離子體放電陰極溫度，需要知道多波長高溫計每個通道的亮溫值和有效波長，因此需要進(jìn)行標(biāo)定，本文利用濾光片確定了目標(biāo)各個通道有效波長，不需要對波長進(jìn)行標(biāo)定，只需要對溫度下目標(biāo)所輻射的能量進(jìn)行溫度標(biāo)定。利用最小二乘法對數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，以獲得最佳擬合結(jié)果。本文以第三通道為例，進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，擬合的相關(guān)系數(shù)為0.998 2。圖3為研制的高溫計第三通道亮溫標(biāo)定曲線圖。

圖3 第三通道亮溫標(biāo)定曲線Fig.3 Bright temperature calibration curve of the third channel

(2)現(xiàn)場實(shí)驗(yàn)

為進(jìn)一步驗(yàn)證設(shè)計的多光譜高溫計的有效性，在中國工程物理研究院進(jìn)行驗(yàn)證。應(yīng)用高溫計對等離子體放電陰極的溫度場進(jìn)行測量。放電電流為880 A，放電電極為銅電極。圖4為放電開始前對銅電極拍攝的不同波長下4幅圖像。通過圖4可以清晰的拍攝到1個濾光片下的4種波長下的4幅成像圖，這樣就可以通過灰度-溫度得到陰極放電電極的溫度。圖4(a)為灰度圖，圖4(b)偽彩色圖。

圖4 銅電極的4幅成像圖 (a)： 銅電極的灰度圖； (b)： 銅電極的偽彩色圖Fig.4 Four images of copper electrodes (a)： Gray scale image of copper electrode； (b)： Pseudo-color image of copper electrode

本次測量放電電流880 A放電過程中銅電極陰極溫度場溫度。由于放電過程中，高溫計部分通道灰度值出現(xiàn)飽和現(xiàn)象，需加入2%的衰減片進(jìn)行溫度場測量。圖5為t1—t9時刻有衰減片的溫度場分布圖。

通過圖5溫度分布圖可以繪制出同一電流不同放電時刻溫度變化圖。圖6為放電電流880 A放電過程中不同時刻測量溫度變化曲線圖。

本文研制的高溫計在最小曝光時間293 ns下通過外部觸發(fā)完全能夠拍攝到等離子體放電的過程。通過圖6計算出對于同一放電電流情況下測量的陰極溫度。銅電極沸點(diǎn)溫度在2 567 ℃，等離子體在氣化過程中陰極溫度會降低，所以理論上陰極溫度略小于2 567 ℃，等離子體放電溫度測量實(shí)驗(yàn)中測得的陰極溫度峰值為2 541.51 ℃，略低于銅電極沸點(diǎn)，與理論值相符，說明了設(shè)計的高溫計可以有效測量等離子體放電陰極溫度。

圖5 有衰減片銅電極t1—t9時刻溫度場分布圖Fig.5 Temperature field distribution of attenuator copper electrode at time t1—t9

圖6 同一放電電流不同放電時間溫度圖Fig.6 Temperature diagram of different discharge time for the same discharge current

4 不確定度分析

采用的高溫計的測量不確定度受多種因素的影響，主要包括四個方面： 理論誤差的不確定度； CCD相機(jī)在非理想情況下響應(yīng)波長帶寬不確定度； 發(fā)射率變化不確定度； 標(biāo)定的不確定度。

理論誤差不確定度在本次高溫測量中，通過使用維恩公式得出系統(tǒng)的理論誤差，系統(tǒng)的最大相對誤差為εe=1.0%； CCD相機(jī)在非理想情況下響應(yīng)波長帶寬不確定度為εa=0.012%； 目標(biāo)發(fā)射率變化不確定度根據(jù)文獻(xiàn)[10]，經(jīng)計算可知發(fā)射率變化不確定度為εb=0.93%； 標(biāo)定的不確定度本文只需要溫度標(biāo)定，因此標(biāo)定的不確定度就是溫度標(biāo)定的不確定度，根據(jù)該高溫計的溫度標(biāo)定結(jié)果可知，標(biāo)定的不確定度為εc≈0.14%。

由以上不確定度分析可以得到此多波長高溫計的真溫測量的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為

(9)

通過乘以包含因子k=2，得到合成擴(kuò)展不確定度為2.74%，此時置信概率為95%。

5 結(jié) 論

研制了基于高速CCD相機(jī)的單色四波長真空弧等離子體陰極放電溫度測量多光譜高溫計，其波長范圍為300～900 nm。本文對濾光片進(jìn)行了重新設(shè)計，將4種不同波長的濾光片嵌入到1個濾光片中，實(shí)現(xiàn)多光譜測溫。通過對等離子體陰極放電溫度的現(xiàn)場測量，驗(yàn)證了高溫計的工作性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，所研制的高溫計可以測等離子體放電陰極溫度。在同一放電電流情況下，陰極的溫度隨放電時刻的變化先增大后減小，實(shí)驗(yàn)值與理論值相符。高溫計測量的是等離子體放電陰極溫度。高溫計的研制成功為真空弧等離子體陰極放電的真實(shí)溫度測量提供了一種有效的途徑。