方方+王涵

蒸汽機作為一個現(xiàn)象級的神器，它的出現(xiàn)打開了人類步入工業(yè)文明的大門。它所提供的源源不斷的動力，極大地推動了現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展。而鋼鐵作為那個時代的“磚和瓦”，造就了巍峨的現(xiàn)代工業(yè)社會大廈。如今，芯片已經(jīng)取代鋼鐵成為信息時代的基石，提供核心發(fā)展驅動力的蒸汽機也被制造芯片的高端裝備所取代。

早在2013年，我國的芯片進口總值已超過石油成為第一大商品。芯片的廣泛應用對社會生活的各個方面產生了巨大影響，國民經(jīng)濟、國家安全也都系于小小芯片的方寸之間。要真正實現(xiàn)經(jīng)濟騰飛、大國崛起，我國必須擺脫在芯片上對外的高度依賴，而攔在通往芯片自主之路上的最大障礙就是以光刻機為代表的集成電路制造的高端裝備。

光刻機，這個被周光召先生譽為新時代“兩彈一星”的“神器”，以其極高的精度被業(yè)界看作是微細加工的“珠穆朗瑪”，是實現(xiàn)《中國制造2025》計劃“新一代信息技術產業(yè)”這一重點領域突破的大國重器。光刻機中最關鍵的兩個子系統(tǒng)是超精密曝光光學系統(tǒng)和超精密工件臺系統(tǒng)，它們分別代表了超精密光學和超精密機械的技術最高峰。光刻機的研制能力，不僅反映出一個國家的科技實力，也代表了一個國家的精密制造水平。

國外業(yè)界曾認為，中國人現(xiàn)在不能、未來也不可能造出如此高精密超復雜的光刻機設備。日本尼康株式會社的社長來中國訪問時曾說過這么一句話：“光刻機光學系統(tǒng)雖然很難，我相信你們能夠研制出來，但工件臺恐怕就拿不下來了，因為這個系統(tǒng)太復雜了?！?/p>

然而，就是這么一個被公認為“太復雜”而不可能被中國解決的科技難題，卻被清華大學朱煜教授帶領的團隊攻克了。在國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展上，他們展出了自主研制的光刻機雙工件臺的核心模塊，即運動定位模塊POMO，裝備這種模塊的雙工件臺系統(tǒng)可實現(xiàn)與掩模臺優(yōu)于2nm的同步運動精度。

這是什么概念？人的頭發(fā)絲直徑平均是80微米.2納米相當于頭發(fā)絲直徑的四萬分之一。而2納米同步運動精度則可以這樣想象：兩架時速1000千米的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米（頭發(fā)絲直徑的八十分之一）。

如此極端的性能指標，使光刻機雙工件臺成為當之無愧的“精密機械之王”。當該成果被展出時，“王”背后的勇士們也走進了公眾的視野。

以戰(zhàn)略眼光看問題

光刻機，是集成電路領域關鍵設備，是國家高科技戰(zhàn)略必爭之地。當前，一臺最先進的浸沒式雙工件臺光刻機售價高達1億美元！這種光刻機可被用于10nm及以下集成電路制造工藝節(jié)點。放眼全球，只有荷蘭ASML公司能夠生產出這樣的光刻機，而國內光刻機中性能最好的樣機尚只能用于90nm工藝節(jié)點。

高昂的資金門檻，高精尖的技術瓶頸，將全世界的高端光刻機生產局限在非常有限的幾家企業(yè)之內：而對于最新型的EUV光刻機，ASML更是完全壟斷了整個市場。如此一來，就算我國耗費巨資來購買設備，應用中也會受制于人。根據(jù)“瓦森納協(xié)定”，西方國家對中國銷售這類先進裝備有著明確的限制：禁止將最先進的光刻機賣給中國，禁止用他們出售的光刻機生產國防及航天等的核心器件。對于我國集成電路產業(yè)的自主發(fā)展來講，這個限制猶如巨人被卡住了咽喉。

