王磊

摘要：本文使用脈沖激光沉積（PLD）的方法在藍(lán)寶石（O001）晶面上制備B-Ga2O3薄膜，并且系統(tǒng)的研究了制備過(guò)程中氧氣壓力對(duì)它的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的影響。由于氧化鎵薄膜生長(zhǎng)的條件不同，所生長(zhǎng)出的薄膜在性質(zhì)上也會(huì)有差異，本文借助x射線衍射，透射電子顯微鏡，原子力顯微鏡等裝置對(duì)不同的氧氣壓力條件下生長(zhǎng)的薄膜的質(zhì)量和表面形態(tài)的影響進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。脈沖激光沉積可以在襯底溫度較低為時(shí)生長(zhǎng)薄膜，并可以通過(guò)控制氧氣壓力來(lái)控制鎵原子與氧原子的結(jié)合，從而生長(zhǎng)出質(zhì)量最優(yōu)的氧化鎵薄膜。

關(guān)鍵詞：氧氣壓力；PLD；氧化鎵；薄膜質(zhì)量

中圖分類(lèi)號(hào)TN3 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼A 文章編號(hào)2095-6363（2016）06-0163-03