沈叢

半導體裝備制造業(yè)是為我國集成電路和半導體器件行業(yè)提供工藝裝備的戰(zhàn)略性產業(yè)，是提升我國半導體產業(yè)制造能力的高端裝備制造產業(yè)，也是國家支持的重大技術裝備產業(yè)。中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠向《中國電子報》記者表示，目前我國光伏設備以及LED設備目前已經基本上全面本土化，集成電路設備目前相比較而言依賴于進口較多。如今，如何快速發(fā)展本土半導體設備也成為人們關注的焦點。

中國半導體設備

產業(yè)繼續(xù)保持快速增長

近年來，中國半導體設備產業(yè)發(fā)展迅速，市場規(guī)模逐步擴大。2019年中國半導體設備繼續(xù)保持快速增長。

半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。近年來，中國半導體設備產業(yè)發(fā)展迅速，市場規(guī)模逐步擴大。據金存忠介紹，在2019年，中國半導體設備繼續(xù)保持快速增長，根據中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內47家規(guī)模以上（半導體設備年銷售收人500萬元以上）半導體設備制造商2019年完成的主要經濟指標統(tǒng)計顯示：半導體設備銷售收人完成161.82億元，同比增長30%;半導體設備出口交貨值完成16.35億元，同比增長2.6%;半導體設備制造商實現總利潤（含所有產品）27.13億元，同比增長26.7%。此外，2016年-2019年中國半導體設備制造商銷售收人年均增長41.3%，實現總利潤年均增長23.5%，出口交貨值年均增長27.8%。

此外，目前我國集成電路和光伏設備訂單增長較快，在2019年訂單基本處于飽和狀態(tài)的基礎上，今年上半年依然保持良好。同時，SEMI數據顯示，2019年中國大陸半導體設備市場規(guī)模達到134.5億美元，占比全球半導體設備市場的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整個半導體產業(yè)萎縮、全球半導體設備銷售額下降7%的大背景下，中國半導體設備市場需求仍然保持3%的增長?？梢娭袊雽w設備市場規(guī)模之龐大。

高端設備

產業(yè)發(fā)展面臨三大問題

由于集成電路設備產業(yè)具備極高的門檻和壁壘，國產集成電路設備依然面臨著種種挑戰(zhàn)。

與此同時，由于集成電路設備產業(yè)具備極高的門檻和壁壘，國產集成電路設備依然面臨著種種挑戰(zhàn)。金存忠介紹，目前中國集成電路設備產業(yè)主要面臨著三大問題。首先，目前國產集成電路設備市場占有率較

低。2019年中國集成電路設備在中國大陸市場占有率僅為10%左右。

其次，中國集成電路晶圓生產關鍵設備（如光刻機）仍需依賴于進口，14nm制程國產集成電路晶圓生產設備2019年剛剛進人產線量產，落后2019年國際先進的5納米量產生產線設備二代以上。此外，一些已進入晶圓量產生產線的國產設備中，有些設備與國際同類設備相比依然存在差距。

最后，目前國產半導體設備關鍵部件本地化進程緩慢，進口依賴度較大，集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手（潔凈、真空）、高溫加熱裝置（溫控器）、射頻電源、真空閥門等。

產業(yè)處于較好市場環(huán)境

廠商將擴產提速

隨著我國半導體產業(yè)制造能力的提升，在一些問題迎刃而解的同時也迎來了很多新的發(fā)展機遇。

然而，隨著我國半導體產業(yè)制造能力的提升，在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發(fā)展機遇。金存忠認為，2019年國產集成電路晶圓生產線設備產業(yè)化發(fā)展迅速，集成電路晶圓生產線主要核心工藝設備已達到14納米量產水平，并且，中微半導體設備（上海）有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過了生產線的驗證。據預計，2020年國產集成電路設備銷售收人將增長50%左右。

其次，平價上網的到來給太陽能電池設備也帶了很多新的發(fā)展機遇。2019年是太陽能發(fā)電平價上網的元年，先進的PRCE晶硅太陽能電池片生產線設備受到市場的追捧成為光伏企業(yè)擴產的首選，全自動、智能化、大產能單晶硅生：長和切片設備銷售也得到快速增長。2019年國產太陽能電池片生產設備銷售收人將繼續(xù)保持增長態(tài)勢，同比增長40%。

最后，金存忠預測，盡管受疫情影響，2020年第一季度半導體設備銷售情況一般，但是集成電路設備和太陽能電池片制造設備市場增長趨勢沒有改變，預計2020年中國主要半導體設備制造商銷售收人將達200億元左右，同比增長20%左右。此外，金存忠認為，2020年國內集成電路設備行業(yè)將處于較好的市場環(huán)境，中國大陸本土集成電路晶圓廠將擴產提速，國產裝備將在2020年進人較快發(fā)展時期。預計2020年集成電路生產設備將增長30%左右，銷售收人將超過太陽能電池片生產設備達到90億元以上。