此情此境之下.中國能不能攻克光刻機.不僅意味著能否拔掉我國集成電路發(fā)展道路上的“在喉之鯁”，更意味著有沒有能力在超精密制造裝備方面達到世界頂尖水平。對于光刻機發(fā)展的戰(zhàn)略意義，朱煜十多年前就有了深刻地認識和領會。早在2001年.朱煜參與了“十五”“863”IC裝備重大專項的規(guī)劃工作.作為該規(guī)劃方案的主要執(zhí)筆者.他從一開始就認識到發(fā)展光刻機產業(yè)對于實施國家戰(zhàn)略的重要意義。2004年起.朱煜又參與了推動光刻機等高端集成電路制造裝備進入國家科技重大專項的工作。2006年年初，《國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》發(fā)布.集成電路裝備正式被列入國家16個科技重大專項，業(yè)內稱之為“02專項”。2006年11月2日，02專項實施方案編制專家組正式成立.朱煜擔任副組長，成為該專項實施方案的主要執(zhí)筆人。

幾年間，朱煜親歷了集成電路高端裝備提上國家戰(zhàn)略發(fā)展日程的過程，看到了國家層面的高度重視，也預見了這個產業(yè)的發(fā)展勢頭。在他的科研生涯中，從宏觀戰(zhàn)略角度思考問題，已經(jīng)成為一種習慣。他義無反顧地選擇光刻機工件臺，究其原因，一是立足國家戰(zhàn)略需要：二是圓清華大學的光刻機夢。

從國家戰(zhàn)略需求的角度想，要做就做最需要的、也可能是最難的研究。工件臺是光刻機最重要的核心子系統(tǒng)，是最難啃的“硬骨頭”——即便強大如ASML，其一個新工件臺系統(tǒng)的研發(fā)都要耗費十幾年的時間。

從圓夢的角度看，作為一個清華人，朱煜深深了解歷史上清華大學與中國光刻機研發(fā)之間的淵源。上世紀70年代，清華大學精儀系成功研制了“自動分步重復照相機”，也就是當時的步進光刻機。那時，當今的半導體巨擘英特爾不過剛剛成立，現(xiàn)在的光刻機巨頭ASML還未創(chuàng)立，那臺“清華出品”讓中國足以自豪。然而，隨著國家放慢了對半導體工業(yè)支持的腳步，從20世紀70年代到21世紀初，在狂飆突進的國際半導體行業(yè)，我國卻被遠遠甩在了后面，清華人真的黯然了。

“30多年了，歷史繞了個大圈兒，又回到了起點?！敝祆洗蛉さ卣f，“歷史給了清華一個機會，我們又從同一個起點出發(fā)了。讓我們來完成前輩們未競的事業(yè)吧！”

要啃下光刻機工件臺這根“硬骨頭”，光憑一腔熱血遠遠不夠。光刻機工件臺所蘊含的技術水平之高、系統(tǒng)之復雜，絕不是幾個人拼命干就能干出來的?！捌疵墒潜仨毜模匾氖且x擇正確的技術路線，要構建完備的技術體系?！敝祆先缡钦f。

從2001年開始，他一邊從事光刻機同步試驗臺項目的研發(fā)工作，一邊抓緊光刻機工件臺技術發(fā)展戰(zhàn)略的研究?！拔业谝淮慰吹降碾p工件臺是AsML的一段展示視頻”，初睹雙工件臺，即使只是視頻，朱煜也被深深震撼了?！拔蚁乱庾R地對自己說，這就是我想要做的，中國必須掌握這樣的尖端技術！”

彼時ASML雙工件臺光刻機剛剛上市，業(yè)內部分資深人士嘲笑它“龐大、笨重、復雜、昂貴”。朱煜卻在第一時間注意到該技術的巨大潛力，全力開展研究工作。一年后，我國第一項雙工件臺專利誕生于清華園，由此開啟了中國光刻機研發(fā)道路上的雙工件臺時代。而朱煜在規(guī)劃中國光刻機工件臺技術路線的同時.結合當時正在進行的“光刻機工件臺同步試驗臺項目”.前瞻性地提出了“氣浮、磁浮”“超精密測量”“超精密控制”等九大關鍵技術的工件臺技術架構，并針對這些關鍵技術逐一布局進行預研。這一布局為后續(xù)雙工件臺研發(fā)成功奠定了堅實的技術基礎。

