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        迄今最小NEMS加速度傳感器問世

        2019-12-18 09:15:22
        傳感器世界 2019年9期
        關(guān)鍵詞:研制機(jī)電石墨

        2019年9月2日,Nature Electronics在線報(bào)導(dǎo)了瑞典斯德哥爾摩KTH皇家理工學(xué)院的研究人員利用高導(dǎo)電性納米材料石墨烯,研制出了迄今最小的NEMS加速度傳感器(Graphene ribbons with suspended masses as transducers in ultra-small nanoelectromechanical accelerometers),比傳統(tǒng)的最先進(jìn)的MEMS硅加速度計(jì)至少小兩個(gè)數(shù)量級(jí)。這一設(shè)備有望促進(jìn)人體傳感器和導(dǎo)航技術(shù)的發(fā)展,用于研制心血管疾病監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、超靈敏的可穿戴設(shè)備和便攜式運(yùn)動(dòng)捕捉系統(tǒng)等。

        隨著技術(shù)的進(jìn)步,作為醫(yī)療創(chuàng)新的基礎(chǔ),微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)正在向納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)過渡。石墨烯獨(dú)特的材料特性使得越來(lái)越小的加速度傳感器成為可能。

        研究人員Xuge Fan介紹說(shuō):“由于石墨烯的原子級(jí)厚度,使我們可以縮小元件的尺寸,我們開發(fā)了一種壓阻式NEMS加速度傳感器,比目前任何可用的MEMS加速傳感器都要小得多。盡管小,但無(wú)損其靈敏度?!?/p>

        這種小型加速度傳感器未來(lái)有望應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,如手機(jī)導(dǎo)航、手機(jī)游戲和計(jì)步器、心臟病監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和可以監(jiān)測(cè)人體運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)捕捉可穿戴設(shè)備。其他潛在用途還包括超小型NEMS傳感器和執(zhí)行器,如諧振器、陀螺儀和麥克風(fēng)等。此外,這些NEMS傳感器也可以作為一個(gè)系統(tǒng),用來(lái)表征石墨烯的機(jī)械和機(jī)電性能。

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