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        基于MEMS加速度計的高精度傾角傳感器研制

        2020-03-31 11:43:14曹貫強趙文生
        自動化儀表 2020年3期
        關(guān)鍵詞:測量

        曹貫強,趙文生

        (中煤科工集團北京天地瑪珂電液控制系統(tǒng)有限公司,北京 100020)

        0 引言

        液壓支架是采煤工作面中的關(guān)鍵設(shè)備,其性能對工作面的生產(chǎn)效率有很大影響[1]。隨著煤礦開采智能化、無人化水平的不斷提高,實現(xiàn)液壓支架姿態(tài)模型檢測變得越來越重要。其中,傾角傳感器作為角度測量單元,是姿態(tài)檢測中最常用到的設(shè)備之一[2]。通過傾角傳感器,不僅可以直接獲取支架各部件的姿態(tài)角度[3-4],還可以通過與支架部件幾何尺寸的耦合關(guān)系,精確求得支架的支護高度[5-6],便于實時掌握液壓支架的姿態(tài)信息,實現(xiàn)智能化控制。

        近年來,微電機系統(tǒng)(micro electro mechanical system,MEMS )技術(shù)迅速發(fā)展。MEMS加速度計憑借其體積小、功耗低、精度高、集成度好等優(yōu)點,在低成本的傾角傳感器制作中有著越來越廣泛的應(yīng)用[7-9]。在物體靜止和勻速運動狀態(tài)下,加速度計傾角傳感器具有較高的測量精度。但在實際應(yīng)用過程中,受限于傳感器自身的結(jié)構(gòu)、材料及制作工藝等影響,傳感器內(nèi)部會存在對測量結(jié)果產(chǎn)生干擾的諸多因素,如偏移誤差及增益誤差等,會造成傳感器的輸出數(shù)據(jù)與實際狀態(tài)間的偏離;同時,在焊接及裝配過程中,由于加工工藝等的局限性,會造成加速度計的測量軸與設(shè)備的坐標軸不能夠完全平行的情況,使測量的角度不能真實反映物體的傾斜角度[10]。這些都會對傾角傳感器的角度測量產(chǎn)生較大干擾。

        針對上述問題,本文通過選用ADI公司的ADXL355三軸加速度計,設(shè)計了校準方法,降低傳感器自身測量誤差及安裝過程中產(chǎn)生的誤差,制作了高精度傾角傳感器。該傳感器可實現(xiàn)三軸坐標下±90°范圍內(nèi)的角度輸出。傳感器測量精度可達到0.1°,能夠滿足煤礦井下的應(yīng)用要求。

        1 加速度傾角傳感器算法設(shè)計

        1.1 加速度計測量角度基本原理

        MEMS加速度計不能直接測量部件的傾角。在測量角度時,它通過檢測部件在靜止或勻速運動狀態(tài)下重力矢量在其各軸上的投影分量,采用三角函數(shù)求得坐標軸與重力方向(即豎直方向)的夾角,計算出物體的傾斜角度。加速度計測傾角原理如圖1所示。

        圖1 加速度計測傾角原理圖Fig.1 Principle of tilt measurement by accelerometer

        圖1中,部件X軸與水平線的傾角θ與重力矢量有如下所示關(guān)系:

        AX[g]=1[g]×sin(θ)

        (1)

        式中:AX為加速度計X軸的輸出;θ為傾斜角度。

        通過反正弦函數(shù)即可求得部件的角度。但該方法中,當部件的傾斜角度越接近±90°時,對加速度計的靈敏度要求會越高。圖2所示為在Matlab上模擬的0.1°精度下加速度計靈敏度要求。從圖2可以看出,當要求的測量范圍為±23.7°時,靈敏度需要達到1.599 mg/0.1°;當測量范圍為±90°時,靈敏度需要提高到0.016 759 mg/0.1°。

        圖2 0.1°精度下加速度計靈敏度要求曲線Fig.2 Accelerometer sensitivity requirements curves for 0.1° accuracy

        目前,流行的方法是根據(jù)三軸加速度計的數(shù)據(jù),利用正切函數(shù)進行角度求解。它利用正弦函數(shù)與余弦函數(shù)的互補關(guān)系進行角度求解,可以在某一測量范圍內(nèi)降低單軸加速度數(shù)據(jù)靈敏度不高帶來的誤差。本文采用式(2)所示方法,計算X軸與水平面的夾角。

