伍鳳娟，王媛媛

(西安科技大學(xué) 電氣與控制工程學(xué)院，陜西 西安 710054)

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淺析IC測(cè)試開(kāi)發(fā)流程及量產(chǎn)數(shù)據(jù)對(duì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的影響

伍鳳娟1，王媛媛2

(西安科技大學(xué) 電氣與控制工程學(xué)院，陜西 西安 710054)

集成電路行業(yè)作為信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，其應(yīng)用領(lǐng)域上至國(guó)防軍工下至家用電器。測(cè)試技術(shù)是檢測(cè)集成電路質(zhì)量好壞的重要環(huán)節(jié)，對(duì)集成電路進(jìn)行測(cè)試可有效提高芯片的成品率。測(cè)試的主要目的是保證芯片在惡劣環(huán)境下能完全實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)規(guī)格書(shū)所規(guī)定的功能及性能指標(biāo)。主要論述半導(dǎo)體后道測(cè)試對(duì)產(chǎn)品工藝的影響，旨在降低測(cè)試成本，提高測(cè)試質(zhì)量及測(cè)試精度。

半導(dǎo)體；集成電路測(cè)試；量產(chǎn)數(shù)據(jù)；產(chǎn)品工藝

0 引言

近年來(lái)，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)已成為半導(dǎo)體行業(yè)所關(guān)注的焦點(diǎn)。其中集成電路測(cè)試作為設(shè)計(jì)、制造和封裝的有力技術(shù)支撐起著舉足輕重的作用。集成電路測(cè)試水平的高低直接決定著集成電路性能、質(zhì)量的好壞，因此受到業(yè)界的高度重視[1]。在集成電路領(lǐng)域，幾乎所有的芯片在出貨之前都要經(jīng)過(guò)幾道嚴(yán)格的測(cè)試，包括CP測(cè)試、FT測(cè)試及QA測(cè)試。每一道測(cè)試都會(huì)產(chǎn)生一系列的測(cè)試數(shù)據(jù)，由于測(cè)試程序通常是由一系列測(cè)試項(xiàng)目組成的，從各個(gè)方面對(duì)芯片進(jìn)行充分檢測(cè)，不僅可以判斷芯片性能是否符合標(biāo)準(zhǔn)，是否可以進(jìn)入市場(chǎng)，而且能夠從測(cè)試結(jié)果的詳細(xì)數(shù)據(jù)中充分、定量地反映出每顆芯片從結(jié)構(gòu)、功能到電氣特性的各種指標(biāo)。

1 集成電路測(cè)試開(kāi)發(fā)流程

集成電路測(cè)試主要分為兩大類：參數(shù)測(cè)試和功能測(cè)試。根據(jù)集成電路設(shè)計(jì)和制造過(guò)程中對(duì)測(cè)試的需求，可分為設(shè)計(jì)驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試、封裝測(cè)試、可靠性測(cè)試[2]。針對(duì)不同類型的芯片，需要測(cè)試的具體項(xiàng)目會(huì)有所不同。如：運(yùn)算放大器類產(chǎn)品通常需要測(cè)試靜態(tài)電流ICC、失調(diào)電壓VIO、失調(diào)電流IB、電壓增益GV、電源抑制比PSRR、共模抑制比CMRR等；電源管理類產(chǎn)品需要測(cè)試基準(zhǔn)電壓Vref、工作頻率Fosc、啟動(dòng)電壓Vst、關(guān)斷電壓Vuvlo等。這些測(cè)試項(xiàng)是產(chǎn)品電氣特性的直接體現(xiàn)，更是產(chǎn)品質(zhì)量的靈魂[3]。集成電路測(cè)試開(kāi)發(fā)就是針對(duì)這些測(cè)試項(xiàng)進(jìn)行準(zhǔn)確、快速、穩(wěn)定的測(cè)試。具體開(kāi)發(fā)流程如圖1所示。