確定了研究目標，設定了技術路線，構建了技術體系，在一般人看來，接下來要做的無外乎放手大干了，但在朱煜的腦中，工件臺攻關遠不止這么簡單。他超前地認為，作為光刻機這個超級復雜系統(tǒng)的一個核心子系統(tǒng)，工件臺的研發(fā)組織必須從整機的角度出發(fā)，如果組織不當，即便雙工件臺研發(fā)成功，也難以真正滿足整機需求，最多不過是“擺在實驗室的漂亮展品”。

然而，在雙工件臺項目上馬時，國家尚未啟動相應的雙工件臺光刻機整機項目，整機單位為之奮斗的還是單工件臺光刻機?！氨仨氉屛覀冄邪l(fā)的雙工件臺為國產高端光刻機所用！”朱煜這樣要求自己。2008年雙工件臺項目啟動前，經(jīng)過認真思考，他提出了項目內設置整機用戶聯(lián)合研發(fā)課題，并進行集成測試考核的模式。此后的6年研發(fā)中，整機與部件單位不斷磨合，最終確保了研發(fā)出的雙工件臺真正達到了光刻機整機嚴苛的技術要求。

對于朱煜，同行們給予了相當高的評價：統(tǒng)觀全局，把雙工件臺研發(fā)這一戰(zhàn)役放在整機乃至國家戰(zhàn)略的高度去考慮；審時度勢，正確地制定了雙工件臺研發(fā)目標：縝密運籌.超前地構造了雙工件臺的技術框架。他的這些選擇.將一個戰(zhàn)略決策者的作用發(fā)揮得恰如其分。

登上雙工件臺高峰

“十年磨一劍，百天一納米”，這條懸掛在實驗室的橫幅或許能說明朱煜及其團隊成員這些年的心路歷程。雙工件臺的研發(fā)道路漫長而坎坷，一路走來的艱辛和曲折，用“九九八十一難”來形容似乎也不為過。

說起困難，最難莫過于起步之難。2002年開始爭取工件臺研發(fā)項目的時候，除了朱煜自己，團隊中沒有一個成員知道光刻機是什么，而競爭對手則是國內多年從事光刻機研發(fā)的團隊。朱煜知難而進，一方面帶領團隊大量閱讀國外的相關專利文獻：一方面結合自己和團隊在超精密機械方面的研究基礎，晝夜奮戰(zhàn)，在很短的時間內拿出了一套技術方案。由于合理運用了各種先進的設計理念和技術，這套方案在技術層面即使以現(xiàn)在的眼光來評判也很超前。憑借這一方案，朱煜獲得了工件臺研發(fā)道路上第一個“863”專項課題——“光刻機工件臺同步試驗”，并在2004年研制出了中國第一個10納米同步精度的超精密運動平臺。

同步試驗臺的研制成功，極大地提振了朱煜和團隊的信心，前途似乎一片光明。然而現(xiàn)實卻沒有想象中的美好，從2004到2008年，團隊沒有再得到新的支持，研究幾度陷入停頓。絕境之中，朱煜沒有轉向其它可以申請到經(jīng)費的新方向，而是選擇了艱難地堅持，多方籌措經(jīng)費繼續(xù)工件臺研發(fā)。在雙工件臺項目立項而經(jīng)費沒有到位的時候，朱煜做出了旁觀者眼中近乎“瘋狂”的舉動，向學校借了700萬元，以保證研發(fā)進度不中斷。

憑著圓夢光刻機的信念和執(zhí)著，他們在短短幾年中快速地推進雙工件臺技術的預研，實現(xiàn)了關鍵的技術積累和重大的戰(zhàn)略布局——數(shù)十項雙工件臺專利、第一臺納米精度的三自由度微動臺、先進陶瓷材料的成功應用、第一臺可實現(xiàn)交換的縮尺雙工件臺驗證系統(tǒng)等研究成果陸續(xù)產生。

2009年，東風吹來，依靠前期的深厚技術積累，朱煜及其團隊獲得了國家科技重大專項資助，爭取到了研制雙工件臺的機會。就在團隊上下歡欣鼓舞，準備大干快上的時候，一個意外的消息傳來了：光刻機巨頭ASML推出了新一代基于磁懸浮平面電機的雙工件臺產品。這是光刻機技術自2001年進入雙工件臺時代后又一次重大變革！雖然團隊在磁懸浮平面電機技術上早有布局，但看到新技術應用如此迅猛，他們仍然感到有些措手不及。

