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(1.大連理工大學(xué) 材料科學(xué)與工程學(xué)院， 大連 116024；2.中國航空發(fā)動(dòng)機(jī)集團(tuán) 北京航空材料研究院，北京 100095)

涂層技術(shù)是指利用物理、化學(xué)等方法在材料表面制備一層不同于基體材料且具有一定厚度和一定強(qiáng)化、防護(hù)或特殊功能的覆層[1-2]，是提高零件性能或賦予零件特殊功能的有效措施。涂層的性能和可靠性取決于其特殊的幾何特征與物理特性，包括厚度、界面粗糙度、聲速、密度、彈性模量等參數(shù)。如密度、厚度適當(dāng)?shù)奈ㄍ繉硬拍芡貙捄图訌?qiáng)零件的吸波性能[3]。涂層質(zhì)量受工藝操作的影響極大，提出準(zhǔn)確可靠的涂層幾何特征和物理特性無損表征和評(píng)定方法對(duì)表面涂層乃至整個(gè)零件性能完整性的控制具有重要意義，這已經(jīng)成為該領(lǐng)域的迫切工程需求。

超聲檢測(cè)由于其適用范圍廣、檢測(cè)靈敏度高、成本低和適用于現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于涂層結(jié)構(gòu)的無損檢測(cè)與評(píng)價(jià)中，其中對(duì)涂層的超聲檢測(cè)主要利用激光超聲[4-5]、超聲顯微鏡[6-8]和超聲脈沖回波法三種方法。激光超聲、超聲顯微鏡方法局限于實(shí)驗(yàn)室條件，難以應(yīng)用于現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)；超聲脈沖回波法適用范圍更廣，設(shè)備較為簡便，適用于工程實(shí)際檢測(cè)。20世紀(jì)60年代前蘇聯(lián)物理學(xué)家BREKHOVSKIKH[9]系統(tǒng)地研究了層狀介質(zhì)中的聲波傳播，提出了聲壓反射系數(shù)相位譜(Ultrasonic Reflection Coefficient Phase Spectrum，URCPS)和幅度譜(Ultrasonic Reflection Coefficient Amplitude Spectrum，URCAS)，為超聲表征層狀介質(zhì)提供了理論依據(jù)；KINRA等[10]利用超聲傳遞函數(shù)相位譜和幅度譜對(duì)鋁薄板和Plexiglas(樹脂玻璃)的厚度、聲速、密度和聲衰減系數(shù)分別進(jìn)行了反演計(jì)算，得到的厚度、聲速結(jié)果的誤差小于4%，密度的誤差小于11%，聲衰減的誤差不超過13%。以上研究局限于單參數(shù)反演，難以實(shí)現(xiàn)工程實(shí)際涂層參數(shù)的準(zhǔn)確檢測(cè)。趙揚(yáng)等[11-17]利用URCAS和URCPS對(duì)熱障、耐磨、吸波等涂層的聲速、厚度、密度、彈性模量以及界面缺陷等參數(shù)進(jìn)行了測(cè)量，發(fā)展出了適用于工程實(shí)際涂層聲速、厚度雙參數(shù)反演方法。

在已有研究的基礎(chǔ)上，筆者發(fā)展了一種基于聲阻抗測(cè)量，采用相關(guān)系數(shù)法對(duì)涂層的聲壓反射系數(shù)相位譜二元非線性方程進(jìn)行雙參數(shù)反演的方法，解決了聲壓反射系數(shù)譜對(duì)密度靈敏度低的問題。文中將涂層參數(shù)反演問題轉(zhuǎn)換為優(yōu)化問題，分析了相位譜對(duì)涂層參數(shù)的靈敏度，優(yōu)化檢測(cè)頻率，采用脈沖回波法對(duì)涂層試樣進(jìn)行檢測(cè)，在頻域內(nèi)測(cè)量涂層的聲阻抗，隨后在有效頻帶范圍內(nèi)對(duì)涂層試樣理論和試驗(yàn)聲壓反射系數(shù)相位譜進(jìn)行匹配分析，計(jì)算出聲阻抗條件約束的相關(guān)系數(shù)矩陣，實(shí)現(xiàn)涂層密度和聲速同時(shí)反演。

