王碩 常永偉 陳靜? 王本艷 何偉偉 葛浩

1)(中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,信息功能材料國家重點實驗室,上海 200050)

2)(中國科學(xué)院大學(xué),材料與光電研究中心,北京 100049)

1 引 言

絕緣體上硅(silicon-on-insulator,SOI)技術(shù)與體硅工藝相比,通過引入掩埋氧化物(buried oxide,BOX)結(jié)構(gòu)給器件提供了全介質(zhì)隔離,從而避免閂鎖效應(yīng),減少電荷泄漏,同時減小了寄生電容,提高了器件的開關(guān)速度[1].然而,直接將體硅工藝中的MOSFET移植到SOI工藝中,由于碰撞電離和電子隧穿,電荷將會在體區(qū)積累,導(dǎo)致MOSFET出現(xiàn)浮體效應(yīng)(floating-body effect,FBE).這些額外的電荷導(dǎo)致晶體管體電位不穩(wěn)定、亞閾值擺動異常以及漏極-源極擊穿電壓(drainto-source breakdown voltage,BVds)減小等問題[2].通常采用體區(qū)引出技術(shù)可以有效地抑制SOI器件的浮體效應(yīng).

在空間輻射環(huán)境中,輻射效應(yīng)主要分為總劑量輻射效應(yīng)(total ionizing dose,TID)和單粒子效應(yīng)(single event effect,SEE).其中,空間高能粒子在集成電路的材料中電離產(chǎn)生電子-空穴對,這些電荷在氧化層中積累形成氧化物陷阱電荷或者在氧化層與半導(dǎo)體材料的界面處形成界面陷阱電荷,從而造成器件的性能降低甚至功能失效,稱為總劑量輻射效應(yīng)[3].隨著半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步和數(shù)字集成電路性能的提升,靜態(tài)隨機(jī)存儲器(static random access memory,SRAM)在片上系統(tǒng)和專用集成電路上所占面積比例不斷增加,而靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元(SRAM cell)的特征尺寸卻不斷減小,SRAM存儲單元成為電路中總劑量效應(yīng)最敏感的部分之一[4].目前,已有許多體接觸場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)被提出來以改善總劑量效應(yīng),例如H柵場效應(yīng)晶體管器件[5],GAA[6],BUSFET[7]以及FlexFET[8].雖然它們可以抑制由總劑量效應(yīng)引起的淺溝槽隔離(shallow trench isolation,STI)或掩埋氧化物漏電流,但是它們存在面積過大、工藝步驟復(fù)雜、制造成本昂貴等缺點.

因此,本文設(shè)計了一種基于L型柵體接觸(L-gate body-contact,LB)MOSFET的6晶體管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元(6 transistors LB static random access memory cell,6T LB SRAM cell),并對基于不同MOSFET的單個靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元主要電學(xué)性能在總劑量效應(yīng)下的變化進(jìn)行研究,直觀地體現(xiàn)總劑量效應(yīng)對靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的影響.通過60Co-γ射線輻照分析,驗證了所提出的6T LB SRAM cell相比于基于傳統(tǒng)浮體場效應(yīng)晶體管的6晶體管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元(6T FB SRAM cell)具有漏電更小、穩(wěn)定性更高等特點,在輻射環(huán)境中具有穩(wěn)定可靠的實用價值.

2 SOI MOS器件

2.1 器件結(jié)構(gòu)