“我們最初的計劃是做氣浮導軌式直線電機雙工件臺?！敝祆险f。在該領域，他們已經(jīng)有了很好的基礎，可ASML已經(jīng)將最先進的平面電機技術用于雙工件臺了。

彼時，朱煜面臨項目研發(fā)最重大的技術抉擇。

如果選擇平面電機新技術，團隊所面臨的，是薄弱的技術基礎和巨大的技術風險，畢竟ASML研制該技術也花費了近8年的時間。更緊迫的是，同時期國內另一支團隊已經(jīng)全力以赴投入到傳統(tǒng)雙工件臺技術方案的研究中。如果這時采用激進的技術方案，競爭失敗的可能性將大幅上升，團隊的未來也將陷入混沌。

這是一個考驗團隊領導者智慧和魄力的時刻。為了避免“驗收即過時”對國家資源造成浪費，為了實現(xiàn)“跨越式發(fā)展”的戰(zhàn)略目標，從2009年到2010年，朱煜帶領團隊一面加緊平面電機技術的研發(fā)，一面組織團隊核心骨干對兩種技術方案進行反復對比和論證，最終決定：上馬平面電機！

選擇平面電機方案，意味著走上了一條更加崎嶇艱險的研發(fā)道路。為了確保完成任務，朱煜選擇“小步快跑、多輪迭代”這一極為艱苦的技術路線。從2010年到2014年，朱煜帶領團隊先后研制出平面電機推力實驗裝置、單自由度平面電機運動系統(tǒng)和三自由度平面電機運動系統(tǒng)，掌握了平面電機原理技術：進而在這一基礎上研制了平面電機單工件臺實驗系統(tǒng)、平面電機雙工件臺工程樣機和最終的a樣機。其中，平面電機單工件臺實驗系統(tǒng)在低速下實現(xiàn)了全部精度指標，工程樣機首次實現(xiàn)了基于平面電機驅動的雙臺交換，而a樣機則最終實現(xiàn)了全部性能指標，有效實現(xiàn)了巨大技術跨越的工程目標。

事實證明，“小步快跑、多輪迭代”的策略行之有效，但其需要團隊領導者具有敏銳的科研洞察力，需要團隊成員能夠艱苦作戰(zhàn)打硬仗。萬一迭代過程中的某一輪次出現(xiàn)系統(tǒng)性問題，就將嚴重影響迭代速度甚至使之停滯。2010年，掩模臺的研發(fā)就遇到了這樣的問題。當時，掩模臺的運動控制精度一直徘徊在上百納米量級，參與調試的控制工程師絞盡腦汁也不能使之降低。隨著時間的流逝，人們的信心有些動搖。朱煜及時給大家“打了一劑強心針”。經(jīng)過對實驗數(shù)據(jù)和調試過程的仔細分析，他堅定地指出：現(xiàn)有的系統(tǒng)沒有問題，只要措施得當，一定能夠實現(xiàn)預期精度！他果斷地提出上馬“10nm工程”，調集了最精銳的教師、研究生、控制工程師和結構工程師，對系統(tǒng)進行“會診”。經(jīng)過兩個月的連續(xù)奮戰(zhàn)，系統(tǒng)精度終于由最初的上百納米改進到十幾納米，這也讓團隊找回了往日的自信，積累了提升運動控制精度的系統(tǒng)方法。

無獨有偶，類似的情況在2014年再次出現(xiàn)。已經(jīng)進入聯(lián)合調試半年多的a樣機始終不能實現(xiàn)預期性能指標，調試組成員心急如焚卻苦無良策。就在一些骨干都面露絕望之色時，那塊橫幅高高懸掛起來了——“十年磨一劍，百天一納米”，這是激勵，也是挑戰(zhàn)。橫幅之下，朱煜的身影出現(xiàn)在調試第一線，最艱難的攻堅戰(zhàn)開始了?！澳鞘且欢坞y忘的經(jīng)歷，我們集中了全部力量，調試的主力分成兩班，輪番上陣，基本是住到實驗室里，晝夜無休！”朱煜回憶道。經(jīng)過數(shù)月的連續(xù)奮戰(zhàn)，中國第一臺基于平面電機技術的雙工件臺終于實現(xiàn)了預期的精度指標！