圖1 集成電路測(cè)試開(kāi)發(fā)流程圖

(1)測(cè)試參數(shù)調(diào)試

利用集成電路專用的測(cè)試系統(tǒng)開(kāi)發(fā)平臺(tái)，按照產(chǎn)品設(shè)計(jì)指標(biāo)及產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求完成對(duì)待測(cè)芯片各測(cè)試項(xiàng)的調(diào)試，直至所有測(cè)試結(jié)果均分布在產(chǎn)品特性的Limit區(qū)間內(nèi)。集成電路各測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試結(jié)果分布情況如圖2所示。

(2)測(cè)試數(shù)據(jù)比對(duì)

取一定數(shù)量的待測(cè)芯片，將經(jīng)過(guò)測(cè)試參數(shù)調(diào)試后所得的測(cè)試數(shù)據(jù)與樣品數(shù)據(jù)作差值比對(duì)，若差值在容許范圍內(nèi)則測(cè)試系統(tǒng)給出的測(cè)試結(jié)果為Pass，否則為Fail。測(cè)試數(shù)據(jù)與樣品數(shù)據(jù)比對(duì)結(jié)果如圖3所示。

(3)測(cè)試波形確認(rèn)

為了確保測(cè)試程序正確可靠，需要對(duì)波形進(jìn)行確認(rèn)。通常情況下取一顆芯片，針對(duì)具體測(cè)試項(xiàng)，將通過(guò)示波器觀察到的調(diào)試波形與樣品波形作比對(duì)，從而確保波形一致性。某芯片的調(diào)試波形與樣品波形的比對(duì)圖如圖4所示。

圖2 集成電路各測(cè)試項(xiàng)結(jié)果分布圖

圖4 調(diào)試波形與樣品波形比對(duì)圖

以上三步做完之后，一個(gè)基本的測(cè)試程序開(kāi)發(fā)流程就完成了。接下來(lái)分析量產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)對(duì)產(chǎn)品工藝的影響。

2 集成電路量產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)對(duì)產(chǎn)品工藝的影響

集成電路工藝的不斷演進(jìn)及設(shè)計(jì)技術(shù)的不斷提高，使集成電路測(cè)試技術(shù)面臨雙重挑戰(zhàn)：制造工藝發(fā)展所帶來(lái)的測(cè)試質(zhì)量提高(包括新的故障類型、新的測(cè)試向量生成方法和可靠性保障等)和設(shè)計(jì)規(guī)模不斷發(fā)展所帶來(lái)的測(cè)試成本增加[4](包括不斷延長(zhǎng)的測(cè)試時(shí)間、不斷增長(zhǎng)的測(cè)試數(shù)據(jù)以及對(duì)新型測(cè)試設(shè)備的要求)。當(dāng)芯片出貨量巨大時(shí)，所有這些產(chǎn)品的測(cè)試數(shù)據(jù)整合在一起就能夠在很大程度上反映出整個(gè)產(chǎn)品在設(shè)計(jì)和工藝制造上的一系列問(wèn)題，而這些問(wèn)題是難以在實(shí)驗(yàn)室通過(guò)對(duì)小批量產(chǎn)品進(jìn)行分析所獲得的。很多經(jīng)驗(yàn)豐富的設(shè)計(jì)公司都非常重視對(duì)實(shí)際量產(chǎn)數(shù)據(jù)的追蹤和分析，通過(guò)對(duì)這些測(cè)試數(shù)據(jù)的合理分析和利用，就能夠找到該產(chǎn)品在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)工藝上存在的各種問(wèn)題，從而幫助設(shè)計(jì)人員和生產(chǎn)廠改善產(chǎn)品的性能和良率，甚至規(guī)避未來(lái)可能出現(xiàn)的產(chǎn)品設(shè)計(jì)質(zhì)量隱患。然而，遺憾的是國(guó)內(nèi)很多設(shè)計(jì)公司往往忽略了這一點(diǎn)，或者即使意識(shí)到了量產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)的重要性，卻也不知道從哪里入手、怎樣去分析這些數(shù)據(jù)。因此，如何分析利用這些數(shù)據(jù)非常重要。