MOS器件結(jié)構(gòu)直接影響著靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的各方面性能.針對SOI工藝的特點,本文選擇了具有代表性的傳統(tǒng)浮體(floating body,FB)場效應(yīng)晶體管和T型柵體接觸(T-gate body-contact,TB)場效應(yīng)晶體管,如圖1(a)和圖1(b)所示.由于靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的版圖一般采用中心對稱的結(jié)構(gòu),同時考慮到面積作為靜態(tài)隨機(jī)存儲器設(shè)計的重要指標(biāo),于是本文采用了一種L型柵體接觸場效應(yīng)晶體管設(shè)計制備了具有緊湊版圖結(jié)構(gòu)的6T LB SRAM cell.圖1(c)為該 LB MOS器件的N型器件3維示意圖.以LB NMOS器件為例,該器件通過重?fù)诫sP型硅將P型體區(qū)引出,而重?fù)诫sP型硅又與器件的N型源區(qū)緊密接觸.如圖1(f)所示,硅的金屬工藝步驟將在源區(qū)與體區(qū)硅表面形成CoSi2硅化物,該硅化物實現(xiàn)了源區(qū)與體區(qū)互連的源體接觸結(jié)構(gòu).硅表面形成CoSi2硅化物是半導(dǎo)體工藝中常見的步驟,通常該工藝的目的在于增加MOS器件有源區(qū)和柵極的導(dǎo)電性能.該LB MOS器件遵守傳統(tǒng)SOI CMOS工藝版圖設(shè)計規(guī)則,不需要添加額外的掩模版或其他復(fù)雜工藝,可以實現(xiàn)較好的源體接觸.

2.2 SOI MOS器件的實驗系統(tǒng)及測量結(jié)果

圖1 (a)FB NMOS版圖;(b)TB NMOS版圖;(c)LB NMOS 3維示意圖;(d)LB PMOS版圖;(e)LB NMOS版圖;(f)LB NMOS器件沿(e)圖線A-A'截取的器件橫截面圖Fig.1.(a)The layout of FB SOI nMOSFET;(b)the layout of TB SOI nMOSFET;(c)the LB nMOSFET 3-dimensional schematic;(d)the layout of LB pMOSFET;(e)the layout of LB nMOSFET;(f)a cross-sectional view of LB nMOSFET is taken along line AA' in(e).

本文基于標(biāo)準(zhǔn)的130 nm SOI工藝,制備了相同尺寸(W/L=0.5 μm/0.13 μm)的 LB,TB和FB NMOS器件.其中,頂層硅(top silicon)和BOX的層厚度分別為100和145 nm,柵極氧化層的厚度為1.8 nm.所有器件在室溫下使用Agilent B1500A在片測試.

圖2(a)為VD=0.1 V時器件的轉(zhuǎn)移特性曲線,LB,TB和FB NMOS器件的線性閾值電壓(threshold voltage,Vth)幾乎相同.但是,當(dāng)柵極電壓VG=1.16 V時,FB NMOS器件跨導(dǎo)曲線出現(xiàn)峰值.這是由于NMOS器件體區(qū)價電子隧穿至柵極留下空穴,而多晶硅柵導(dǎo)帶空穴隧穿進(jìn)入體區(qū),體區(qū)空穴積累造成柵致浮體效應(yīng)(gate induced floating body effect,GIFBE),致使器件Vth降低、跨導(dǎo)升高.而LB和TB NMOS器件跨導(dǎo)曲線相對平緩,其柵致浮體效應(yīng)受到抑制.這與文獻(xiàn)[9]中的結(jié)果一致.除了柵致浮體效應(yīng),130 nm SOI MOS器件存在漏致勢壘降低(drain-induced barrier lowing,DIBL)效應(yīng),并導(dǎo)致浮體效應(yīng)[10].由圖2(b)可知,LB,TB和FB NMOS器件的DIBL值分別為 34.2,34.5和152 mV/V.LB和TB NMOS器件的DIBL效應(yīng)相近,并明顯優(yōu)于FB NMOS器件,有效地抑制了浮體效應(yīng).當(dāng)VD=1.2 V時,FB NMOS器件的Vth明顯小于LB和TB NMOS器件.LB,TB和FB NMOS器件的輸出特性曲線如圖2(c)所示.由于空穴注入,可以在FB MOS器件的輸出特性曲線中觀察到扭結(jié)效應(yīng)(kink effect)[11].在VDS＞ 0.6 V 時,FB NMOS 中的扭結(jié)效應(yīng)明顯,而LB和TB NMOS器件則明顯抑制扭結(jié)效應(yīng).圖2(d)顯示了 LB,TB和FB NMOS器件中漏極-源極擊穿電壓(BVds),其中BVds被定義為漏極電流ID=100 nA且柵極電壓VG=0 V時的漏極電壓,該效應(yīng)是由寄生雙極管導(dǎo)致源極-漏極穿通引起的[12].LB,TB和FB NMOS器件的BVds分別為3.15,3.20和2.45 V.LB NMOS的 BVds值比 FB NMOS增加 21%,與TB MOS幾乎相同.這是因為體電位固定在零電位,LB和TB NMOSFET的BVds得到有效改善.

