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        中國工程院院士、北京有色金屬研究總院名譽院長屠海令:未來多種半導體技術(shù)將共生發(fā)展

        2020-01-13 05:14:20劉偉鑫
        中國電子報 2020年90期
        關(guān)鍵詞:半導體技術(shù)碳化硅硅片

        有人把新一代信息技術(shù)總結(jié)成5個字“大智物移云”,大數(shù)據(jù)、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、移動通信和云技術(shù)。而這些技術(shù)都離不開集成電路的支撐。目前,集成電路還是以硅材料為主,按照摩爾定律再往前走8到10年應(yīng)該沒問題。無論采用何種技術(shù)體系,評價集成電路的四大標準不會改變,即PPAC——功耗(Power)、性能(Performance)、面積(Area)、成本tCosn)。

        中美貿(mào)易摩擦對壘球的半導體產(chǎn)業(yè)影響很大,也讓微納電子材料受到足夠重視,吸引了很多投資。

        集成電路硅片目前以200mm、300rnm為主。硅片尺寸越大,投料量越大,設(shè)備也會隨之增大,相應(yīng)的投資也會增加。無論硅片尺寸有多大,最后的價格都要變成每平方英寸1美元。因此,這對材料企業(yè)的挑戰(zhàn)很大。

        SEMI今年第一季度給出的數(shù)據(jù)顯示.2019年全球集成電路材料,包括硅片、SOI、光掩膜、光刻膠及配套試劑、電子氣體、工藝化學品、濺射靶材、CMP拋光材料等在內(nèi)的市場規(guī)模達到328.4億美元,2021年將達到344億美元。其中,硅片銷量達118億平方英寸,銷售額111.6億美元。

        除了硅技術(shù)以外,其他半導體技術(shù)發(fā)展也很迅速。近年來,以氯化罐和碳化硅為代表的第三代半導體在國內(nèi)風起云涌,但投資還是應(yīng)該謹慎,要吸取過去砷化鎵的教訓。未來幾年,碳化硅在電力電子的滲透率并不如想象的那幺高,它不能代替硅。且成本的降低和工藝的優(yōu)化始終是其要面臨的問題,目前碳化硅價格比較高,這導致用戶受限。總的來說,化合物半導體并不能取代硅,但是它能夠做硅半導體做不到的事,這幾種半導體技術(shù)將共生發(fā)展,各自有各自的定位。

        提到微納電子材料的短板,以下數(shù)據(jù)能夠說明一些問題。按照學歷來看,2019年半導體材料包括微納電子材料從業(yè)人員中,博士比例不到5%,雖然不能唯學位是論,但是應(yīng)該說人才隊伍的結(jié)構(gòu)還應(yīng)該再改進。過去大家都說美國硅谷的發(fā)展是金融和科技結(jié)合的產(chǎn)物,而實際上還有一條就是人才,大量的高科技、高技能的人才進入硅谷,才推動了硅谷的發(fā)展。此外,關(guān)鍵的儀器設(shè)備配套也需要及時跟上。

        今后30年,半導體材料體系建立在硅、硅基、化合物、氯基等基礎(chǔ)上,包括稀土有機復合等體系;技術(shù)路線是納米化、復合化、綠色化、結(jié)構(gòu)功能一體化,軟硬結(jié)合;發(fā)展路徑是新型舉國體制與市場經(jīng)濟機制相結(jié)合,協(xié)同創(chuàng)新。

        (劉偉鑫)

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