黃莉

摘 要：本文介紹了激光干涉測量常見的應(yīng)用，分析了本領(lǐng)域利用激光干涉原理測量長度、厚度、物體表面輪廓面貌的專利申請情況。通過對激光干涉測量領(lǐng)域?qū)＠牟煌攴?、不同國家、不同申請人的?shù)據(jù)統(tǒng)計，分析了激光干涉測量領(lǐng)域技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r和專利申請情況。

關(guān)鍵詞：激光干涉；測量；專利申請

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.15.260

1 引言

干涉測量應(yīng)用范圍十分廣泛，可用于位移、長度、角度、面形、介質(zhì)折射率的變化及振動等方面的測量。在測量技術(shù)中，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等[1]；70年代以后，抗環(huán)境干擾的外差干涉儀（交流干涉儀）發(fā)展迅速，如雙頻激光干涉儀等；近年來，光纖干涉儀的出現(xiàn)使干涉儀結(jié)構(gòu)更加簡單、緊湊，干涉儀性能也更加穩(wěn)定[2]。

2 激光干涉測量技術(shù)的專利申請狀況分析

2.1 激光干涉測量技術(shù)的專利申請量

激光干涉測量技術(shù)在光學(xué)測量領(lǐng)域的專利申請最早出現(xiàn)在1964年，從圖2.1可以看出，在1960年以前，激光干涉技術(shù)專利申請量為零；在1975到1995年期間，激光干涉測量技術(shù)的專利申請逐漸穩(wěn)步上升，但是上升幅度較小，每年的專利申請數(shù)量小于100件；在2000年到2001年激光干涉測量技術(shù)的專利申請量有了較大的提高，此時激光干涉測量技術(shù)已經(jīng)形成了各種先進(jìn)的激光干涉測量儀，應(yīng)用范圍進(jìn)一步擴(kuò)寬；2001后，激光干涉測量技術(shù)在精度和靈敏度上進(jìn)一步發(fā)展，甚至在光學(xué)薄膜厚度測試方面，用干涉法測厚的精度可以達(dá)到0.01nm，測量角度，分辨力可達(dá)0.05''以上，測量面形分辨力可達(dá)1/100λ，測量光學(xué)零件曲率半徑，分辨力可達(dá)1um；此后每一年的激光干涉測量技術(shù)的專利申請數(shù)據(jù)都在200件以上并保持穩(wěn)步上升的趨勢，專利申請數(shù)量保持較高的申請量。

2.2 激光干涉測量技術(shù)的專利申請國家分布

激光干涉測量技術(shù)最早是在歐美國家研發(fā)，在最終是由日本的學(xué)者將該技術(shù)擴(kuò)寬到各個領(lǐng)域中，激光干涉測量技術(shù)在日本得到了更深入的研究和發(fā)展，隨后，中國的學(xué)者也開始將激光干涉測量技術(shù)加入研究的技術(shù)領(lǐng)域；激光干涉測量技術(shù)在日本的專利申請量最多，與美國和中國的激光干涉測量專利申請數(shù)量有較大差額，美國激光干涉測量專利位于第二，中國緊隨其后。

2.3 激光干涉測量技術(shù)的專利申請人分布

激光干涉技術(shù)在測量領(lǐng)域的專利申請的申請人中，大部分都來自高校，其次是公司申請，來自研究所的申請也占了較大部分；PCT申請的占有率最少，從側(cè)面反映出了，激光干涉測量技術(shù)屬于一門研究型的技術(shù)，是一門高科技學(xué)科；在高校申請中，清華大學(xué)的激光干涉測量專利申請量最多，其次是天津大學(xué)的激光干涉測量專利申請；在公司申請中，上海微電子裝備有限公司的激光干涉測量專利申請量最多；而在各研究所的激光干涉測量專利申請量中，沒有特別突出的；這也反應(yīng)了，在激光干涉測量技術(shù)研究中，清華大學(xué)和天津大學(xué)的研究較為靠前，而在激光干涉測量技術(shù)的應(yīng)用中，上海微電子裝備有限公司占據(jù)市場較大份額。

3 總結(jié)

本文針對激光干涉測量技術(shù)的專利申請情況，根據(jù)激光干涉測量技術(shù)的起源和發(fā)展歷程，分析了激光干涉測量技術(shù)的專利申請情況，對激光干涉測量技術(shù)在不同的光學(xué)測量領(lǐng)域的專利申請情況，通過數(shù)據(jù)分析了激光干涉測量技術(shù)在不同國家地區(qū)的專利申請情況，了解了該項技術(shù)在不同國家之間的發(fā)展情況和該項技術(shù)在我國的發(fā)展情況。

參考文獻(xiàn)：

[1]段小艷，任冬梅.激光干涉法微位移測量技術(shù)綜述[J].計測技術(shù)，2012，32（06）：1-13.

[2]于航，陸冰睿等.激光干涉光刻工藝開發(fā)與應(yīng)用研究[J].傳感器與微系統(tǒng)，2013，32（50）：9-12.endprint