測試結(jié)果表明,在130 nm SOI工藝下,LB MOS相比傳統(tǒng)FB MOS成功抑制了浮體效應(yīng),并且DIBL和BVds特性得到了改善.而且由于采用特殊體接觸設(shè)計,具有面積小、連接方便的優(yōu)點,工藝上與邏輯電路技術(shù)完全兼容.所以,LB MOS適用于大規(guī)模集成電路.

圖2 FB,TB和LB NMOS器件的(a)轉(zhuǎn)移特性曲線和跨導(dǎo);(b)ID-VG曲線;(c)輸出特性曲線;(d)BVds曲線Fig.2.(a)Transmission characteristic curve and transconductance;(b)ID-VG curve;(c)output characteristic curve;(d)BVds curves for the FB,TB and LB NMOS devices.

3 基于不同MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元

3.1 結(jié)構(gòu)與性能

本文所述靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元采用CMOS反相器交叉耦合的傳統(tǒng)6晶體管結(jié)構(gòu),如圖3所示.圖4 為 6T FB SRAM cell、6T LB SRAM cell與6T TB SRAM cell的版圖示意圖，最外圍通孔包圍的部分即靜態(tài)隨機(jī)存儲器最小的數(shù)據(jù)存儲重復(fù)單元.其中,6T LB SRAM cell的兩個選通傳輸管(access device,AC)采用TB NMOS器件,以確保所有晶體管實現(xiàn)體接觸.而上拉管(pull-up device,PU)和下拉管(pull-down device,PD)均使用LB MOS器件.對比圖4(b)與圖4(c)不難發(fā)現(xiàn),雖然LB MOS器件是一種非對稱的結(jié)構(gòu),但由于靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的版圖通常被設(shè)計成中心對稱的排布以實現(xiàn)最緊湊布局的目的,這使得LB MOS器件搭建的6T LB SRAM cell節(jié)省了上下邊緣的空間.為了實現(xiàn)靜態(tài)隨機(jī)存儲單元可讀可寫的約束條件,晶體管的導(dǎo)通能力應(yīng)滿足[13]:

這意味著(W/L)PD＞(W/L)AC＞(W/L)PU.依據(jù)該原則繪制的具有相同晶體管尺寸的6T LB SRAM cell,6T TB SRAM cell以 及 6T FB SRAM cell樣品的面積分別為3.36,4.29和2.1 μm2.根據(jù)圖5數(shù)據(jù),與6T FB SRAM cell相比,6T LB SRAM cell的讀狀態(tài)靜態(tài)噪聲容限(reading static noise margin,RSNM[14])提高了45.7%,而與基于TB MOS的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元(6T TB SRAM cell)性能接近.由此可見,6T LB SRAM cell在保證RSNM性能與6T TB SRAM cell基本一致的情況下,版圖面積可減少約22%.雖然其面積大于6T FB SRAM cell,但存儲單元的穩(wěn)定性能卻得到提升.

圖3 (a)基于FB器件的6管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的原理圖;(b)基于LB(或TB)器件的6管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的原理圖Fig.3.SOI SRAM cell schematic circuit of(a)The 6T FB SRAM cell;(b)the 6T LB SRAM cell or 6T TB SRAM cell.

