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        手術(shù)室和超凈車間,哪個(gè)更干凈?

        2021-03-24 20:58:54
        少兒科學(xué)周刊·少年版 2021年24期
        關(guān)鍵詞:灰塵粉塵無(wú)菌

        哇,芯片上面的線路好密,如果生產(chǎn)過(guò)程中掉進(jìn)去一顆灰塵會(huì)怎么樣呢?一顆灰塵都不行嗎?

        是的,一顆灰塵也不行。正是因?yàn)樾酒厦娴木€路排列得特別密,假如生產(chǎn)過(guò)程中有一顆灰塵掉進(jìn)去,就可能會(huì)影響整個(gè)線路,甚至使芯片失去最初設(shè)計(jì)的功能,所以芯片上面必須非常干凈。

        醫(yī)院的手術(shù)室和集成電路的生產(chǎn)車間都是對(duì)清潔度要求很高的地方,你猜猜哪個(gè)更干凈呢?

        手術(shù)室——無(wú)菌室

        手術(shù)室對(duì)清潔度要求非常高,為了防止感染,確保手術(shù)成功率,不但要求地面臺(tái)面干凈、人員穿著干凈,手術(shù)時(shí),還必須鋪上無(wú)菌單、用無(wú)菌器械,甚至連空氣都是極干凈的。層流手術(shù)間采用空氣潔凈措施,將空氣中的塵埃粒子過(guò)濾,使細(xì)菌沒(méi)有載體傳播,目的是有效預(yù)防和控制感染的發(fā)生。

        芯片生產(chǎn)車間——不僅僅是無(wú)菌

        環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,所以,在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中,不僅要求生產(chǎn)車間無(wú)菌,還必須無(wú)靜電、無(wú)灰塵、無(wú)有害氣體。

        而進(jìn)出車間的人怎么辦呢?我們知道,人體及衣物的毛屑是一項(xiàng)主要粉塵來(lái)源,為此,人和物進(jìn)出時(shí),必須經(jīng)過(guò)空氣吹浴程序,先將表面粉塵去除。另外,必須嚴(yán)格要求進(jìn)出人員穿戴無(wú)塵衣,除了眼睛,均需與外界隔絕接觸(在次微米制程技術(shù)的工廠內(nèi),工作人員幾乎穿戴得和航天員一樣)。

        你知道嗎?

        ◎大多數(shù)芯片制造商的“ISO1級(jí)”無(wú)塵室都能做到幾乎“零粉塵”。具體來(lái)說(shuō),在每立方米空氣中,100到200納米的顆粒不超過(guò)10個(gè),且沒(méi)有大于200納米的顆粒。相比之下,一家干凈的現(xiàn)代醫(yī)院里,每立方米空氣中含有粉塵顆粒約10000個(gè),這差距可不是一點(diǎn)點(diǎn)。

        ◎潔凈室用到的氣源是氮?dú)猓?8%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈笫?9.8%以上的高純氮!

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