羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測性維修技術(shù)分析

羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

多年的調(diào)查分析研究表明，預(yù)測性維修技術(shù)是維修領(lǐng)域近年來研究的重點對象，對其關(guān)注度逐漸提升。本文從預(yù)測性維修技術(shù)出發(fā)，首先分析故障后維修和預(yù)防性維修以及預(yù)測性維修，對三者的不同點和相同點及各自的優(yōu)缺點做了相應(yīng)的論述。近年來的半導(dǎo)體設(shè)備主要都是流水線作業(yè)生產(chǎn)，因此在流水線生產(chǎn)的過程中，只要有其中任何一臺設(shè)備出現(xiàn)問題或發(fā)生故障，流水線作業(yè)的中斷都會使整個作業(yè)過程中斷，給公司或企業(yè)帶來經(jīng)濟損失。

半導(dǎo)體設(shè)備；故障后維修；預(yù)防性維修；預(yù)測性維修；技術(shù)分析

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，設(shè)備制造技術(shù)也越來越先進，設(shè)備自身構(gòu)造也越來越復(fù)雜。因此使得半導(dǎo)體設(shè)備的維修技術(shù)面臨著前所未有的挑戰(zhàn)，也對半導(dǎo)體設(shè)備維修人員的專業(yè)知識提出了更高的要求。本文主要對半導(dǎo)體設(shè)備的故障后維修和預(yù)防性維修以及預(yù)測性維修技術(shù)進行了相關(guān)的分析，由于預(yù)測性維修技術(shù)作為維修技術(shù)中心新方向，也成為一種新型的維修方式，相對于傳統(tǒng)的其他維修方式，有更多的優(yōu)點和可取之處，從長遠角度來看其發(fā)展的空間和實用性還是比較大的。

1 維修方式的發(fā)展

按照半導(dǎo)體設(shè)備的運行狀態(tài)和維修的時間，從維修方角度的方式出發(fā)，在故障前進行了維修，屬于故障前維修，在故障后進行維修，屬于故障后維修。如果從維修所使用的依據(jù)的角度出發(fā)，可以將故障前維修分為預(yù)防性維修和預(yù)測性維修。

故障后維修主要是指的事后維修，主要是在故障發(fā)生之后存在故障的情況下才有維修的這個過程，主要維修依據(jù)是設(shè)備是否正常運作或者設(shè)備是否整體完好，如果設(shè)備遭到損壞之后再維修并不屬于修復(fù)性維修，這種屬于因為不在原定計劃范圍內(nèi)的維修，因此叫做非計劃性維修。

1.1 預(yù)防性維修的概述

預(yù)防性維修主要指的是以一段時間或者一段時間的時間間隔為維修依據(jù)，定時對機器進行檢修，也就是定時進行預(yù)防性維修，其檢修的間隔時間的設(shè)置可以參照相關(guān)企業(yè)的生產(chǎn)計劃，企業(yè)經(jīng)驗和具體的生活環(huán)境等等因素，這些問題都可以請教專業(yè)的維修技術(shù)人員，大部分企業(yè)主要是根據(jù)和企業(yè)相關(guān)的生產(chǎn)計劃和豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗，按照規(guī)定的時間間隔進行維修，應(yīng)經(jīng)常更換一些容易受到磨損的小零件，來防止由于小零件帶來的小問題而使得整個生產(chǎn)線停產(chǎn)整頓等危害事件的發(fā)生和損失的進一步擴大，導(dǎo)致機器設(shè)備的損壞。從目前的情況來看，這種維修方法還是目前維修技術(shù)中比較先進和常用的方法，也就是我們在日常生活中所說的以不變應(yīng)萬變采用的計劃維修和定期維修，根據(jù)具體情況的不同，可以設(shè)置成不同程度的，比如大修、小修和中修等不同的修理情況。