圖4 (a)基于FB器件的6管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的版圖示意圖;(b)基于LB器件的6管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的版圖示意圖;(c)基于TB器件的6管靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的版圖示意圖Fig.4.SOI SRAM cell schematic layout of(a)The 6T FB SRAM cell;(b)the 6T LB SRAM cell;(c)the 6T TB SRAM cell.

圖5 基于LB,TB和FB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的RSNM曲線Fig.5.The RSNM curves of FB/TB/LB SRAM cell.

3.2 總劑量效應(yīng)實驗描述

實驗使用60Co-γ射線源模擬惡劣的輻射環(huán)境,測試靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的總劑量輻射效應(yīng).輻射的劑量率為276 rad(Si)/s.實驗測定了在100,300,500和700 krad(Si)的輻射劑量下靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的漏電流和讀狀態(tài)靜態(tài)噪聲容限.表1為針對不同測試項目器件的輻照偏置條件.測試均在輻照后1h內(nèi)完成,使用Keithley 4200SCS半導(dǎo)體參數(shù)分析儀測試靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的相關(guān)電學(xué)特性.

3.3 實驗結(jié)果與討論

靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元處于保持狀態(tài)時流過該單元所有器件總的漏電流量是反映該存儲單元靜態(tài)功耗的重要指標(biāo).圖6為靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的漏電流測試示意圖.測試時,VDD,BL和BLB相連接并接到供電電源,而WL和GND接到共同的地.保持狀態(tài)下,工作電壓(1.2 V)偏置時流經(jīng)地的電流即為儲器單元的漏電流.圖7顯示了不同輻射劑量下基于FB和LB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元總的漏電流.當(dāng)輻射總劑量增加到300 krad(Si)時,6T FB SRAM cell的漏電流從輻照前的152 pA急劇增加到194 pA.而當(dāng)輻照總劑量從500 krad(Si)增加到700 krad(Si)時,由總劑量效應(yīng)引起的漏電流增加量減少.這是由于總劑量輻射效應(yīng)導(dǎo)致的陷阱電荷趨于飽和.隨著溝道長度減小,漏極的電勢變化會影響到源極與體區(qū)之間的勢壘高度.高漏極電壓使得源極邊緣處的勢壘高度降低,增加了從源極注入溝道的載流子數(shù)量,導(dǎo)致漏極關(guān)態(tài)泄漏電流增加,這被稱為DIBL效應(yīng).該效應(yīng)廣泛存在于短溝道的體硅和部分耗盡SOI MOS器件.而LB MOS的體接觸結(jié)構(gòu)使源區(qū)和體區(qū)具有相同的電勢,高漏極電壓引起的帶隙變化主要發(fā)生在漏極和體區(qū)之間,源極和體區(qū)之間的勢壘高度的變化減弱.所以,LB MOS器件的DIBL效應(yīng)減弱.由于DIBL效應(yīng),Vth可表示為[15]

其中σ0,σ1和m是用于更好地擬合DIBL效應(yīng)的模型常數(shù).MOS器件亞閾值區(qū)的閾值電壓和電流關(guān)系可近似表示為

表1 基于LB和FB MOS器件靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元在輻照過程中的偏置條件Table 1. Bias conditions of 6T LB cell and 6T FB cell during irradiation.

圖6 (a)6T FB SRAM cell與(b)6T LB SRAM cell的漏電流測試電路及漏電路徑示意圖(假定Q存儲1邏輯值,QB存儲0邏輯值)Fig.6.The leakage current test circuit and the leakage path diagram of(a)6T FB SRAM cell and(b)6T LB SRAM cell(Assuming Q stores 1 logical value and QB stores 0 logical value).

圖7 基于LB和FB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的漏電流在不同輻射總劑量下的變化情況Fig.7.The cell leakage current of 6T FB SRAM cell and 6T LB SRAM cell at different radiation doses.

