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        新型無漏電納米線橋接生長技術(shù)解決傳感器材料穩(wěn)定性問題

        2019-08-07 06:10:06
        傳感器世界 2019年5期
        關(guān)鍵詞:高靈敏度橋接納米線

        Nano Letters發(fā)表了大連理工大學(xué)黃輝教授團(tuán)隊的一項研究成果——無漏電流“納米線橋接生長技術(shù)”。這項技術(shù)解決了納米線器件的排列組裝、電極接觸及材料穩(wěn)定性問題,制備出高可靠性、低功耗及高靈敏度的GaN納米線氣體傳感器,該傳感器可推廣至生物檢測以及應(yīng)力應(yīng)變檢測等。

        黃輝團(tuán)隊首次研究了納米線橋接生長中的寄生沉積效應(yīng),發(fā)明了一種結(jié)合氣流遮擋效應(yīng)與表面鈍化效應(yīng)的橋接生長方法,解決了寄生沉積問題,并首次實現(xiàn)了“無漏電流”的GaN橋接納米線,在此基礎(chǔ)上研制出高穩(wěn)定性、低功耗以及高靈敏度的集成GaN納米線氣體傳感器,8個月電阻變化率<0.8%,NO2檢測限達(dá)到0.5ppb。

        GaN材料是第三代半導(dǎo)體,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性(耐高溫、抗氧化、耐酸堿腐蝕)和生物兼容性,適用于嚴(yán)酷環(huán)境下的應(yīng)力應(yīng)變以及液體和氣體樣品的檢測(實驗證明氫氟酸腐蝕48小時未對GaN納米線產(chǎn)生影響),應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。

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