2014年9月至11月，工件臺a樣機在清華大學通過整機單位現(xiàn)場測試，掩模臺/硅片臺同步掃描指標實測達到MA：2 2nm、MsD：4 7nm。2015年2月，雙工件臺a樣機完成了在整機單位專用測試平臺上的集成，并通過了全面測試。

2016年4月28日，“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”項目研制出的兩套a樣機通過了02專項實施管理辦公室組織的正式驗收，關鍵技術指標達到了國際同類光刻機雙工件臺技術水平。項目完成專利申請231項，其中國際發(fā)明專利41項，已授權122項。

這次驗收會，02專項實施管理辦公室組織了業(yè)內最權威的專家出席評審。驗收組專家一致認為，該項目的完成，標志著我國成為世界上少數(shù)幾個可自主研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術領域最尖端系統(tǒng)的國家，顯著提升了我國在高端光刻機這一戰(zhàn)略高科技產品研發(fā)方面的競爭能力。這也是02專項核心任務光刻機項目群中目前第一個通過正式驗收的項目，在02專項光刻機研制和我國超精密技術領域具有里程碑意義。

回首篳路藍縷的攻關路，朱煜誠懇地表示：“十幾年來，我們一直專注于光刻機雙工件臺研發(fā)。對我們這些從事精密技術研究者來說，一輩子能趕上這么一件事，實在是非常幸運?！?/p>

做最卓越的產品

樣機研發(fā)成功了，面對紛至沓來的掌聲與稱贊，朱煜卻并未感到輕松，相反，壓在他心頭的大石更重了，那就是雙工件臺的產業(yè)化。身為02專項總體專家組光刻機組的組長，少有人比他更了解雙工件臺產業(yè)化的意義和難度?！叭绻央p工件臺產業(yè)化比作10分的話，那么現(xiàn)在的樣機只能算1分，我們僅僅是走完了從0到1的過程，后面的路更泥濘、更崎嶇?！敝祆线@樣評價。

“早在第一輪樣機的研制過程中我就注意到產業(yè)化的難度了”，朱煜說。做技術研發(fā)再難，他們也會迎頭而上。而令他們頭疼的是，國內尚不具備匹配的工業(yè)支撐能力，購買性能滿足需求、能配套使用的電機、驅動器、傳感器、控制器等，均成為現(xiàn)實問題?！半m然我們已經(jīng)擁有了核心技術，但隨時可能被國外外圍配套非核心零部件廠商卡脖子。如此下去，將來如何才能實現(xiàn)光刻機雙工件臺產業(yè)化？”朱煜開始琢磨這個新問題。

要把一個高精尖的技術成果產業(yè)化，涉及的問題比科研本身更多。比如：如何形成穩(wěn)定的工具工裝來制造出性能一致的標準化產品？如何保證產品在“零件一單元一模塊一系統(tǒng)”過程中質量可控7如何建設起從設計、制造、集成到產品測試等各階段縝密嚴格的測試技術？如何打造完整自主可控的供應鏈體系……總而言之，產品化是在保證先進性的基礎上，提供出成本可控、性能可靠、質量穩(wěn)定、運行安全、維護方便的產品，同時要求具有足夠的市場競爭力。

就光刻機雙工件臺而言，這樣一個龐大復雜的技術系統(tǒng)，對于國內任何一家企業(yè)來說，實現(xiàn)產業(yè)化都極具挑戰(zhàn)性。這也是朱煜團隊決心親自實現(xiàn)產業(yè)化的重要原因，因為沒有人比他們更了解這項高精尖技術，以及技術背后的管控復雜性。

“必須創(chuàng)立一個專門的產業(yè)化平臺”，接下來的一年中，這個話題先后10多次被專項領導提起。朱煜也從最初的遲疑而日漸堅定。2012年年底，在北京市和清華大學的支持下，北京華卓精科科技有限公司正式注冊成立。