可見,MOS器件的Vth越小,關(guān)態(tài)漏電流越大.LB MOS器件的關(guān)態(tài)漏電流小于FB MOS,這與圖2(b)的結(jié)果一致.所以,在輻照前,6T LB SRAM cell比傳統(tǒng)的6T FB SRAM cell的漏電流小52%.通常對于SOI器件,相同的偏置條件下,浮體NMOS器件的漏電流受到總劑量輻射效應(yīng)的影響要比體接觸NMOS器件的稍微大一些[16].總劑量輻射效應(yīng)會增強(qiáng)MOS器件STI寄生晶體管以及SOI器件埋氧化層對應(yīng)的背柵晶體管的DIBL效應(yīng),導(dǎo)致器件漏電流增加[17,18].由于浮體器件對于DIBL效應(yīng)的抑制能力弱于LB MOS器件,導(dǎo)致FB MOS器件的寄生側(cè)壁晶體管以及背柵晶體管的漏電流隨輻射劑量增加的變化量高于LB MOS器件.另外,由圖1可以看到,LB MOS器件在結(jié)構(gòu)上比FB MOS器件減少了一個STI與器件體區(qū)的接觸面.這使得6T LB SRAM cell器件的輻射效應(yīng)關(guān)態(tài)漏電流比6T FB SRAM cell器件減小一倍以上.如圖7所示,當(dāng)輻射總劑量累積到700 krad(Si)時,6T LB SRAM cell的漏電流從輻照前的73 pA增加到89 pA,增加了21.9%.相比之下,6T FB SRAM cell的漏電流從輻照前的152 pA增加到215 pA,增加了41.4%,漏電流的增加量是6T LB SRAM cell的3.94倍.從該性能可以看出,6T LB SRAM cell的性能受TID效應(yīng)的影響小于6T FB SRAM cell.

6T FB SRAM cell的讀狀態(tài)靜態(tài)噪聲容限隨輻射劑量變化情況如圖8(a)所示.當(dāng)輻射劑量為100 krad(Si)時,RSNM曲線幾乎不變.然而,當(dāng)輻射劑量從100 krad(Si)增加到300 krad(Si)時,相應(yīng)的讀狀態(tài)靜態(tài)噪聲容限值從250 mV降低到144 mV,變化率為42.4%.6T LB SRAM cell的讀狀態(tài)靜態(tài)噪聲容限測量結(jié)果如圖8(b)所示.輻照前,該存儲單元的RSNM比6T FB SRAM cell高了1.93倍.當(dāng)總劑量增加到300 krad(Si)時,RSNM從420 mV變?yōu)?90 mV,下降比率為7.14%.當(dāng)總劑量為700 krad(Si)時,RSNM降至373 mV,比照射前的RSNM值低11.2%.已知SNM的表達(dá)式為[19]

圖8 (a)基于FB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元和(b)基于LB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的讀取靜態(tài)噪聲容限受總劑量輻射的影響Fig.8.(a)6T FB Cell read stability and(b)6T LB Cell read stability under various radiation doses.

