化學(xué)氣相沉積法從MTS-H2-N2前驅(qū)體制備碳化硅涂層
2020-10-27 02:16:42賈林濤,王夢(mèng)千,朱界等
陶瓷學(xué)報(bào) 2020年2期
關(guān)鍵詞：化學(xué)
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