申請?zhí)? 201810882484

【公開號】CN108801531A

【公開日】2018.11.13

【分類號】G01L5/16

【申請日】2018.08.06

【申請人】海伯森技術(shù)（深圳）有限公司

【發(fā)明人】鄭澤鵬;丁海鵬;王國安;孫久春;吳偉鋒;周飛

【摘 要】本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種六維力傳感器及改善六維力傳感器溫度偏移的方法，該六維力傳感器包括內(nèi)圈結(jié)構(gòu)、外圈結(jié)構(gòu)以及均勻分布在內(nèi)圈和外圈結(jié)構(gòu)之間的若干測量梁。測量梁包括四個臂面，分別為上臂面、上臂面相對的下臂面、左臂面、左臂面相對的右臂面，臂面上均設(shè)有應(yīng)變片，其中，相對臂面上的應(yīng)變片為一對，內(nèi)圈結(jié)構(gòu)上對稱開設(shè)有偶數(shù)個凹槽，凹槽表面均延伸有凸起，凸起上設(shè)有位置相互對應(yīng)的第一溫度補償應(yīng)變片和第二溫度補償應(yīng)變片。該六維傳感器改善了傳統(tǒng)六維力傳感器在機械臂末端靠近發(fā)熱體時，上下表面存在溫度差而引起的溫漂。