國際知名學術期刊Small 發(fā)表了中國科學院半導體研究所超晶格國家重點實驗室研究員沈國震課題組的一項研究成果——一種柔性透明的高性能濕度傳感器（Flexible Smart Noncontact Control Systems with Ultrasensitive Humidity Sensors, DOI: 10. 1002/smll.201902801）。

該傳感器基于MoO3納米片，采用低成本、簡便的溶液方法合成，對外部相對濕度表現(xiàn)出出色的靈敏度，濕度從0%RH變?yōu)?00%RH時電流變化了5個數(shù)量級。此外，傳感器具有快速響應（＜0.3s）和恢復時間（＜0.5s），還表現(xiàn)出長期穩(wěn)定性（＞1個月），并且具有很好的機械靈活性。

同時，研究人員開發(fā)了一種可穿戴濕度分析系統(tǒng)，用于環(huán)境濕度監(jiān)測和非侵入性人體呼吸監(jiān)測。此外，該濕度傳感器的遠程非接觸式交互式傳感特性被應用于非接觸式多級開關和柔性非接觸控制屏幕兩個人機交互系統(tǒng)中。

這項研究為基于氧化物納米材料的濕度傳感器在智能人機交互系統(tǒng)方面提供了巨大的應用前景和可行性工藝。