1.2 預(yù)測性維修的概述

預(yù)測性維修主要是以工作狀態(tài)和機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)為依據(jù)，對機器設(shè)備進行實時監(jiān)控，并且當(dāng)機器在正常工作狀態(tài)下運行時，對它的主要技術(shù)參數(shù)作出測量和相關(guān)參數(shù)的記錄，當(dāng)發(fā)現(xiàn)問題時，可以對機器設(shè)備的狀態(tài)進行監(jiān)測，然后請相關(guān)的專業(yè)技術(shù)維修人員進行相應(yīng)的故障排除與診斷，不僅可以判定設(shè)備當(dāng)前所處的工作狀態(tài)是否處于正常狀態(tài)，還可以預(yù)測一段時間以內(nèi)設(shè)備狀態(tài)的未來趨勢。預(yù)測性維修不僅不需要定時定期的對于相關(guān)的機器設(shè)備進行檢查，還僅僅只需要做好對工作機器設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)測和故障診斷以及故障排查與修復(fù)，并且根據(jù)所出現(xiàn)的問題，有針對性的提出維修的解決方案后，將措施真正的進一步落實，故障排除和故障維修融為一體，這是一種非常新型的維修技術(shù)運作方式。

1.3 預(yù)測性維修的意義

預(yù)測性維修不同于傳統(tǒng)的維修方式，在對半導(dǎo)體設(shè)備進行管理時一個非常重要的環(huán)節(jié)，雖然在某種程度上來看，目前它并不能取代定時和定期維修，但是目前可以通過對其工作狀態(tài)的監(jiān)測，提前了解相應(yīng)的資料和工作說明。

這種監(jiān)測和實時監(jiān)控的模式對于流水線作業(yè)的產(chǎn)品來說還是非常有必要的，因為在正常的生產(chǎn)過程中，只要某個失誤或者不確定因素造成這個設(shè)備無法使用時，只要有一臺工作設(shè)備出現(xiàn)故障，那么整個生產(chǎn)的過程就需要停止并檢查出問題所在，只有在排除故障之后，方可正常運行，在定時定量的更新設(shè)備的同時，也要注重實時監(jiān)控技術(shù)，對于比較重要的關(guān)鍵設(shè)備可以進行實時監(jiān)控，選用預(yù)測性維修，就可以貫徹執(zhí)行并落實預(yù)防性維修維護的依據(jù)和范圍。從內(nèi)部斷絕隱患從而避免對半導(dǎo)體設(shè)備造成本身的損失。

對半導(dǎo)體設(shè)備進行實時監(jiān)控，不僅有利于現(xiàn)代設(shè)備維修，符合生產(chǎn)流水線的要求，并且可以逐步減少故障率，大大減少了新的培訓(xùn)維修的費用，這樣更有利于大家貫徹執(zhí)行預(yù)防性維護技術(shù)的基礎(chǔ)對策和措施。

2 半導(dǎo)體設(shè)備維修管理模式建議

首先是堅持預(yù)防為主，防治結(jié)合的原則，從根本上斷絕設(shè)備事故出現(xiàn)的概率，最大限度的減少設(shè)備故障的發(fā)生可能性。

其次是建立較為完善標準的文件，從設(shè)備技術(shù)到技術(shù)保護的標準。

再次就是需要有關(guān)部門建立健全并完善相應(yīng)的法律法規(guī)，使維修性技術(shù)能夠得到大幅的提升，而不是游走在法律的邊緣。

此外，還需要相關(guān)管理人員明確管理目標，樹立正確的觀念，堅持全面協(xié)調(diào)可持續(xù)發(fā)展，在堅持安全第一的前提條件下又好又快的發(fā)展經(jīng)濟。