        1.2 傳感器誤差校準

        在傳感器測量數(shù)據(jù)完全精確的情況下,利用上述原理可以精確測得物體的姿態(tài)角度。但傳感器的數(shù)據(jù)很難保證理想精度。通過數(shù)據(jù)濾波的方法可以消除數(shù)據(jù)在采集過程中的干擾,不過傳感器內(nèi)部的影響因素卻無法消除。如傳感器的0偏移誤差及增益誤差,它們是每種傳感器都必然存在的誤差。若不進行處理,會對測量數(shù)據(jù)的精度產(chǎn)生一定甚至較大的影響。測量誤差曲線如圖3所示。

        圖3 測量誤差曲線Fig.3 The curves of measurement error

        參照ADXL355手冊上的平均0 g偏移量0.025 mg與最大增益誤差+8%處理后,按照式(2)計算出的理論誤差。從圖3中可以看出,角度的最大偏差可達到2°以上。當兩者誤差相疊加時,會造成更大的誤差,遠遠超出傾角傳感器要求的測量精度。

        為減少上述因素帶來的測量誤差,需要首先對采集到的數(shù)據(jù)進行校準處理,主要根據(jù)式(3)進行:

        AX[g]=AOFF+(GainAACTUAL)

        (3)

        式中:AX為實際加速度的輸出;AOFF為偏移量,理想情況下應(yīng)為0;Gain為增益,理想情況下為1;AACTUAL為理論加速度輸出,該數(shù)值首先經(jīng)過傳感器的增益誤差被放大,之后又被傳感器的偏移誤差干擾,造成測量角度的完全失準。

        根據(jù)式(3)進行求解較為容易,可以根據(jù)六組測量數(shù)據(jù)進行計算。其中,比較有效、簡單的方法是依次測量各傳感器軸處于±1g時的數(shù)據(jù)輸出,然后代入式(3)中,便可得到結(jié)果,如式(4)、式(5)所示。

        AOFF[g]=0.5

        (4)

        Gain=0.5×(A+1g-A-1g)

        (5)

        最后通過對式(3)的反求解,即可求得傳感器的理論數(shù)值。

        1.3 傳感器安裝誤差校準

        根據(jù)三軸角度算法并進行傳感器誤差校準后,可計算出物體的精確角度。但在將加速度計焊接到電路板、電路板組裝到設(shè)備殼體過程中,會使加速度計的測量軸與設(shè)備的坐標軸不完全平行。坐標系誤差如圖4所示。這同樣會對測量結(jié)果造成影響。

        圖4 坐標系誤差示意圖Fig.4 Schematic diagram of coordinate system error

        解決這一問題的方法是假設(shè)測量單元與設(shè)備的坐標原點相同,利用坐標旋轉(zhuǎn),將加速度計的測量坐標軸,先后經(jīng)過X軸、Y軸、Z軸的順序進行旋轉(zhuǎn),變換到部件所對應(yīng)的坐標軸上。假設(shè)旋轉(zhuǎn)矢量方向與坐標系軸一致為正,相反為負,可計算得到旋轉(zhuǎn)矩陣,如式(6)所示:

        (6)

        當產(chǎn)品焊接、組裝完成后,該矩陣即已確定不變,因此不需要對式(6)中的各個角度進行求解,而只需求解矩陣的整體數(shù)據(jù)即可。本文結(jié)合傳感器誤差校準過程中采集到的六組數(shù)值,進行矩陣求解。最后將測量的結(jié)果代入式(7)中求解實際角度。

        加速度計旋轉(zhuǎn)與未旋轉(zhuǎn)誤差對比如圖5所示。其利用ADXL355模塊采集的加速度數(shù)值,通過計算對比在旋轉(zhuǎn)及未旋轉(zhuǎn)時的角度輸出誤差。由圖5可以看到,經(jīng)坐標旋轉(zhuǎn)后的誤差得到了有效的降低。

        圖5 加速度計旋轉(zhuǎn)與未旋轉(zhuǎn)誤差對比圖 Fig 5 Comparison of the rotated and un-rotated errors of the accelerometer