1 原理

1.1 聲壓反射系數(shù)相位譜目標(biāo)函數(shù)構(gòu)造

圖1 超聲垂直入射到層狀界面的傳播模型

超聲在涂層結(jié)構(gòu)的界面處發(fā)生反射和透射，涂層的聲壓反射系數(shù)或透射系數(shù)可用來描述涂層的材料特性和幾何特征[13-19]。圖1給出了超聲垂直入射到薄層介質(zhì)中的傳播模型，該模型假設(shè)薄層結(jié)構(gòu)為均質(zhì)、界面平直的層狀結(jié)構(gòu)。介質(zhì)1為耦合介質(zhì)，將探頭的聲能耦合到待測(cè)樣品中，介質(zhì)2為涂層，介質(zhì)3為基體。選取表面回波P1與界面回波P2計(jì)算聲壓反射系數(shù)R，表達(dá)式為

R=(P1+P2)/P1={r12+t12r23t21exp(-2αd)×

[cos(4πfd/c2)+isin(4πfd/c2)]}/r12

(1)

式中:r12和r23分別為延遲塊/涂層界面和涂層/基體界面的聲壓反射系數(shù)；α為涂層的衰減系數(shù)；d為涂層的厚度；c2為涂層的聲速；f為檢測(cè)頻率。涂層的聲壓反射系數(shù)R是復(fù)數(shù)，其模與相位隨頻率的變化分別為幅度譜和相位譜。

在單層涂層中相位譜表達(dá)式為

(2)

實(shí)際涂層中，由于制備工藝的影響，涂層的密度、聲速、厚度等參數(shù)通常未知且存在一定的波動(dòng)性。若涂層的厚度、衰減系數(shù)及延遲塊、涂層基體的聲學(xué)參數(shù)已知，則式(2)為以涂層聲速c2和密度ρ2為自變量的二元非線性方程，通過雙參數(shù)反演對(duì)此方程求解即可同時(shí)得到涂層的聲速和密度。

將反演問題轉(zhuǎn)化為目標(biāo)函數(shù)優(yōu)化問題，即求解涂層參數(shù)p=(ρ2,c2)，使參數(shù)p代入式(2)計(jì)算得到的理論聲壓反射系數(shù)相位譜與試驗(yàn)采集的相位譜最接近，目標(biāo)函數(shù)取到最值，此時(shí)的p即為反演結(jié)果。采用理論與試驗(yàn)相位譜的相關(guān)系數(shù)和聲阻抗約束組成目標(biāo)函數(shù)，表達(dá)式為

J(ρ2,c2)=Corr[φ(f;ρ2,c2)cal,φ(f;ρ2,c2)obs]+λΩ

(3)

式中:Corr(·)表示相關(guān)系數(shù)匹配運(yùn)算，下標(biāo)cal和obs分別表示理論與試驗(yàn)的相位譜，相關(guān)系數(shù)越大表示二者相似程度越高;λΩ為約束條件，λ為約束的權(quán)重因子，Ω為聲阻抗約束條件，反演參數(shù)不滿足該約束條件時(shí)，使目標(biāo)函數(shù)取值為零。

當(dāng)涂層參數(shù)p的取值使目標(biāo)函數(shù)最大時(shí)，該參數(shù)p即為最佳反演值。

相關(guān)系數(shù)匹配運(yùn)算利用兩個(gè)數(shù)據(jù)的相關(guān)系數(shù)作為匹配測(cè)度判斷兩組數(shù)據(jù)的相似性。式(4)給出了采用的樣本相關(guān)系數(shù)計(jì)算公式[18]。

(4)

1.2 目標(biāo)函數(shù)靈敏度分析與約束條件構(gòu)造

式(5)給出了相位譜φ(f;ρ2,c2)對(duì)某一參數(shù)p的靈敏度的計(jì)算公式。靈敏度表示單位p的變化引起相位譜φ(f;ρ2,c2)變化的量。

(5)

式中:p為薄層參數(shù)；Sφ,p為相位譜對(duì)參數(shù)p的靈敏度。

當(dāng)靈敏度趨于零時(shí)，較小的測(cè)量誤差會(huì)導(dǎo)致較大的反演誤差[10]。在超聲檢測(cè)前對(duì)相位譜靈敏度進(jìn)行分析，根據(jù)靈敏度曲線選擇合適的探頭主頻，可以減小反演誤差。

圖2給出了相位譜對(duì)鋁合金板和環(huán)氧樹脂涂層的密度與縱波聲速靈敏度曲線，其中實(shí)線和虛線分別為相位譜對(duì)聲速和密度的靈敏度。由式(5)可知，靈敏度歸一化處理后為無量綱量。鋁的聲速，密度，厚度，衰減系數(shù)分別為6 414 m·s-1,2 680 kg·m-3,1.929 mm,0.001 Np·mm-1；環(huán)氧樹脂涂層的聲速,密度,厚度,衰減系數(shù)分別為2 053 m·s-1,2 214 kg·m-3,0.347 mm,α(f)=1.6×10-1f2+8.4×10-5f4Np·mm-1。分析靈敏度曲線可以得到以下結(jié)論：