最后是可以對于生產(chǎn)過程中的流水線上一些關(guān)鍵的設(shè)備設(shè)置監(jiān)控和檢測，監(jiān)控并檢測對于可能存在的需要使用的數(shù)據(jù)，例如溫度、壓強真空、電流、電壓等一系列的設(shè)備參數(shù)，可以通過監(jiān)控來及時有效、準確無誤的把握整個流水線生產(chǎn)過程中的每一臺機器的運作情況，因此從這個角度來看，預(yù)測性檢測還是非常有幫助的。相關(guān)管理人員和相關(guān)專業(yè)人士更要及時對系統(tǒng)存在的問題進行相應(yīng)的排查。

3 半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測性維修分析

從目前的情況來看，預(yù)測性維修主要是通過實時的監(jiān)控，并根據(jù)狀態(tài)監(jiān)測進行調(diào)整，相關(guān)監(jiān)控設(shè)備主要是根據(jù)所設(shè)定的時間來定期或連續(xù)不斷的對設(shè)備進行狀態(tài)監(jiān)測，以期來保證機器的正常運作和整個生產(chǎn)流水線過程的適應(yīng)性。如果出現(xiàn)問題就會發(fā)出警報；如果發(fā)出警報，說明流水線作業(yè)的某一環(huán)節(jié)出現(xiàn)了問題，這就需要相關(guān)技術(shù)人員及時查清故障發(fā)生部位，設(shè)備是否運行正常，有無相關(guān)故障，或是否存在故障的發(fā)展趨勢和潛在問題，根據(jù)實際具體的情況再適當(dāng)?shù)陌才啪S修情況。

首先要對流水生產(chǎn)線上的每一臺設(shè)備都制定設(shè)備臺賬賬本，記錄每一臺設(shè)備的故障原因的發(fā)生時間，持續(xù)時間，維修方法以及維修結(jié)果，這樣就如同醫(yī)院看病的病歷，保持對過去記錄的備錄在案，這樣能幫助我們又快又好的找到故障設(shè)備的故障和問題存在。第二，要對設(shè)備正常工作運轉(zhuǎn)時的相關(guān)動態(tài)參數(shù)加以記錄，例如波動范圍，對于壓力、壓強的控制等等，需要每天有專職人員對其進行檢查并記錄在案。根據(jù)每天的巡查和記錄，我們需要了解的是故障診斷是指不定期或者是值得記錄的相關(guān)重要設(shè)備進行狀態(tài)監(jiān)測，并將有關(guān)結(jié)果記錄在案。根據(jù)其結(jié)果確定設(shè)備有無狀態(tài)異?；蛘吖收馅厔?，然后相關(guān)技術(shù)人員和專業(yè)人士對數(shù)據(jù)進行分析和處理，并對可能出現(xiàn)故障的設(shè)備加以維修，這不僅僅提高了工作上的效率，還大大節(jié)省了時間，一舉兩得。相關(guān)維修技術(shù)人員也需要充分的了解他們的專業(yè)知識，應(yīng)該查清故障設(shè)備的內(nèi)部運轉(zhuǎn)情況并發(fā)現(xiàn)問題，有針對性的對所提出的問題進行相應(yīng)的改變，維修好之后也要及時考慮如何加強防范措施并且加以總結(jié)反思，記錄在案，這樣也是對維修工作的極大幫助。

4 結(jié)語

僅僅依靠人工來對設(shè)備進行故障分析和故障排查，不僅消耗了大量的人力物力，而且由于人工監(jiān)控存在不連續(xù)性和不準確性，可能遺漏一些重要的參數(shù)。如果要對半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測性維修，做到真正實際科學(xué)的監(jiān)控，還需要科學(xué)技術(shù)進一步的支持和幫助，利用科學(xué)技術(shù)設(shè)備來對生產(chǎn)流水線上的主要設(shè)備進行實時監(jiān)控，保證生產(chǎn)生活的順利進行，并且要時刻保持對先進科學(xué)技術(shù)發(fā)展的關(guān)注，為我國半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)測性維修技術(shù)作出應(yīng)有的貢獻。

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