亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        電容式MEMS差壓壓力傳感器的設計與制造*

        2019-05-08 03:26:24侯智昊趙雪瑩王增智
        微處理機 2019年2期
        關鍵詞:電容式測量誤差乘法

        侯智昊,趙雪瑩,王增智

        (1.沈陽航空航天大學電子信息工程學院,沈陽110136;2.中國電子科技集團公司第四十七研究所,沈陽110032)

        1 引言

        MEMS電容式壓力傳感器由一個可動電極和一個固定電極構成。以硅微納米加工技術制造的硅膜,在壓力的作用下會發(fā)生形變,與金屬固定電極之間的電容發(fā)生變化,故此可作為可動電極,通過檢測電容變化實現(xiàn)對壓力的檢測。由于硅材料在屈服強度、塑性形變等機械特性方面具有極其優(yōu)異的特性,因此利用硅材料制作的MEMS電容式壓力傳感器與傳統(tǒng)的金屬膜盒式電容式壓力傳感器相比在長期穩(wěn)定性、精度及靈敏度等方面具有極大優(yōu)勢,更適合用來滿足高性能、高可靠性等方面的應用需求。

        與MEMS壓阻式壓力傳感器相比,由于MEMS電容式壓力傳感器利用電容原理檢測壓力,因此在溫度漂移、檢測靈敏度、長期穩(wěn)定性等方面均具有較大優(yōu)勢,尤其在靈敏度方面甚至比壓阻式壓力傳感器高一個量級以上。由于MEMS電容式壓力傳感器的優(yōu)異性能,國內外眾多研究機構和公司對其開展深入研究[1-4],其中芬蘭Vaisala公司研制的MEMS電容式壓力傳感器,以其在靈敏度方面的優(yōu)異表現(xiàn),更是在火星探測中獲得應用[5]。日本富士公司的工業(yè)壓力變送器,也使用MEMS電容式壓力傳感器作為傳感元件,獲得廣泛應用。

        故此設計一種采用硅-玻璃結構的MEMS電容式差壓壓力傳感器。利用MEMS微納米加工技術和硅-玻璃陽極鍵合工藝制成MEMS敏感元件,并通過測試,獲得了MEMS電容式壓力傳感器的相關技術參數(shù)。

        2 工作原理

        MEMS電容式壓力傳感器工作原理如圖1所示。器件由硅膜構成的可動電極和在Pyrex玻璃上利用金屬薄膜制成的固定電極兩部分構成。當硅膜兩側的壓力相等時,硅膜處于平衡狀態(tài),并不發(fā)生任何邊形,此時硅膜可動電極和固定電極之間的偶合電容為0kPa時的輸出電容;當硅膜兩側的壓力不同時,硅膜在壓力的作用下發(fā)生形變,引起硅膜可動電極和固定電極之間偶合電容的變化,此時硅膜可動電極和固定電極之間的偶合電容為當前壓力下的輸出電容[6-7]。

        3 工藝流程

        MEMS電容式壓力傳感器工藝流程如圖2所示。其工藝流程主要由兩部分構成:第一部分主要實現(xiàn)對硅襯底的加工,利用硅各向異性腐蝕實現(xiàn)硅杯結構,再通過ICP刻蝕生成硅膜可動電極結構;第二部分主要是要在Pyrex玻璃襯底上利用金屬淀積工藝及圖形化工藝來實現(xiàn)金屬固定電極結構。通過硅-玻璃陽極鍵合,實現(xiàn)玻璃上的pad與硅可動電極的互聯(lián)來完成MEMS電容結構,并通過劃片獲得分立的MEMS電容式壓力傳感器芯片。圖3為所獲得的MEMS電容式壓力傳感器芯片和封裝后的實物照片。

        圖2 MEMS電容式壓力傳感器制造工藝流程

        圖3 MEMS電容式壓力傳感器實物圖片

        4 實際測試

        利用GE PACE5000高精度壓力控制器來控制施加在MEMS電容式壓力傳感器上的壓力,實現(xiàn)對其測量。再利用ADI公司的AD7746實現(xiàn)對MEMS電容式壓力傳感器輸出電容的測量[8]。針對高端電子血壓計的應用,在0~40kPa的范圍內對其進行測量。當施加0kPa的壓力時,其輸出電容為5.4pF;當施加40kPa壓力時,其輸出電容為7.3pF,電容變化率達到35%。測試數(shù)據(jù)曲線如圖4所示。其中圖4(a)為電容-壓力曲線;圖4(b)為1/電容-壓力曲線。

