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        TFT-LCD彩色濾光片工藝制程的探究

        2018-08-31 05:54:22北京京東方顯示技術(shù)有限公司王立夫盛大德龐華山
        電子世界 2018年16期
        關(guān)鍵詞:工藝

        北京京東方顯示技術(shù)有限公司 王 超 王立夫 盛大德 薛 捷 龐華山

        1.CF 顯示原理論述

        TFT-LCD是一種被動(dòng)發(fā)光顯示器件,只有在背光模塊的照射下,TFT-LCD才能正常顯示圖像,而TFT-LCD的彩色化則是由彩色濾光片來實(shí)現(xiàn)的[1]。CF根據(jù)液晶屏顯示模式的差異可分為TN和ADS兩種,結(jié)構(gòu)差異如圖1所示。TN和ADS在CF工藝結(jié)構(gòu)上的主要差異在于ITO層位置和作用不同,TN模式ITO層作用是和TFT側(cè)金屬膜形成互為電極,ADS模式主要是屏蔽外界電場(chǎng)、抗干擾作用。

        圖1 結(jié)構(gòu)差異圖

        2.CF各工藝方法介紹

        2.1 染色法

        染色法的工藝分為以下幾個(gè)步驟:第一步,制作具有BM遮光層的基板;第二步,將透明有機(jī)感光材料進(jìn)行涂布;第三步,進(jìn)行曝光;第四步,進(jìn)行顯影;第五步,染色工序,它是根據(jù)酸性染料和反應(yīng)性染料的配方對(duì)有機(jī)感光材料進(jìn)行紅色染色;第六步,防染,采用丹寧酸進(jìn)行防染處理;接著重復(fù)第二步和第六步依序進(jìn)行綠色和藍(lán)色染色處理,形成圖案;染色法所需的主要設(shè)備除涂布、曝光、顯影外還需要染色槽和防染槽設(shè)備;染色法制造的CF透光性好,但所用的染料通常耐光性和耐熱性較差,已很少使用[2]。

        2.2 印刷法

        關(guān)于印刷法分為多種,這里提到的是平版印刷的方法;第一步,將平版印刷用的塑料卷布在帶有Ink的版上滾動(dòng)實(shí)現(xiàn)Ink由版到塑料卷布的轉(zhuǎn)??;第二步,將帶Ink的塑料卷布在帶有BM遮光層的基板上進(jìn)行對(duì)應(yīng)位置的轉(zhuǎn)?。话凑者@種方法進(jìn)行反復(fù)的轉(zhuǎn)印形成彩色圖案;該方法制作彩色層不需要曝光顯影設(shè)備,但是在大尺寸轉(zhuǎn)印中其精度仍然需要進(jìn)一步提高。

        2.3 電著法

        電著法是在玻璃基板上形成帶圖案的透明導(dǎo)電膜之后,利用電氣泳動(dòng)原理將著色材料的膜形成于圖案化的膜上;首先在玻璃基板上濺射ITO層,然后涂布正性光阻;第二階段進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻、剝離工序;這樣帶圖案的ITO膜就形成了;第三階段,將分散在水里的高分子顏料以泳動(dòng)電著的方式將顏料附著在ITO的透明膜電極上;第四階段,進(jìn)行BM光阻的涂布、背面曝光、顯影最終形成完整的著色圖案;這種工藝的好處是能夠得到比較均勻的膜厚,圖形制作比較精良;但缺點(diǎn)是必須先做一次ITO才能電著,這樣降低了整體的透過率。

        2.4 轉(zhuǎn)印法

        轉(zhuǎn)印法首先將顏料分散樹脂溶液涂布在薄膜上并進(jìn)行干燥;先利用這種涂布方法形成帶著色材料的轉(zhuǎn)印膜;具體的以R像素形成為例說明實(shí)現(xiàn)步驟如下:第一步先制作帶BM遮光層的基板;第二步將轉(zhuǎn)印膜利用轉(zhuǎn)印設(shè)備轉(zhuǎn)印到帶BM遮光層的玻璃基板上;第三步進(jìn)行曝光;第四步進(jìn)行顯影來形成像素;最后反復(fù)的進(jìn)行轉(zhuǎn)印、曝光、顯影制成形成RGB彩色層,在制作工序中,除了需要使用曝光設(shè)備、顯像設(shè)備外,還需要貼膜機(jī)。

        2.5 著色感材法

        著色感材法是將顏料作為著色材料,將顏料分散在膠合樹脂中形成著色樹脂,是比較典型的顏料分散法;著色感材法具體有以下幾個(gè)工藝步驟:第一步制作帶有BM遮光層的圖形基板第二步將顏料分散在透明感光性樹脂中,形成著色感光材料,進(jìn)行涂布第三步進(jìn)行曝光、第四步進(jìn)行顯影、最后通過將R/G/B三色重復(fù)制作形成著色圖案;該方法是目前大陸采用的主流工藝方案;其中主要工藝設(shè)備為涂布設(shè)備、曝光設(shè)備和顯影設(shè)備。

        2.6 蝕刻法

        它與著色感材法有許多相似之處;第一步與感材法一樣,首先制作帶有BM遮光層的圖形基板第二步與著色感材法存在差異,它分別將著色樹脂層和正性光阻劑進(jìn)行涂布第三步將烘干固化后涂有正性光阻的基板進(jìn)行曝光第四步進(jìn)行顯影、蝕刻、第五步進(jìn)行剝離,形成一個(gè)單色圖案;最后進(jìn)行RGB的反復(fù)操作形成著色圖案;由于蝕刻法需要增加正性光阻涂布與顯影剝離制程,工藝制程相比著色感材法要多。

        表1 各工藝對(duì)比分析表

        2.7 噴墨法

        具體的工藝流程如下:第一步,BM工序仍采用顏料分散法涂布曝光和顯影,形成帶BM遮光層的基板;第二步,在Color工序采用噴墨法,采用噴墨的方式在帶有BM圖形的基板上一次完成RGB工藝;第三步進(jìn)行固化處理;采用噴墨技術(shù)的最大優(yōu)點(diǎn)是削減成本,成本可比過去的彩色濾光片降低20%,同時(shí)還可以提高顯示性能。但是由于噴墨技術(shù)還存在些精度問題,運(yùn)用該技術(shù)生產(chǎn)的彩色濾光片主要用于大屏幕電視機(jī)。

        3.總結(jié)

        通過前述信息,對(duì)各工藝對(duì)比分析如表1所示。

        從材料上來看,染色法使用的是染料,其他都是顏料,從光學(xué)性能和平坦度來看,各個(gè)工藝都能達(dá)到比較好的水平。從解析度來看,除印刷法外,其他性能都比較接近,最后綜合來說,顏料分散法因良好的產(chǎn)品性能和成熟的工藝制程,目前得到普遍采用,是整個(gè)市場(chǎng)的主流。隨著技術(shù)的發(fā)展,性能要求的提升及成本的降低,噴墨法因?yàn)椴牧系睦眯矢?,不需要曝光掩模,R、G、B可同時(shí)形成、工藝過程短,而且適合于多品種生產(chǎn),越來越引人關(guān)注。從目前來看噴墨法是目前最有前景的CF工藝制作方法。

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