亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        碳化硅肖特基器件的氧化退火技術(shù)研究

        2020-10-20 09:13:02崔嚴(yán)勻袁敏杰王訓(xùn)輝
        微處理機(jī) 2020年5期
        關(guān)鍵詞:界面工藝實(shí)驗(yàn)

        崔嚴(yán)勻,袁敏杰,王訓(xùn)輝

        (無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司, 無(wú)錫214061)

        1 引 言

        電力電子技術(shù)作為本世紀(jì)的關(guān)鍵技術(shù),目前已經(jīng)應(yīng)用在國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)方面,同時(shí)開啟了自身高頻化、集成化和智能化的時(shí)代[1-2]。在用新型半導(dǎo)體材料制成的功率器件中,目前發(fā)展前景最好的是碳化硅功率器件。碳化硅具有寬帶隙、高本征溫度、高熱導(dǎo)、高絕緣強(qiáng)度(比硅高一個(gè)數(shù)量級(jí))等優(yōu)點(diǎn)[3-4],因此作為一種優(yōu)越的材料被應(yīng)用在航空航天、雷達(dá)與通信領(lǐng)域,特別是在高溫、強(qiáng)酸強(qiáng)堿和輻射等極端環(huán)境下,碳化硅器件也越來(lái)越發(fā)揮著重要作用[5-6]。

        2 SiC 肖特基器件氧化技術(shù)理論

        隨著SiC 材料制備的提純結(jié)晶方面的問(wèn)題的解決和器件加工工藝的發(fā)展,特別是高溫加工技術(shù)的突破,使其應(yīng)用領(lǐng)域日益拓寬,甚至進(jìn)入實(shí)用化。在不遠(yuǎn)的未來(lái)時(shí)期,新型SiC 功率器件將大有可為[7-8]。因?yàn)樵赟iC 的加工過(guò)程中,氧化速率與其表面晶向、襯底摻雜濃度有關(guān),加之SiC 中C 的存在,使得SiC材料的氧化速率相對(duì)比較慢。另外,氧化后的界面狀態(tài)直接關(guān)系到器件的好壞,想要獲得良好的SiC/SiO2界面電學(xué)質(zhì)量,還需要研究出一套合理的工藝條件,包括對(duì)襯底晶向和類型、氧化溫度和氣氛、襯底摻雜類型和濃度及氧化后退火條件等的綜合考量。對(duì)此,可進(jìn)行大量不同條件的氧化實(shí)驗(yàn),對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果仔細(xì)分析,對(duì)比氧化速率和界面質(zhì)量上存在的差異制定相應(yīng)工藝,比如采用濕氧氧化提高氧化速率,采用干氧氧化獲得致密氧化層,采用干-濕-干氧化在保證氧化速率的同時(shí)也保證界面處氧化層的均勻性及致密性。

        3 氧化實(shí)驗(yàn)分析

        具體實(shí)驗(yàn)方案為:將樣片分為兩個(gè)批次,氧化溫度皆設(shè)為1050℃;退火氣氛為N2,退火溫度設(shè)為1200℃,退火時(shí)間為30min;兩批實(shí)驗(yàn)都取一塊N 型襯底片進(jìn)行外延生長(zhǎng),形成厚度為15μm、摻雜濃度為1×1015cm-3的N 型外延層。

        先把第一批次外延片劃割成2 片,編號(hào)為1號(hào)、2 號(hào)。1 號(hào)樣片采用干氧3h 的氧化方式;2 號(hào)樣片采用濕氧2h+干氧1h 的氧化方式。然后把第二批次外延片也同樣劃割成2 片,編號(hào)為3 號(hào)、4 號(hào)。3號(hào)樣片采用濕氧3h 的氧化方式;4 號(hào)樣片采用干氧1h+濕氧2h+干氧1h 的氧化方式。

        如此進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。樣片出爐后,對(duì)不同批次樣品分別進(jìn)行高頻C-V 測(cè)試,并計(jì)算出界面態(tài)密度的具體結(jié)果。實(shí)驗(yàn)得到的各數(shù)值曲線如圖1、圖2 所示。

