新型激光比長儀實(shí)現(xiàn)激光干涉儀動態(tài)高精度校準(zhǔn)

由中國計量科學(xué)研究院聯(lián)合常州市計量測試技術(shù)研究所等單位研制的2臺新型多功能1m激光比長儀裝置分別在江蘇省常州市計量測試技術(shù)研究所、無錫市計量測試中心實(shí)驗(yàn)室完成了線紋尺測量精度測試，實(shí)現(xiàn)了線紋尺測量不確定度U=(0.1+0.1L)μm（k=3，L∶m），重復(fù)性優(yōu)于30nm，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，可滿足目前已有線紋尺的動態(tài)高精度校準(zhǔn)需求，有效提升相關(guān)計量機(jī)構(gòu)的一維長度精密測量水平。

據(jù)悉，該裝置借鑒了中國計量院“激光干涉比長儀線紋工作基準(zhǔn)”的精密激光干涉測長、高精度光電顯微鏡動態(tài)瞄準(zhǔn)、精密氣浮控制等關(guān)鍵技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)線紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等設(shè)備的動態(tài)高精度校準(zhǔn)。其主體采用天然花崗巖結(jié)構(gòu)，基于變形分析和建模進(jìn)行了精心設(shè)計，床身尺寸為3.4m×1m×0.7m，整體重達(dá)9t，導(dǎo)軌直線度實(shí)測優(yōu)于1μm/m，可有效避免移動工作臺運(yùn)動所導(dǎo)致的機(jī)械

變形，抗震性能好，長期穩(wěn)定性優(yōu)。此外，其顯微鏡工作距離達(dá)28mm，適用于各種厚度的線紋尺刻線面朝向物鏡或背向物鏡檢測，線紋尺校準(zhǔn)與其使用狀態(tài)一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。

(工 報)