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SiC/SiO2界面形貌對(duì)SiC MOS器件溝道遷移率的影響

2016-06-05 09:20:51劉莉,楊銀堂

浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版) 2016年2期

關(guān)鍵詞：界面影響

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