英諾推出耐等離子輻照的聚酰亞胺高功能塑料

日前，英諾（上海）工程塑料有限公司向微電子行業(yè)客戶推出一款牌號(hào)為“N-140”的聚酰亞胺（PI）材料。該款材料耐等離子氣體輻照，綜合性能優(yōu)良，可滿足半導(dǎo)體制造工序中對(duì)原材料的苛刻要求。

英諾聚酰亞胺制品

經(jīng)過改良配方后的N-140牌號(hào)聚酰亞胺具有更好的耐等離子輻射及耐高溫性能；在等離子氣體腐蝕下更低的分解性，對(duì)晶圓造成的污染更??；其它性能如強(qiáng)度、絕緣性、耐磨性亦有不錯(cuò)的表現(xiàn)。這款材料主要用在半導(dǎo)體前工序干法刻蝕領(lǐng)域及一些高端設(shè)備上的零配件；現(xiàn)已批量應(yīng)用在國(guó)內(nèi)的大型FAB企業(yè)及先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)。這款高端國(guó)產(chǎn)聚酰亞胺材料完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，和國(guó)外同款類材料性能相當(dāng)，可以作為替代材料來使用。在大幅度降低成本的同時(shí)，更短的交貨周期、專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，使客戶享受到更多本土化服務(wù)的優(yōu)勢(shì)。

英諾公司N-140牌號(hào)聚酰亞胺材料具有的耐等離子輻照、耐高溫、耐摩擦、高絕緣、高強(qiáng)度等綜合優(yōu)良性能；已廣泛應(yīng)用于：半導(dǎo)體、液晶顯示等微電子領(lǐng)域；在微電子領(lǐng)域用N-140牌號(hào)聚酰亞胺型材加工的工件有：CLAMP RING、止動(dòng)器、閥帽、固定環(huán)、隔熱帽、舟皿插片、摩擦導(dǎo)片、真空棒頭、熱絕緣子、水槽、運(yùn)送盤、真空把手、測(cè)試基座、傳輸組件等。這些工件在特殊的工作環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能，為微電子產(chǎn)品良率的提升及穩(wěn)定的可持續(xù)生產(chǎn)發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

英諾工程塑料愿做微電子領(lǐng)域高端零配件及材料國(guó)產(chǎn)化的踐行者！我們將把一流的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)提供給廣大客戶。英諾公司的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為客戶量身定制完善的產(chǎn)品解決方案；并且愿意和客戶一起研究開發(fā)更多領(lǐng)域的新應(yīng)用！