(1) 在0～20 MHz范圍內(nèi)，相位譜對(duì)聲速有較高的靈敏度，而對(duì)密度的靈敏度遠(yuǎn)低于對(duì)聲速的靈敏度，較小的測(cè)量誤差會(huì)導(dǎo)致較大的密度反演誤差。文中將聲阻抗約束條件引入目標(biāo)函數(shù)，提高密度的反演準(zhǔn)確性。

(2) 當(dāng)材料衰減很小時(shí)(例如鋁合金)，相位譜對(duì)靈敏度的極大值隨頻率升高而升高，即頻率越高，相位譜對(duì)微小參數(shù)變化的靈敏度越高，提高檢測(cè)頻率可以減小檢測(cè)誤差；當(dāng)薄層材料有一定衰減時(shí)(例如黏彈性的高分子涂層和孔隙率較大的涂層)，靈敏度的極大值先增大后減小，在某一頻率達(dá)到最大值后，高頻部分逐漸衰減至零，因此高衰減材料應(yīng)使用較低頻率的探頭以保證檢測(cè)靈敏度。對(duì)于厚度0.347 mm的含鐵粉環(huán)氧樹脂涂層，最高靈敏度出現(xiàn)在7.38 MHz。

選擇聲阻抗作為式(3)目標(biāo)函數(shù)的約束條件。聲阻抗數(shù)值上等于聲速和密度的乘積，可以通過聲壓反射系數(shù)與聲阻抗之間的關(guān)系對(duì)聲阻抗進(jìn)行測(cè)量，表達(dá)式為

(6)

式中:Acoating(f)和Areference(f)分別為樣品和參考材料表面反射信號(hào)的頻譜；Zcoupling為耦合介質(zhì)的聲阻抗；rcoating和rreference分別為超聲在涂層表面和參考材料的聲壓反射系數(shù)。

圖2 相位譜在不同材料上對(duì)聲速和密度的靈敏度

2 試驗(yàn)制備

2.1 試驗(yàn)系統(tǒng)

試驗(yàn)系統(tǒng)采用Olympus 5800超聲探傷儀發(fā)射和接收超聲信號(hào)，DPO 4032數(shù)字示波器以及計(jì)算機(jī)完成超聲信號(hào)的采集和反演分析工作。根據(jù)靈敏度分析結(jié)果，選擇實(shí)測(cè)中心頻率為7.50 MHz的延遲塊探頭作為超聲信號(hào)的收發(fā)裝置，探頭晶片直徑為6 mm，延遲塊材料為有機(jī)玻璃，縱波聲速為2 330 m·s-1，密度為1 050 kg·m-3。圖3給出了選用的超聲探頭的始發(fā)脈沖時(shí)域信號(hào)及其幅度譜，-6 dB有效頻帶范圍為4.44 MHz～11.44 MHz，文中所有試驗(yàn)數(shù)據(jù)均在有效頻帶內(nèi)進(jìn)行分析。

圖3 超聲探頭的時(shí)域信號(hào)及其幅度譜

2.2 試驗(yàn)樣品

選擇空氣噴涂法制備的含鐵粉環(huán)氧樹脂涂層進(jìn)行試驗(yàn)，鐵粉質(zhì)量百分?jǐn)?shù)分別為30%，40%和50%，基體材料為鋁合金板。表1給出了試樣的厚度與聲學(xué)參數(shù)，其中厚度用千分尺測(cè)量，密度用阿基米德法測(cè)量，聲速采用脈沖回波法測(cè)量，衰減系數(shù)采用最小二乘法擬合得到。

表1 超聲檢測(cè)試樣的厚度與聲學(xué)參數(shù)

