天津大學(xué)科研團隊開創(chuàng)了柔性射頻濾波技術(shù)，并且利用一項名為柔性微機電系統(tǒng)（FlexMEMS）的創(chuàng)新工藝成功開發(fā)出柔性射頻濾波器，未來可直接應(yīng)用于柔性電子的無線射頻通信。團隊首創(chuàng)的FlexMEMS工藝技術(shù)能夠在超薄的塑料基底上制造具有高精密可動微結(jié)構(gòu)的微機電器件，解決了表面粗糙且不耐高溫的高分子材料基底與高質(zhì)量薄膜、高精密可動微結(jié)構(gòu)在器件設(shè)計、制造及封裝中的不兼容問題。此外，該技術(shù)還可以應(yīng)用于制造多種柔性微機電器件，如壓力計、加速度計、陀螺儀、超聲識別和成像單元、投影成像單元等，使柔性電子設(shè)備具備更強的感知外部世界（如虛擬現(xiàn)實）甚至影響外部世界（如現(xiàn)實增強）的能力。

（圖片來源：Wiley）