作為第一個真正走進中國唯一光刻機整機廠現(xiàn)場進行國產部件樣機集成與測試的團隊，朱煜和他的團隊成員對產品化始終保持著學習的熱情。樣機調試時，他們會討論如何快速裝配，團隊成員間如何默契配合，如何更快地解決調試過程中不斷涌出的各種技術與非技術現(xiàn)實問題等。在技術上，多渠道與整機方密切溝通，最終首次在整機單位現(xiàn)場實現(xiàn)了雙工件臺與整機機架的聯(lián)合調試。在管理上，朱煜專門聘請專業(yè)咨詢公司指導構建大項目管理體系與流程，派人到成熟企業(yè)學習管理經(jīng)驗，包括質量控制、生產管理、人力資源管理、供應鏈管理……一切都在為生產平臺的搭建有條不紊地推進著。

2015年1月，團隊承擔的“45nm浸沒式光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機優(yōu)化設計”通過了詳細設計評審，并獲得了較高評價：4月，華卓精科“65nmArF干式光刻機雙工件臺”通過整機詳細設計評審。至此，雙工件臺產品已具備投產條件。目前，65nm光刻機雙工件臺已獲得3臺訂單，合同金額超過1億元。

華卓精科發(fā)展蒸蒸日上，可回想創(chuàng)業(yè)初景，還是難免唏噓。盡管清華大學的產業(yè)孵化基金決定投入數(shù)百萬元，可還是撐不起華卓精科的底盤。出于對超精密事業(yè)的無限熱愛，朱煜和他的伙伴們——這群大學教師毅然放棄知識產權股份，湊出了幾百萬元現(xiàn)金，押上了他們的全部身家。

為什么？打開華卓精科的主頁，“至精至卓，至善至誠”8個字躍入眼簾，這就是華卓精科的態(tài)度。從命名開始，朱煜和他的團隊就把誠意放在了“成為中國乃至全球最卓越的精密科技公司”上，這是他們對超精密事業(yè)最執(zhí)著的追求。而在02專項項目正式驗收后，他們的目標又開始升級：在“十三五”期間，完成28nm及以下節(jié)點浸沒式光刻機雙工件臺產品化開發(fā)并具備小批量供貨能力，為國產浸沒光刻機產品化奠定堅實基礎。

“我首先是清華大學教授”

從一位國家戰(zhàn)略專家到一流大學科研團隊的負責人，再到高科技企業(yè)的首席科學家，朱煜的身份如層層包裹的洋蔥，但在多重身份的認同中，他明確表示——“我首先是清華大學教授”。

朱煜并不是清華大學的“土著”。最初與清華結緣，還是在1999年。當時的他是另一所大學的副教授，以訪問學者身份前來清華大學制造工程研究所工作。訪期結束后，又繼續(xù)留下開展博士后研究。由“客居”到“定居”，朱煜在清華園里逐漸扎根展葉，成為機械工程系名副其實的學術帶頭人。

朱煜帶領的IC制造裝備研究室是國家02重大專項項目“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”依托研究基地之一。在帶領團隊完成重大科研任務的同時，他籌建了“清華大學IC制造裝備精密機械與測控研究基地”，開辟了以IC制造裝備為主導的全新學術方向。從2008年起，他又逐漸建立了一支由教師、研究生和社會招聘的專職科研人員組成的接近百人的研究團隊。2012年，團隊入選科技部首批重點領域創(chuàng)新團隊：2013年，被清華大學列為綜合體制改革僅有的兩支校級團隊試點之一。

為了學科的可持續(xù)發(fā)展，朱煜在清華大學建成了500平米凈化實驗室和200平米制造基地，并將三坐標機、激光校準儀等一系列高端精密設備引入其中，形成了優(yōu)異的研究條件。團隊中一些到MIT參觀過的學生回來自豪地說：“MIT很多實驗室的設施還趕不上我們哩！”。這一切，為將來進一步建設具有國際水平的超精密機械研發(fā)平臺奠定了良好的基礎。

雖然開創(chuàng)了超精密測控研究方向，搭建了一流的研究平臺，但朱煜并未滿足，他希望其所從事的超精密研究不僅應用于半導體行業(yè)，而要服務于更多重要的國民經(jīng)濟和基礎研究領域。在他的主持下，超精密測控在多個相關前沿方向的研究不斷拓展，向更為廣闊的應用領域開枝散葉。