        2 傾角傳感器產(chǎn)品設(shè)計

        2.1 硬件設(shè)計

        本文設(shè)計的傾角傳感器硬件結(jié)構(gòu)如圖6所示。

        圖6 傾角傳感器硬件結(jié)構(gòu)圖Fig.6 Hardware structure of tilt sensor

        其中,測量模塊為ADXL355。它是美國ADI公司推出的三軸傾角傳感器,具有低噪聲、低零漂、低功耗的特點,內(nèi)部自帶可編程濾波器,可以實現(xiàn)較高精度的輸出。處理模塊是NXP公司的LPC11E68。它是基于Cortex_M0+的微控制器,其內(nèi)部所包含的接口功能可滿足傾角傳感器產(chǎn)品設(shè)計需求,不會造成太多的資源浪費。電源模塊采用林特公司的LT3042,它可通過內(nèi)置的LDO模塊,實現(xiàn)高精度的穩(wěn)壓輸出。監(jiān)測模塊由看門狗及電流電壓檢測電路構(gòu)成,實時檢測電路的可靠性,提高產(chǎn)品的功能安全。輸出模塊為RS-485,通過Modbus總線協(xié)議與其他設(shè)備進行通信,實現(xiàn)測量結(jié)果的輸出。

        2.2 軟件設(shè)計

        軟件實現(xiàn)過程主要包括對硬件部分的初始化、數(shù)據(jù)的算法處理及通信協(xié)議的編寫等幾部分。傾角傳感器軟件流程如圖7所示。

        圖7 傾角傳感器軟件流程圖Fig.7 Software flowchart of tilt sensor

        系統(tǒng)上電后,首先對自身及外圍電路初始化,然后在主函數(shù)中實時檢測電路的電流電壓并進行軟件喂狗,確保自身運行的安全可靠,實現(xiàn)產(chǎn)品的功能安全。角度計算及串口回復(fù)功能均在中斷內(nèi)進行:通過內(nèi)置的定時器功能定時采集ADXL355三軸加速度數(shù)據(jù);然后通過誤差處理、坐標旋轉(zhuǎn)、數(shù)據(jù)濾波計算三軸坐標角度信息,將最終結(jié)果保存到內(nèi)存中,等待發(fā)送;RS-485接收到外部命令后,立刻進入串口中斷,通過中斷解析協(xié)議,進行傳感器的參數(shù)配置與角度數(shù)據(jù)的輸出。

        3 試驗測試

        依據(jù)上述原理及軟硬件方案,設(shè)計傾角傳感器原理樣機,并對三軸角度精度進行試驗驗證。

        首先將傾角傳感器放置在平面度小于0.003 mm的工作面上校準,然后利用不同角度的標準角度模塊對傾角傳感器的測量結(jié)果進行精度驗證。傾角傳感器測量結(jié)果誤差分析如表1所示。通過對傾角傳感器樣機的數(shù)據(jù)測試,可以實現(xiàn)三軸角度輸出,并且輸出精度基本都能夠控制在0.1°,可以滿足現(xiàn)場應(yīng)用條件的要求。

        表1 傾角傳感器測量結(jié)果誤差分析Tab.1 Error analysis of measuring results of tilt sensor

        4 結(jié)論

        本文利用MEMS加速度計設(shè)計了一款三軸傾角傳感器。通過對傳感器自身誤差的分析處理,利用誤差校準與坐標旋轉(zhuǎn),對測量的角度進行精確處理,提高了傾角傳感器的測量精度。試驗室測試表明,該傾角傳感器可測量三軸方向上±90°的輸出,且測量精度可以保證在0.1°以內(nèi)。

        此外,在研究過程中發(fā)現(xiàn)該產(chǎn)品存在進一步提升的可能性,以下兩點是今后改進工作的重點。

        ①通過非線性度消除、溫度補償、噪聲檢測等手段,全面消除傳感器內(nèi)部誤差,進一步提高傾角傳感器的產(chǎn)品性能[11]。

        ②增加陀螺儀,實現(xiàn)MEMS加速度計與陀螺儀數(shù)據(jù)融合,實現(xiàn)動態(tài)角度測量,擴大產(chǎn)品的應(yīng)用范圍[12]。

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