2.1 量產(chǎn)數(shù)據(jù)與產(chǎn)品良率的關(guān)系

首先需要糾正的一個(gè)誤區(qū)是：很多設(shè)計(jì)公司在追蹤產(chǎn)品測(cè)試數(shù)據(jù)時(shí)只關(guān)心產(chǎn)品最終的良率，這顯然是不夠的。產(chǎn)品的某些突發(fā)工藝問(wèn)題并不一定直接反映在產(chǎn)品最終良率變化上，所以在觀察產(chǎn)品良率的同時(shí)必須追蹤各個(gè)fail bin的比例變化。當(dāng)某個(gè)fail bin的比例突發(fā)或漸進(jìn)地發(fā)生明顯變化的時(shí)候，就需要設(shè)計(jì)人員對(duì)其進(jìn)行深入調(diào)查，因?yàn)檫@很可能是導(dǎo)致產(chǎn)品品質(zhì)波動(dòng)的一個(gè)重要因素。

其次，測(cè)試程序的所有項(xiàng)目中除了純數(shù)字電路的測(cè)試只返回Pass/Fail信息外，其他項(xiàng)目結(jié)果往往都含有具體的測(cè)試數(shù)值，這些數(shù)據(jù)都反映了一顆芯片自身的某些特性，所以也必須加以恰當(dāng)?shù)赜?jì)算和分析。比較常用的方法除了計(jì)算每批產(chǎn)品的各個(gè)測(cè)試數(shù)值的平均值外，還需要通過(guò)計(jì)算正態(tài)分布的標(biāo)準(zhǔn)方差來(lái)獲得Cp/Cpk值。只有當(dāng)這些統(tǒng)計(jì)結(jié)果和歷史數(shù)據(jù)都基本吻合時(shí)，才可以大致認(rèn)為該產(chǎn)品的品質(zhì)是可接受和可控的。實(shí)驗(yàn)證明，為保證產(chǎn)品良率，應(yīng)盡量使Cp>3.3、Cpk>1.3，否則很可能會(huì)導(dǎo)致良率低下或不穩(wěn)定造成的各種損失。

最后，通常會(huì)被嚴(yán)重忽略卻又至關(guān)重要的一項(xiàng)指標(biāo)是結(jié)果一致性確認(rèn)。很多產(chǎn)品由于出貨量巨大，往往需要多臺(tái)測(cè)試機(jī)同時(shí)進(jìn)行測(cè)試，每臺(tái)測(cè)試機(jī)有多個(gè)測(cè)試工位[5]。由于硬件有可能發(fā)生各種異常甚至事故，影響測(cè)試結(jié)果，因此測(cè)試人員必須隨時(shí)確認(rèn)各臺(tái)測(cè)試機(jī)以及測(cè)試工位之間的測(cè)試結(jié)果是否一致[6]。通常情況下，某臺(tái)設(shè)備的某個(gè)工位發(fā)生問(wèn)題導(dǎo)致良率下降往往會(huì)被總體良率數(shù)據(jù)所“淹沒(méi)”。若測(cè)試人員只關(guān)注總體良率的變化而不注重硬件之間的結(jié)果一致性指標(biāo)，這些問(wèn)題就會(huì)被忽略，從而導(dǎo)致經(jīng)濟(jì)上的一系列損失。

2.2 Wafer級(jí)別CP測(cè)試數(shù)據(jù)分析

與基于分離芯片的FT測(cè)試最大的不同是：CP測(cè)試是以Wafer為基本單位的，其測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)不僅僅是每個(gè)die的測(cè)試結(jié)果，還包含了各個(gè)數(shù)據(jù)在整個(gè)Wafer甚至整個(gè)Lot內(nèi)的分布信息[7]。這些信息是和硅片加工的工藝條件緊密結(jié)合的，能夠給設(shè)計(jì)人員和工藝工程師提供大量的量產(chǎn)信息，這是FT測(cè)試結(jié)果所望塵莫及的。

圖5 Wafer CP測(cè)試良率面內(nèi)統(tǒng)計(jì)分布圖

最典型的一個(gè)CP數(shù)據(jù)分析方法是對(duì)Wafer面內(nèi)測(cè)試結(jié)果分布傾向的統(tǒng)計(jì)。由于單枚Wafer的面內(nèi)測(cè)試結(jié)果分布受隨機(jī)因素影響較大，因此將多枚Wafer的數(shù)據(jù)根據(jù)MAP圖疊加在一起進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和計(jì)算[8]。圖5所示為某款芯片的CP測(cè)試良率面內(nèi)分布示意圖。由圖可明顯看出該Wafer中間良率和周邊良率的不同，通過(guò)此信息可反推生產(chǎn)工藝上存在的問(wèn)題，然而這些重要現(xiàn)象僅靠觀察每片Wafer的整體良率是無(wú)法及時(shí)發(fā)現(xiàn)的。