圖4 涂層樣品的超聲時(shí)域信號(hào)和相位譜

3 結(jié)果與討論

利用超聲試驗(yàn)系統(tǒng)在鐵粉含量30%涂層樣品上采集超聲時(shí)域信號(hào)，對(duì)采集得到的信號(hào)進(jìn)行頻譜分析，選取涂層的上表面回波和界面回波計(jì)算得到試驗(yàn)聲壓反射系數(shù)相位譜。圖4為脈沖回波法檢測(cè)得到的典型時(shí)域信號(hào)及其相位譜。如圖4(a)所示，時(shí)域中涂層與鋁合金板的回波信號(hào)區(qū)別不明顯，難以直接用于反演，通過頻譜分析的手段可以提取時(shí)域中包含的特征。在頻域中，由于環(huán)氧樹脂涂層的聲衰減系數(shù)較大，相位譜隨頻率升高震蕩,幅值逐漸減小，如圖4(b)所示。根據(jù)式(6),從表面回波中計(jì)算涂層聲阻抗作為反演目標(biāo)函數(shù)的約束條件，得到涂層的聲阻抗為4.33 MRayl。采用相關(guān)系數(shù)匹配法對(duì)有效頻帶內(nèi)的試驗(yàn)聲壓反射系數(shù)相位譜和理論聲壓反射系數(shù)相位譜進(jìn)行匹配分析，圖5為匹配分析得到的相關(guān)系數(shù)矩陣。圖5(a)為未施加聲阻抗約束條件的相關(guān)系數(shù)矩陣，可見目標(biāo)函數(shù)隨聲速先增大后減小，在2 155 m·s-1處達(dá)到最大值，表明此聲速值為反演最佳值，相對(duì)誤差為-0.54%；而相關(guān)系數(shù)隨密度單調(diào)增大，無法得到準(zhǔn)確的反演結(jié)果。采用聲阻抗對(duì)目標(biāo)函數(shù)進(jìn)行約束。圖5(b)為聲阻抗條件約束后的相關(guān)系數(shù)矩陣，可見矩陣被聲阻抗約束到一個(gè)較窄的范圍內(nèi)，排除了絕大部分干擾解，提高了反演準(zhǔn)確性。圖6給出了密度和聲速反演結(jié)果代入式(2)得到的理論相位譜與試驗(yàn)采集信號(hào)處理得到的相位譜，可見在有效頻帶范圍內(nèi)兩條曲線符合良好。

采用上述方法分別測(cè)量三種涂層樣品的聲速和密度，每個(gè)樣品上取兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)，分別位于試樣中心和距邊緣5 mm位置。表2給出了超聲雙參數(shù)反演法與其他方法測(cè)量的實(shí)際聲速、密度的相對(duì)誤差，反演結(jié)果相對(duì)誤差在±3.2%內(nèi)。與中心位置相比，邊緣處涂層的厚度、聲速偏大，而密度偏小，這可能是噴涂過程中樹脂流動(dòng)、操作工藝不當(dāng)使樹脂厚度和鐵粉分布不均勻造成的。文中提出的雙參數(shù)反演方法可以較為準(zhǔn)確地同時(shí)測(cè)量非均勻涂層的聲速和密度，為涂層質(zhì)量評(píng)價(jià)提供了一定基礎(chǔ)。

表2 環(huán)氧樹脂涂層參數(shù)超聲檢測(cè)結(jié)果及相對(duì)誤差

圖5 環(huán)氧樹脂涂層計(jì)算得到的相關(guān)系數(shù)矩陣

圖6 環(huán)氧樹脂涂層反演相位譜與試驗(yàn)相位譜比較

4 結(jié)論

(1) 提出一種基于聲阻抗約束，采用相關(guān)系數(shù)匹配分析對(duì)不同厚度涂層的聲壓反射系數(shù)相位譜二元非線性方程進(jìn)行雙參數(shù)反演，同時(shí)確定涂層密度和縱波聲速的方法，提高了聲壓反射系數(shù)譜對(duì)密度的靈敏度，解決了涂層密度和聲速難以同時(shí)無損測(cè)量的問題，為涂層多參數(shù)無損測(cè)量與質(zhì)量評(píng)價(jià)提供基礎(chǔ)。

(2) 分析相位譜對(duì)聲速和密度的靈敏度，選擇合適的超聲檢測(cè)頻率，采用超聲脈沖回波法在鐵粉質(zhì)量百分?jǐn)?shù)30%，40%，50%的環(huán)氧樹脂涂層樣品上采集超聲信號(hào)，利用上述雙參數(shù)反演方法對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理，反演得到涂層樣品的縱波聲速和密度相對(duì)誤差在±3.2%以內(nèi)。

(3) 通過聲阻抗約束的雙參數(shù)反演方法實(shí)現(xiàn)了涂層的縱波聲速和密度的同時(shí)測(cè)量，但實(shí)際檢測(cè)過程中，待測(cè)涂層往往多個(gè)參數(shù)未知，需繼續(xù)發(fā)展反問題求解方法，提出多參數(shù)同時(shí)表征的反演方法。