在實際電路中,大部分的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元都是處于保持狀態(tài)下(WL=0 V,BL=BLB=VDD),SRAM單元的存儲結(jié)點將保存為“1”或“0”邏輯.當(dāng)接受輻照時,由于靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元兩個存儲結(jié)點的電位是相反的,所以結(jié)構(gòu)對稱的交叉耦合CMOS反相器處于不同的偏置狀態(tài).研究表明,寄生側(cè)壁晶體管的ON狀態(tài)是輻射下最惡劣偏置[20].而總劑量效應(yīng)對PMOS晶體管氧化物電荷和界面態(tài)的影響,將導(dǎo)致PU器件的閾值電壓的絕對值增加[20,21],從而抑制電荷泄漏.首先分析晶體管AC2,PU2和PD2構(gòu)成的反相器組合.根據(jù)圖3和表1,輻照時存儲器單元的存儲結(jié)點Q=0 V,晶體管 PU2處于 ON狀態(tài),晶體管 PD2處于OFF狀態(tài),而AC2處于類似ON狀態(tài)的非飽和狀態(tài).因此,輻照將導(dǎo)致晶體管AC2的Vth減小,而PU2和PD2的|Vth|基本不變.對輻照后對該反相器組合讀取狀態(tài)的傳輸特性曲線(VTC)進(jìn)行分析.當(dāng)存儲結(jié)點Q被置于低電位時,晶體管AC2和PD2處于線性區(qū),而晶體管PU2處于飽和區(qū),輻照前后曲線變化不明顯.當(dāng)存儲結(jié)點Q輸入高電位時,晶體管AC2處于飽和區(qū),而晶體管PU2處于線性區(qū),根據(jù)電路結(jié)點電荷守恒原理,有

由(7)式得,VQB隨著AC2的Vth減小而增加.這個結(jié)果與圖8中曲線①的結(jié)果一致.討論對稱的另一個由AC1,PU1和PD1構(gòu)成的反相器組.輻照時存儲器單元的存儲結(jié)點QB=1.32 V,晶體管PD1處于ON狀態(tài),晶體管PU1處于OFF狀態(tài),而晶體管AC1處于飽和狀態(tài).因此,輻照將導(dǎo)致晶體管 AC1和PD1的Vth減小,而 PU2的|Vth|基本不變.當(dāng)存儲結(jié)點QB置于低電壓時,先忽略AC1的作用,根據(jù)反相器中點電壓VM公式[22]

反相器中點電壓VM隨著PD1的Vth減小而減小.所以,圖8中曲線②發(fā)生左移.當(dāng)存儲結(jié)點QB置于高電壓時,根據(jù)(7)式,如果AC1的Vth不變,VQ隨著PD1的Vth減小而減小.所以,圖8中曲線②輻照后的VQ由于晶體管AC1和PD1制約關(guān)系,當(dāng)VQB=1.2 V時的VQ基本保持不變.圖8(a)和圖8(b)的曲線變化趨勢是一致的.但是,MOS器件的閾值電壓由于輻射效應(yīng)變化越明顯,曲線變化的程度越劇烈.FB MOS在輻射總劑量達(dá)到300 krad(Si)時,其特性出現(xiàn)明顯惡化,從而降低SRAM單元的穩(wěn)定性.然而,LB MOS對總劑量效應(yīng)不敏感,在輻射總劑量達(dá)到700 krad(Si)后靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元的對稱性仍然存在,SNM值比輻照前僅降低了11.2%.

4 結(jié) 論

本文采用130 nm SOI工藝,制備了3種靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元.研究了不同MOS器件的結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能,以及不同靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元直流特性.通過60Co-γ射線輻照實驗,測試分析了基于LB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元隨輻射總劑量的變化情況.

實驗結(jié)果表明,LB MOS相比傳統(tǒng)FB MOS成功抑制了浮體效應(yīng),并且DIBL和BVds特性得到了改善.由于采用特殊體接觸設(shè)計,相比于TB MOS具有面積更小、連接方便的優(yōu)點.而且工藝上與現(xiàn)有SOI CMOS完全兼容,無需額外的掩模版.所以,LB MOS適用于大規(guī)模集成電路.6T LB SRAM cell與6T TB SRAM cell具有類似的電學(xué)特性,但是節(jié)約大約22%的面積,且性能明顯優(yōu)于6T FB SRAM cell.在輻射環(huán)境中,采用體接觸LB MOS器件的靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元在漏電流和讀取靜態(tài)噪聲容限指標(biāo)上明顯優(yōu)于傳統(tǒng)FB MOS靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元.實驗結(jié)果表明,6T LB SRAM cell具有輻照環(huán)境下穩(wěn)定可靠的實用價值.