此外，還要確認(rèn)Wafer之間以及Lot之間測(cè)試數(shù)據(jù)的變化。該指標(biāo)可直接反映出Wafer之間的生產(chǎn)工藝穩(wěn)定性，若Fab廠的生產(chǎn)工藝不穩(wěn)定或發(fā)生過(guò)突發(fā)事故，就很容易從這個(gè)指標(biāo)看出問(wèn)題所在。圖6為L(zhǎng)ot內(nèi)25枚Wafer的良率分布圖。

圖6 奇數(shù)13枚，偶數(shù)12枚

圖6(a)中，除了良率波動(dòng)較大以外，很難看出其他的相關(guān)信息，而從圖6(b)中就很容易發(fā)現(xiàn)Wafer的良率在單數(shù)枚和偶數(shù)枚上的明顯差距：?jiǎn)螖?shù)13枚Wafer的平均良率為97.29%，而偶數(shù)12枚Wafer的良率只有94.16%。如果產(chǎn)品工程師對(duì)Fab工藝有足夠了解，就可以從數(shù)據(jù)上推測(cè)，良率問(wèn)題很可能和生產(chǎn)線上某臺(tái)雙腔設(shè)備故障有關(guān)。因?yàn)槿绻O(shè)備有兩個(gè)腔對(duì)Wafer進(jìn)行單枚輪流作業(yè)(比如一些干刻和CVD設(shè)備)，必然是單數(shù)枚Wafer在一個(gè)腔加工而雙數(shù)枚在另一個(gè)腔加工，一旦某個(gè)腔內(nèi)工藝條件出現(xiàn)問(wèn)題，就會(huì)發(fā)生上述良率分布異常的現(xiàn)象?？梢?jiàn)， Wafer間良率變化對(duì)產(chǎn)品工藝影響很大。

3 結(jié)論

在集成電路測(cè)試開(kāi)發(fā)初期，要根據(jù)測(cè)試流程嚴(yán)格比對(duì)確認(rèn)，確保測(cè)試開(kāi)發(fā)的可靠性、精度及穩(wěn)定性。只有在前期進(jìn)行足夠的驗(yàn)證工作，才能在正式量產(chǎn)中做到高質(zhì)量、低成本。同時(shí)，作為信息寶庫(kù)重要數(shù)據(jù)的量產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)往往被很多設(shè)計(jì)公司所忽視，因此要高度重視對(duì)量產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)的分析，及時(shí)預(yù)判可能出現(xiàn)的異常信息并做出改進(jìn)，從而提高產(chǎn)品工藝及質(zhì)量。

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Simply analysing the influence of integrated circuit test development process and production data on production design

Wu Fengjuan1, Wang Yuanyuan2

(College of Electrical and Control Engineering, Xi’an University of Science and Technology ,Xi’an 710054,China)

Integrated circuit industry ranges from national defense to household appliances as the basis of information industry. Testing technology is quite important to detect integrated circuit quality, and detecting integrated circuit is effective to improve chip yield. The main purpose of testing is to fully ensure to realize the function or performance that the design specification stipulated when chips are under severe environment. This article mainly discusses how the semiconductor later process testing influence the production process, in order to reduce the test cost and improve the testing quality and testing accuracy.

semiconductor; testing of integrated circuit; production data; product process

TN407

A

10.19358/j.issn.1674- 7720.2016.20.008

伍鳳娟，王媛媛. 淺析IC測(cè)試開(kāi)發(fā)流程及量產(chǎn)數(shù)據(jù)對(duì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的影響[J].微型機(jī)與應(yīng)用，2016,35(20)：31-33.

2016-05-18)

伍鳳娟(1989-)通信作者，女，碩士，助理工程師，主要研究方向：集成電路設(shè)計(jì)。E-mail:wfj_xust@163.com。