在研究生培養(yǎng)上，朱煜極為注重創(chuàng)新水平。他堅持認為，應該讓學生在一個高水平的交叉學科研究平臺上充分發(fā)揮創(chuàng)新能力，做出有價值的創(chuàng)新成果，從而達到培養(yǎng)創(chuàng)新性人才的目的。

“工程學科的研究生必須深入了解工程背景，從中提煉出工程問題，尋找創(chuàng)新研究方向?！敝祆蠈τ谘芯可囵B(yǎng)有著自己的思考，“但是，如果囿于現(xiàn)實工程背景而過度關注當下的工程問題，把精力過多地投入到直接解決問題上去，就會導致研究成果過分工程化，從而降低學術創(chuàng)新水平?！彼忉尩?。尤其在博士生培養(yǎng)上，他的標準更加明確：“博士生應該從工程背景中提煉出未來的工程需求，進而在最難滿足的工程需求中找到創(chuàng)新突破的方向，注重機理機制的揭示與問題解決方法的建立，使之更具有基礎性和一般性，這是學術創(chuàng)新的核心?！?/p>

每一次的周例會和學術報告會，朱煜的點評都是他麾下研究生們的期待。有時某個同學被點評得少了，會后還會專門找他，希望能得到更多的建議。如此錘打鍛造的學生，經(jīng)得多、看得多，知識與經(jīng)驗積累厚實，廣受用人單位青睞。迄今為止，朱煜先后培養(yǎng)博士、碩士數(shù)+名，大多進入國內外知名電子制造裝備企業(yè)，成為技術中堅力量。

在朱煜心里，為學生培養(yǎng)和學科建設做再多的事情，都是他身為“清華大學教授”的本分。他不僅堅持為本科生、研究生授課，還應邀在全校研究生素質拓展課上講述如何進行技術創(chuàng)新與學術創(chuàng)新，并積極參加到清華大學的招生宣講工作中去，向中學生講述學科前沿與專業(yè)發(fā)展，引導優(yōu)秀學生做出正確的專業(yè)選擇。

采訪側記：“陀螺人”朱煜

“我就是一個陀螺，一旦停下來就會倒下。不停，就可以一直高速旋轉?！敝祆线@么形容自己的狀態(tài)。

自1999年單槍匹馬到了清華大學，長達5年時間里，朱煜與妻兒分居南北，除了春節(jié)，他的周末和節(jié)假日幾乎都是在實驗室度過。早上8點，朱煜一定已在實驗室，晚上11點系館閉館時才離開。午飯和晚飯在食堂解決，騎車來回，吃飯速度極快；如果在家吃完，他總是將幾次的碗筷積攢到一起再洗，典型的單身漢生活。

就在工作出現(xiàn)起色的時候，非典降臨北京，清華大學封校。期間，學生們無法進入實驗區(qū)，為保證工作不停頓，朱煜獨力支撐，就連跑海關和外匯局之類瑣事也得親力親為。實在忙不過來的他，索性在實驗室囤了方便面來打發(fā)三餐。身體透支之下，2004年起，他患上了嚴重的蕁麻疹，長期服藥，并經(jīng)常性口腔潰瘍。

有一段心靈雞湯這樣說：“健康是1，其它都是0，沒有了健康，加再多0也沒用?！睂Υ?，朱煜卻另有看法。在他看來，人不應一味追求絕對的健康，努力做出更多對社會有益的創(chuàng)新創(chuàng)造才能讓生命更有意義，而他選擇的創(chuàng)新方向就是精密科技。對他來說，工作是最有效的健身。即使經(jīng)歷過身體透支，面對每年的體檢結果，他對自己的身體狀況依然表示滿意。

樂觀至此，朱煜不覺得有什么困難是不可克服的。經(jīng)過數(shù)年磨礪，他們的雙工件臺產品經(jīng)過內部考核，已經(jīng)顯示出質量的可靠性和穩(wěn)定性。他們還會持續(xù)提升雙工件臺的性能，讓產品不斷成熟、升級。他相信天道酬勤，在他的信條里，“我要做的就是把自己的工作做好，別的都無需考慮”。這一點，他的目光格外令人信服。