2019年12月16日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）在上海證券交易所科創(chuàng)板掛牌上市，公司證券簡稱為“芯源微”，證券代碼為“688037”，成為科創(chuàng)板第66家上市企業(yè)。

2019年3月，沈陽芯源微電子設備有限公司完成股份制改造，整體變更為沈陽芯源微電子設備股份有限公司，4月在遼寧證監(jiān)局輔導備案。讓人驚訝和贊許的是，芯源微自7月12日向上海證券交易所提交申報稿獲受理之后，歷經(jīng)兩輪問詢，至10月21日經(jīng)上海證券交易所審議獲通過，再到11月15日IPO注冊生效，短短百余天時間完成了從申報到注冊的所有流程。于12月16日在上海證券交易所鳴鑼上市，成為遼寧省科創(chuàng)板“第一股”。

芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機）。截至2019年6月30日，公司已獲得專利授權159項，擁有軟件著作權37項，主持制訂行業(yè)標準2項，形成獨有的“專利矩陣”。公司先后榮獲“國家級知識產(chǎn)權優(yōu)勢企業(yè)”、“國內(nèi)先進封裝領域最佳設備供應商”、“2018年中國半導體設備五強企業(yè)”、“全國第一批專精特新‘小巨人”等多項殊榮，公司產(chǎn)品先后獲得“國家戰(zhàn)略性創(chuàng)新產(chǎn)品”、“國家重點新產(chǎn)品”等多項榮譽。作為國內(nèi)主要的半導體設備廠商之一，芯源微在涂膠顯影設備和單片式濕法設備領域已深耕多年，生產(chǎn)的涂膠顯影設備成功打破國外壟斷并填補國內(nèi)空白，是國產(chǎn)涂膠顯影設備領域的先行者。

半導體被稱為制造業(yè)皇冠上的明珠，半導體產(chǎn)業(yè)是信息技術產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性產(chǎn)業(yè)，關乎技術制高點和信息安全，但半導體專用設備長期依賴進口，國產(chǎn)設備市占率不到13%。

芯源微十七年磨一劍，聚焦同一領域，專注國產(chǎn)半導體裝備的研發(fā)制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨頭。

通過多年的技術研發(fā)、實踐應用積累以及持續(xù)承擔國家02重大專項，開發(fā)出了國產(chǎn)涂膠顯影設備并實現(xiàn)量產(chǎn)，成功打破國外廠商壟斷，大大降低了國內(nèi)客戶采購成本和對國外設備的依賴。在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代，已成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內(nèi)的多家國內(nèi)知名一線大廠。在集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)，芯源涂膠顯影設備已開發(fā)完成，于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長江存儲進行工藝驗證，其中，上海華力機臺已于2019年9月通過工藝驗證并確認收入，長江存儲機臺目前仍在驗證中;此外，公司集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用清洗機產(chǎn)品目前已通過中芯國際（深圳廠）工藝驗證并成功實現(xiàn)銷售。截至2019年6月30日，芯源微電子公司產(chǎn)品已累計銷售近700余臺套，堪稱國內(nèi)半導體裝備產(chǎn)業(yè)細分市場的“隱形冠軍”。

本次成功登陸資本市場是公司發(fā)展的歷史性跨越，芯源微董事長兼總經(jīng)理宗潤福在上市儀式上致辭：“感恩偉大的時代！感謝科創(chuàng)板。芯源微特別契合科創(chuàng)板的定位——發(fā)揮資本市場的作用，助推國家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)快速健康發(fā)展，實現(xiàn)創(chuàng)新驅動，引領中國經(jīng)濟轉型。”

作為遼寧省科創(chuàng)板第一股，未來芯源微將不斷加大研發(fā)投入，繼續(xù)推進研發(fā)集成電路前道晶圓加工領域的新產(chǎn)品、新技術，持續(xù)提升技術能力、拓展產(chǎn)品覆蓋領域，以高性能的產(chǎn)品為客戶創(chuàng)造價值、以豐厚的業(yè)績回報投資人，將公司發(fā)展成為備受尊重的世界級半導體設備制造企業(yè)，回饋國家與社會！

集成電路是國家支柱性戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，國產(chǎn)集成電路裝備蓬勃發(fā)展，涂膠顯影機和單片清洗機有巨大的市場空間，創(chuàng)業(yè)才剛剛開始！同芯圓夢，精芯報國！