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        基 于 硅 基 的 新 型 傳 感 器 研 究

        2018-07-09 13:08:38王海娜徐艷華
        實驗室研究與探索 2018年6期
        關鍵詞:二氧化硅折射率共振

        王海娜, 徐艷華

        (1.河南農(nóng)業(yè)職業(yè)學院 信息工程學院,鄭州 451450;2.河南師范大學 新聯(lián)學院,鄭州 450000)

        0 引 言

        表面等離子體(Surface Plasmon, SP)是一種metal-medium(金屬-介質(zhì))邊界電荷集體振蕩的光學現(xiàn)象[1-2]。近30年來,表面等離子體共振(SPR)技術在傳感領域的應用逐漸成為研究熱點,SPR傳感器是基于被測樣品共振狀態(tài)折射率變化非常敏感的光電探測系統(tǒng)的原理,通過對反射譜特征的實時觀測,快速、靈敏地檢測到折射率變化的介質(zhì),從而能夠利用理論公式計算樣本的相關信息[3-7]。SPR裝置是第1個被提出的Otto和Kretschmann結(jié)構(gòu),這兩種結(jié)構(gòu)在棱鏡中耦合,基于衰減的全反射的原理,利用P偏振光的條件刺激SPR,通過檢測反射光譜測量參數(shù)來計算共振特性[8]。近年來,Harma1等選擇二氧化硅和二氧化鈦為介電層,理論上為交替多層介質(zhì)系統(tǒng),分析了該氣體傳感器理論的極限是10.5 RIU(Refraction Index Unit,折射率單位),工作在可見光范圍內(nèi),SPR的橢圓對稱是實驗的創(chuàng)新點,具有很強的發(fā)展前景。意大利的比薩大學使用Biacore型SPR傳感器檢測,IGF 1的結(jié)構(gòu)調(diào)整在羧基甲基硫醇基板上,與多克隆抗體相互作用,在注入流量傳感器吸收池后,檢測極限低于10 ng/mL[9-11]。2008年,埃及赫勒大學A. b. El-Basaty大學把鈷酞菁(Co-Pc)嵌入在PVC基體,然后沉積在銀薄膜上,實驗表明,薄膜在正常的溫度和大氣壓力下,具有良好的靈敏度,檢出限可以達到0.07×10-6。在濕度傳感器中,集成程度低,現(xiàn)有的電子濕度傳感器的精度低,不穩(wěn)定,反應時間短,靈敏度低,顯然在SPR系統(tǒng)中具有自然優(yōu)勢[12-15]。基于上述背景,本文設計了一種光濕度傳感器,設計的光學傳感器能夠被開發(fā)用于為遙感和低溫復雜環(huán)境提供關鍵設備。

        1 SPR結(jié)構(gòu)設計

        1.1 模型結(jié)構(gòu)

        圖1所示為設計的銀-二氧化硅-棱鏡SPR傳感裝置,使用632 nm氦-Ne激光器的輸出P偏振光激發(fā)SPR現(xiàn)象,通過光譜探測器接收共振角,利用SPR的原理,以及濕度影響有效折射率的變化關系。棱鏡選擇為具有高透射率的BK7玻璃,以及棱鏡底部采用銀-二氧化硅的波導結(jié)構(gòu)。溶膠-凝膠法生產(chǎn)的二氧化硅薄膜,這種二氧化硅薄膜具有很好的保濕效果,有大量的二氧化硅薄膜具有吸濕性、敏感性能穩(wěn)定、反應時間短、可重復利用率高的優(yōu)點。結(jié)構(gòu)SPR技術濕度傳感器靈敏度不僅可以顯著提高,還可以改善當前電子濕度傳感器,不穩(wěn)定,低集成、低精度、緩慢響應時間等問題,上述光學傳感器的特點等可實現(xiàn)傳感、遠程傳輸、低溫應用。

        圖1 新型光濕度傳感裝置

        本文濕度描述為相對濕度(Relative Humidity,RH),指的是空氣中水汽壓與飽和水汽壓的百分比。陶瓷材料的孔隙吸收環(huán)境中的水分子,不同濕度的水分子的吸水量會導致材料的折射率變化。濕敏陶瓷材料可以視為一個晶體模型,晶體形狀類似于橢球,晶體材料在表面吸收水分子根據(jù)Maxwell- Gamell和布萊格曼理論,能夠發(fā)現(xiàn)有效折射率和濕度變化特性如下:

        式中:f1是材料中氣孔的體積分數(shù);f2是水膜和晶粒的體積分數(shù);f1+f2=1;n1是空氣的折射率;n2是水膜與晶粒復合體有效折射率。

        1.2 系統(tǒng)分析

        1.2.1入射波長分析

        設計的SPR模型,入射波長將明顯地影響它。波長不僅影響共振角度的大小,也影響探測的深度。設棱鏡指數(shù)為1.5,入射波長分別為532,582,632,682,732 nm。該薄膜的厚度為50 nm,銀的介電常數(shù)由德魯?shù)履P陀嬎?,折射率?.33。圖2顯示了不同波長的反射光譜,隨著波長的增加,共振峰的峰值變得很低。在632 nm的波長,共振峰是深而銳利的,也是最理想的;當波長小于或大于632 nm時,共振峰不僅會變淺,而且會變成更大的半峰值寬度,從而降低了系統(tǒng)的測量精度。從上面的分析中,在相對較短的波長時,隱失波穿透深度淺,不容易達到銀與介質(zhì)界面,對共振狀態(tài)影響很弱,能量損耗小;當一個更長的波長,穿透能力提高,伴有部分的能量消耗,剩余的能量返回到反射光,可以適當提高反映強度。在不同的參數(shù)中,最佳諧振波長是不同的,因此,對于不同的結(jié)構(gòu),必須優(yōu)化入射光的波長以獲得最佳的探測效果。

        圖2 不同波長下的反射譜

        1.2.2厚度的影響

        通過模型可以看出,測量的折射率與諧振角之間的關系,測量層的厚度影響共振角。二氧化硅的厚度薄時,需要考慮空氣層影響,外部的系統(tǒng)被視為一個4層結(jié)構(gòu),如果測量對象的厚度大,接近波長時,系統(tǒng)可以被看作是3層結(jié)構(gòu)。圖3是一個SPR反射光譜,使用4層結(jié)構(gòu)模型,測量的是二氧化硅的厚度100、200、300、400和500 nm。模擬結(jié)果表明,隨著測量層厚度的增加,共振角度增大,然而測量層厚度增加到一定程度時,共振角的位置不再變化。分析層厚,外部空氣層不會影響測試結(jié)果,可以把系統(tǒng)作為棱鏡-銀膜-二氧化硅結(jié)構(gòu)的測試計算和仿真研究。此外,計算結(jié)果表明,隨著測量層厚度的增加,共振峰逐漸變得銳利,提高了檢測精度。它可以適當?shù)卦黾訙y量材料層的厚度,同時調(diào)整共振角的位置,從而影響半峰寬的性能,以獲得最佳的精度,并能簡化理論模型、計算和分析。然而,在實際應用中,材料層的厚度不應增加,否則,測量材料的折射率變化不均勻,測試時間和精度受到影響。因此,在實際應用中,應考慮檢測靈敏度和檢測時間,選擇合適的測量層厚度。

        圖3 不同被測物厚度下的SPR反射譜

        2 實驗分析

        2.1 SPR共振分析

        在多物理仿真中給出了表面等離子共振的磁場分布圖(見圖4)。為了更準確地模擬共振場景,結(jié)構(gòu)的每一層都被視為一個無限平面,而模擬的2個邊界被定義為周期邊界條件。從圖中可以明顯看出,電磁場的能量集中在銀和多孔陶瓷二氧化硅的交界處附近,這是高度局部性的。

        圖4 共振情況下磁場Hz(x,y)分布

        2.2 共振峰的變化影響分析

        圖5所示的曲線顯示了模擬反射光譜,而厚度d從40 nm增加到70 nm。如圖5所示,銀色薄膜越厚,SPR光譜越窄。峰值的寬度可以由FWHM(Full Width at Half Maxima,F(xiàn)WHM。半峰、全寬亦稱半寬度,半峰寬)計算,較小的FWHM可以導致更高的探測分辨率。然而,當d>70 nm時,雖然FWHM較小,共振峰的最小峰值逐漸增加,峰值越高表明共振現(xiàn)象越不明顯。

        (a)d=70 nm

        (b)d=55 nm

        (c)d=40 nm

        圖5 不同銀厚度下檢測系統(tǒng)的反射譜示意圖

        濕度傳感器的靈敏度是根據(jù)d=55 nm的最優(yōu)厚度計算的。在之前的分析中,可以看到相對介電常數(shù)越大,共振峰越高,共振角越大。圖6顯示了介質(zhì)折射率對共振角的影響。實線是由菲涅耳公式得出的數(shù)值曲線,黑點是直接從模擬結(jié)果中得到的數(shù)值。仿真結(jié)果和解析表達式表明了該方法的一致性。

        圖6 共振角與介質(zhì)折射率的關系

        根據(jù)相對濕度函數(shù),共振角與環(huán)境濕度的關系如圖7所示。結(jié)果表明,RH變化范圍0%~100%,θ從54.8°~57.5°。角度分辨率的當前測試極限是0.01°,所以該濕度傳感器的分辨率為0.30% RH。這一分辨率大大超過電容式濕度傳感器的分辨率。在這種情況下,濕度傳感器的靈敏度為0.025RH。

        圖7 共振角與環(huán)境濕度的關系

        3 結(jié) 語

        基于SPR的傳感器用于檢測周圍環(huán)境的相對濕度,使用有限元方法進行仿真的設計結(jié)構(gòu),觀察到SPR傳感器芯片銀膜和濕氣層界面區(qū)域的電磁場分布,并優(yōu)化膜厚度,得出當薄膜的厚度約55 nm,傳感器具有很高的靈敏度和更好的解決,希望這種方法能夠為高靈敏度和濕度檢測提供有效的技術和手段。

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