Plessey動作連連，近期宣布與衍射光波導組件設計和生產(chǎn)企業(yè)WaveOptics合作開發(fā)智能眼鏡用Micro LED模塊。2020年2月6日，Plessey又宣布與美國設備廠商Axus Technology（Axus）達成合作關系，旨在將高性能硅基氮化鎵單片Micro LED技術推向大眾市場。

資料顯示，Axus是半導體應用化學機械拋光（CMP）、晶圓減薄和晶圓拋光表面處理解決方案的全球供應商。

消息稱，Plessey通過向Axus訂購金屬及氧化物CMP和相關工具，持續(xù)大力投資生產(chǎn)設備以提升其專有Micro LED顯示的生產(chǎn)能力，實現(xiàn)Micro LED晶圓與高性能CMOS背板的晶圓級粘合。

此前，大量Axus的CMP和Scrubber系統(tǒng)已用于實現(xiàn)關鍵的晶圓平面化以及晶圓級粘合的準備。晶圓級粘合帶來了重大的技術挑戰(zhàn)，即使采用合適的設備也需要廣泛的專業(yè)知識和精細化的工藝。2019年，Plessey采用Axus的系統(tǒng)后實現(xiàn)了世界首個功能性晶圓級硅基氮化鎵單片1080p 0．7英寸對角線8微米像素間距的Micro LED有源矩陣顯示器。

此后，Plessey進一步優(yōu)化這些系統(tǒng)和工藝，在更小的單色天然綠1080p Micro LED顯示器（0．26英寸對角線）與Compound Photonics設計的3微米背板顯示系統(tǒng)之間成功實現(xiàn)晶圓到晶圓的粘合，創(chuàng)造了200多萬獨立電子鍵。

Plessey表示，雙方的合作促進了用于不同材料CMP關鍵工藝的發(fā)展，這些材料對于實現(xiàn)Plessey的專有單片硅基氮化鎵技術起到關鍵作用。兩家公司的工程師已經(jīng)通過合作成功在Axus位于亞利桑那的CMP制造廠和Plessey在英國的半導體制造廠實現(xiàn)了這些目標。