        圖1 高頻C-V 測(cè)試結(jié)果曲線圖

        圖2 界面態(tài)密度分布圖

        4 結(jié)論分析

        對(duì)上述線線進(jìn)行觀察分析:第二批次比第一批次的界面態(tài)密度好,這應(yīng)該是由某些人為因素以及難以控制的環(huán)境因素影響所引起的;純干氧氧化的界面態(tài)比先濕氧再干氧的界面態(tài)密度高,原因是濕氧引入了水汽,從而改善了界面態(tài)。通過(guò)與同樣用了濕氧氧化的實(shí)驗(yàn)組對(duì)比來(lái)看,純濕氧氧化的界面態(tài)密度稍低于干-濕-干氧化,據(jù)推測(cè),是干-濕-干氧化后面的干氧氧化階段使得界面態(tài)密度略大。通過(guò)比較1 號(hào)和2 號(hào)樣片,可以看出濕氧2h+干氧1h 的方案比純粹干氧3h 的氧化速度更快,從中可得出結(jié)論:濕氧氧化比干氧氧化快,更加有利于厚氧的形成;干氧氧化可得到致密的氧化層;而干-濕-干氧化可在保證氧化速率的同時(shí)也保證界面處氧化層的均勻性及致密性。

        5 結(jié) 束 語(yǔ)

        半導(dǎo)體器件的品質(zhì)優(yōu)劣很大程度上取決于氧化退火工藝效果,因此氧化退火技術(shù)是半導(dǎo)體加工中的一步重要工藝,對(duì)于新興高潛力材料碳化硅的加工也是如此。在碳化硅器件制造過(guò)程中,通過(guò)對(duì)關(guān)鍵工藝條件進(jìn)行調(diào)節(jié),觀察氧化層的生長(zhǎng)效果,可以通過(guò)對(duì)比得出最合宜的工藝方案。實(shí)驗(yàn)的設(shè)置方式和得出的結(jié)論結(jié)果對(duì)碳化硅肖特基二極管器件的工藝設(shè)計(jì)技術(shù)和加工制備技術(shù)的優(yōu)化息息相關(guān)。此類研究為進(jìn)一步開發(fā)碳化硅材料氧化退火工藝、爭(zhēng)取早日實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化打下良好基礎(chǔ),尤其對(duì)碳化硅肖特基二極管的加工制備技術(shù)有較為現(xiàn)實(shí)的參考價(jià)值。

        猜你喜歡
        界面工藝實(shí)驗(yàn)
        記一次有趣的實(shí)驗(yàn)
        國(guó)企黨委前置研究的“四個(gè)界面”
        轉(zhuǎn)爐高效復(fù)合吹煉工藝的開發(fā)與應(yīng)用
        山東冶金(2019年6期)2020-01-06 07:45:54
        做個(gè)怪怪長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)
        5-氯-1-茚酮合成工藝改進(jìn)
        基于FANUC PICTURE的虛擬軸坐標(biāo)顯示界面開發(fā)方法研究
        人機(jī)交互界面發(fā)展趨勢(shì)研究
        NO與NO2相互轉(zhuǎn)化實(shí)驗(yàn)的改進(jìn)
        實(shí)踐十號(hào)上的19項(xiàng)實(shí)驗(yàn)
        太空探索(2016年5期)2016-07-12 15:17:55
        一段鋅氧壓浸出與焙燒浸出工藝的比較
        亚洲女同精品一区二区久久| 青青草视频网站免费看| 久久精品亚洲国产av网站| 亚洲av色香蕉一区二区三区| 欧美艳星nikki激情办公室| 色综合久久中文综合久久激情| 国产成人激情视频在线观看| 蜜桃91精品一区二区三区| 国产精品久久久久9999小说| 黄色毛片在线看| 久久婷婷国产五月综合色| 久久精品国产亚洲av高清三区| 狠狠躁夜夜躁人人躁婷婷视频| 亚洲AV日韩AV永久无码电影| 亚洲精品综合在线影院| 久久精品国产亚洲av久按摩 | 国产精品乱码在线观看| 日本一区免费喷水| 久久本道久久综合伊人| 大胸少妇午夜三级| 国产精品视频牛仔裤一区| 久久激情人妻中文字幕| 免费国产在线精品一区二区三区免| 久久久www成人免费精品| 射死你天天日| 在线观看国产内射视频| 日本av一级视频在线观看| 中文字幕日韩人妻在线视频| 一本色道av久久精品+网站 | 免费一级淫片日本高清| 伊人久久精品久久亚洲一区| 综合无码综合网站| 国产一级黄色av影片| 亚洲色图在线免费视频| 中文字幕被公侵犯的漂亮人妻| 女性自慰网站免费看ww| 亚洲精品视频一区二区三区四区 | 女女互揉吃奶揉到高潮视频| 456亚洲人成影视在线观看| 给我播放的视频在线观看| 2021亚洲国产精品无码|