沈陽(yáng)拓荊科技有限公司是國(guó)內(nèi)唯一能夠生產(chǎn)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的12英寸PECVD設(shè)備企業(yè)。公司自2010年成立至今，已申請(qǐng)專利318項(xiàng)，其中發(fā)明專利220項(xiàng)，國(guó)際專利25項(xiàng)，已授權(quán)105項(xiàng)。形成了12英寸PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備）、ALD（原子層沉積設(shè)備）、3D NAND PECVD（三維閃存專用薄膜設(shè)備）的三個(gè)完整系列產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于集成電路、3D-TSV、光波導(dǎo)、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域，打破了國(guó)際壟斷，填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。公司董事長(zhǎng)姜謙介紹，拓荊公司不斷占領(lǐng)市場(chǎng)的法寶，就是創(chuàng)新。產(chǎn)品已在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、廈門聯(lián)芯等國(guó)內(nèi)主流集成電路生產(chǎn)線上得到批量應(yīng)用。自籌資金開展研發(fā)的12英寸ALD設(shè)備，薄膜厚度的精確性可達(dá)到原子級(jí)，在半導(dǎo)體、醫(yī)療器材、新能源、軍工等領(lǐng)域擁有廣泛的應(yīng)用前景。拓荊公司已成為國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略布局中的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)企業(yè)，吸引了國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金為首的戰(zhàn)略投資總額達(dá)8.1億元。拓荊公司未來的創(chuàng)新將繼續(xù)與市場(chǎng)緊密互動(dòng)，積極配合客戶的應(yīng)用拓展，在28nm及以下通用介質(zhì)、非晶碳硬掩膜、三維閃存疊加層、ALD、14nm ULK/SiC等技術(shù)方面尋求突破，把握市場(chǎng)先機(jī)。endprint