        在MEMS電容式壓力傳感器實際應用中,由于壓力與電容的非線性,使得MEMS電容式壓力傳感器的測量誤差不僅與器件本身有關,更與數(shù)據(jù)處理的算法有關。故此在數(shù)據(jù)處理過程中分別使用線性擬合和最小二乘法。其中最小二乘法的處理算法主要是用于進一步降低誤差。

        MEMS電容式壓力傳感器的測量誤差如圖5所示。其中圖5(a)使用了線性擬合法;圖5(b)使用最小二乘法擬合。從中可以看出,利用線性擬合法其誤差小于0.6kPa;利用最小二乘法擬合其誤差僅為0.16kPa。MEMS電容式壓力傳感器的誤差,主要是由電容和壓力之間的非線性引起,可通過單片機結合相關算法減少此誤差。通過分析可知,利用最小二乘法可以大大減少測量誤差,滿量程測量誤差低于0.4%FS,滿足大部分應用需求。

        圖4 MEMS電容式壓力傳感器的測試曲線

        圖5 MEMS電容式壓力傳感器誤差

        5 結束語

        利用微納米加工工藝設計和制備的此款MEMS電容式壓力傳感器,實現(xiàn)了測量范圍內的輸出電容以及量程范圍內電容變化率的設計目標。利用線性擬合,MEMS電容式壓力傳感器的測量誤差有顯著降低。利用最小二乘法擬合并結合單片機算法,其滿量程誤差也達到令人滿意的程度,可在實踐中滿足大部分應用場合下的器件功能需求。

        猜你喜歡
        電容式測量誤差乘法
        算乘法
        密度測量誤差分析
        我們一起來學習“乘法的初步認識”
        《整式的乘法與因式分解》鞏固練習
        縱向數(shù)據(jù)下變系數(shù)測量誤差模型的漸近估計
        把加法變成乘法
        基于FDC2214電容式傳感器的手勢識別裝置
        電子制作(2019年10期)2019-06-17 11:44:58
        電容式油量表設計
        電子測試(2018年18期)2018-11-14 02:30:28
        電容式蓄電池液位計設計
        牽引變壓器功率測量誤差分析
        国产午夜福利在线观看红一片| 少妇特殊按摩高潮对白| 亚洲精品久久视频网站| 337p日本欧洲亚洲大胆| 无码午夜人妻一区二区三区不卡视频 | 99久久免费看少妇高潮a片特黄| 国产真实乱对白在线观看| 91精品国产高清久久福利| 国产麻豆精品精东影业av网站| 无码精品国产va在线观看| 狠狠狠狠狠综合视频| 一区二区三区观看视频在线| 国产亚洲精品成人aa片新蒲金 | 8av国产精品爽爽ⅴa在线观看| 亚洲色图偷拍自拍亚洲色图| 亚洲国产成人极品综合| 公粗挺进了我的密道在线播放贝壳| 无遮挡中文毛片免费观看| 亚洲精品女人天堂av麻| 中国少妇×xxxx性裸交| 丰满人妻熟妇乱又伦精品视| 亚洲国产精品久久久久婷婷软件| 国产亚洲精品一区在线| 亚洲综合av一区二区三区| 久久永久免费视频| 久久亚洲精精品中文字幕早川悠里| 午夜视频在线瓜伦| 国产一线二线三线女| 小13箩利洗澡无码免费视频| 久久精品熟女亚洲av麻豆永永| 大地资源在线观看官网第三页| 精品欧美在线| 牛仔裤人妻痴汉电车中文字幕| 男吃奶玩乳尖高潮视频| 18禁无遮挡羞羞污污污污网站| 国产亚洲曝欧美不卡精品| 国产真实一区二区三区| 亚洲 自拍 另类小说综合图区 | 国产av色| 五月婷婷六月丁香久久综合| 最近免费mv在线观看动漫|